[发明专利]一种对石墨烯进行硫掺杂的方法有效
| 申请号： | 201310080785.3 | 申请日： | 2013-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN104047060A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 梁晨;李铁;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C30B31/08 | 分类号： | C30B31/08 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 进行 掺杂 方法 | ||
1.一种对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于，至少包括以下步骤：
1）提供石墨烯，将所述石墨烯置于化学气相沉积反应腔中；
2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；
3）于500～1050℃下通入硫源气体对所述石墨烯进行硫掺杂；
4）于氢气及惰性气体气氛中对所述反应腔进行降温。
2.根据权利要求1所述的对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于：所述石墨烯以金属衬底为载体置于所述反应腔中，步骤2）之后还包括步骤a）于200～400℃下对所述反应腔通入氢气，以对所述金属衬底表面的氧化物进行还原。
3.根据权利要求2所述的对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于：步骤a）所述氢气的气流范围为20～100sccm。
4.根据权利要求1所述的对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于：步骤2）中，惰性气体的通气及排气处理时间为10～30min，气流范围为500～5000sccm。
5.根据权利要求1所述的对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于：所述硫源气体包括硫化氢及硫化羰的一种或两种。
6.根据权利要求5所述的对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于：步骤3）中硫掺杂采用气体包括惰性气体、氢气及硫化氢。
7.根据权利要求6所述的对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于：于400～600℃下通入氩气500～1500sccm，氢气20～60sccm，硫化氢1～4sccm，对石墨烯进行掺杂10～30min。
8.根据权利要求5所述的对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于：步骤3）中硫掺杂采用气体包括惰性气体、氢气及硫化羰。
9.根据权利要求8所述的对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于：于700～1050℃下通入氦气500～1500sccm，氢气20～60sccm，硫化羰0.5～3sccm，进行硫掺杂5～20min。
10.根据权利要求1所述的对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于：步骤4）中，氢气的气流范围为10～40sccm，惰性气体的气流范围为50～200sccm。
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