[实用新型]一种改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及一种在三氯氢硅生产中使用的合成炉加热装置，属于三氯氢硅合成炉设备技术领域。

背景技术

三氯氢硅是生产多晶硅的重要原料，随着多晶硅在现代科技、国防、工业等领域的广泛应用，三氯氢硅的生产也得到了快速发展，提高产品质量、降低成本消耗、扩大生产能力成为各个生产厂家竞相追逐的目标。三氯氢硅生产工艺主要以沸腾氯化法为主，三氯氢硅合成工序是整个三氯氢硅生产中最重要的部分，反应器内最佳温度一般恒定在325℃左右。反应开始前，由于流化床反应器内温度较低，达不到反应需要的温度，通常须通过外部加热以诱发反应的进行，这样就需要一种合成炉加热装置。三氯氢硅合成炉加热方法在现有技术中主要有氮气加热、导热油加热、中高频电感加热。在氮气加热技术中，热氮气来源于氮气加热装置，氮气加热装置普遍采用电加热。这种间接的电加热方式本身就增加了能量的损耗，同时氮气进入三氯氢硅生产系统增加了后续氮气分离的能耗，在实际生产过程中很难达到工艺要求。在导热油加热技术中，热的导热油来源于导热油加热装置，导热油加热装置采用电加热或燃油炉加热，这种间接的加热方式不但增加了能量的损耗，而且导热油通过管道间壁，一旦导热油泄漏于合成炉，处理非常麻烦。在中高频电感加热技术中，中高频电感加热系统主要由中高频控电柜、电感加热器和冷却器组成，这种加热方法电路部分较复杂，成本较高。由于以上几种加热方法都不甚理想，有必要加以改进。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、制作容易、成本低、加热效果好的改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置。

解决上述技术问题的技术方案是：

一种改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置，它的构成中包括保温层、绝缘层、电感线圈，保温层包裹在合成炉反应段的外圆周，在保温层外固定布设有绝缘层，电感线圈缠绕在绝缘层外，电感线圈分为上下两层，采用三相380V供电，上层电感线圈的首端接电源的A相，尾端接B相，下层的电感线圈首端接C相，尾端接B相。

上述改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置，所述保温层层厚为6—10cm，保温层外缠绕纤维布。

上述改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置，所述绝缘层为多根绝缘电木组成，多根绝缘电木垂直放置，沿合成炉外圆周均匀分布，在绝缘电木的底部和中间部位分别固定一个托臂，电感线圈放置在托臂上。

上述改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置，所述电感线圈采用硅橡胶电缆缠绕制作。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型采用低频电感加热，由三相380V供电，电感加热线圈只缠在炉体的反应段，加热效果良好，节约了电能。本实用新型具有结构简单、原材料容易购买、制作工艺和电气控制电路简单、制作成本低等优点，有很好的经济和社会效益，是对现有的三氯氢硅合成炉加热方法的有益改进，值得推广应用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中标记如下：合成炉1、电感线圈2、绝缘电木3、托臂4。

具体实施方式

本实用新型由保温层、绝缘层、电感线圈2组成。

图中显示，在合成炉1的反应段先抹上保温层，层厚为6—10cm，待保温层晾干后用5cm宽的纤维布缠绕。

图中显示，绝缘层由绝缘电木3、托臂4组成。

用10根200*5*5cm绝缘电木3分别均匀的分布在带有保温层的炉体表面，并固定好。在绝缘电木3的底部和中间部位分别固定一个托臂4，用来托住电感线圈2。

图中显示，电感线圈2缠绕在绝缘层外，沿合成炉1炉体逆时针右下向上均匀的缠两层电感线圈2，对于直径1米炉体，每层缠97匝左右，可以视炉体大小略有增减。上层电感线圈2的首端接电源的A相，尾端接B相，下层的电感线圈2首端接C相，尾端接B相，电源由配电柜内的接触器提供，由控制室控制。

电感线圈2采用JHYGC 1*50^mm2硅橡胶电缆。