[发明专利]一种波长可调谐的外腔激光器

权利要求书

1.一种波长可调谐的外腔激光器，包括激光增益芯片，以及位于该激光增益芯片一侧、构成外腔反馈区的一个或多个透镜单元、光学标准具及反射镜，其中：

所述激光增益芯片朝向所述外腔反馈区的端面上镀有增透膜，另一端面上镀有部分透射部分反射膜；

由所述激光增益芯片镀有增透膜的一侧起，依次设置所述一个或多个透镜单元、光学标准具及反射镜；

其中，所述一个或多个透镜单元、光学标准具及反射镜被设置为使得所述外腔反馈区与所述激光增益芯片构成激光谐振腔。

2.根据权利要去1所述的外腔激光器，其中，所述光学标准具为随着所加温度变化实现可调谐的光学标准具。

3.根据权利要求2所述的外腔激光器，其中，所述可调谐光学标准具上设有可被控来调节温度的第二温度调节装置，其中，所述可调谐光学标准具包括其腔长随温度的变化而改变的空气腔。

4.根据权利要求2或3所述的外腔激光器，其中，所述外腔激光器还包括：

第二控制装置，用于控制所述第二温度调节装置来调节温度，以使得所述可调谐光学标准具的空气腔腔长随着温度改变使激光光源的一个或多个波峰和所述可调谐光学标准具透射的对应的一个或多个透射峰在一个或多个预定波长处重叠，其中，所述激光光源由所述激光增益芯片产生的光与该光直接经所述一个或多个透镜单元和所述反射镜反射得到的光进行光波叠加生成。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的外腔激光器，其中，所述可调谐光学标准具附近设有第二温度传感器，用于检测所述可调谐光学标准具的温度。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的外腔激光器，其中，所述可调谐光学标准具包括分别由不同热膨胀系数材料制成的第一构件和第二构件，其中，第一构件为中空的、至少一端具有开口的构件，所述第二构件完全置于所述第一构件内，所述可调谐光学标准具还包括用于分别封闭所述第一构件的至少一端的开口的基片。

7.根据权利要求6所述的外腔激光器，其中，所述空气腔在光路上的至少一个表面上镀有对特定波长范围具有高反射率的膜。

8.根据权利要求1所述的外腔激光器，其中，所述光学标准具为随着所加电压变化实现可调谐的光学标准具，其中，所述可调谐光学标准具包括：可被控来调节所述电压的电压调节装置。

9.根据权利要求8所述的外腔激光器，其中，所述可调谐光学标准具包括其折射率随电压的变化而改变的液晶，以及用于构成封闭区域以放置所述液晶的第一玻璃片、第二玻璃片和至少一个垫片，其中，所述第一玻璃片及所述第二玻璃片相对设置，并且其朝向所述液晶的端面上镀有对特定波长范围具有高反射率的膜和用于导电的导电膜，所述垫片位于所述第一玻璃片与所述第二玻璃片之间。

10.根据权利要求8所述的外腔激光器，其中，所述可调谐光学标准具包括其形状随电压的变化而改变的压电陶瓷，以及用于形成其腔长随所述压电陶瓷的形状的变化而改变的空气腔的第一反射镜和第二反射镜，其中，所述第一反射镜和第二反射镜中的至少一个被固定连接至所述压电陶瓷。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的外腔激光器，其中，所述激光增益芯片上设有可被控来调节温度的第一温度调节装置，其中，所述激光增益芯片内材料的折射率可随着温度的变化而改变。

12.根据权利要求11所述的外腔激光器，其中，还包括：

第一控制装置，用于控制所述第一温度调节装置来调节温度，以使得所述激光增益芯片内材料的折射率随着温度的改变使激光光源的一个或多个波峰和所述可调谐光学标准具透射的对应的一个或多个透射峰在一个或多个预定波长处重叠，其中，所述激光光源由所述激光增益芯片产生的光与该光直接经所述一个或多个透镜单元和所述反射镜反射得到的光进行光波叠加生成。

13.根据权利要求11或12所述的外腔激光器，其中，所述激光增益芯片附近设有第一温度传感器，用于检测所述激光增益芯片的温度。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的外腔激光器，其中，所述外腔激光器还包括用于调节所述外部谐振腔的腔长的光波导和/或用于筛选光波长的滤波片，所述光波导及所述滤波片均可位于所述外腔反馈区的任何位置处。