[实用新型]金属光罩

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种金属光罩的技术领域，尤其涉及一种增加花纹于金属光罩表面，在使用于各式显示器或触控面板的玻璃基板的制程中，所增加花纹能延长金属光罩的替换周期、提升生产的品质、以及降低生产的成本。

背景技术

在目前各式显示器或触控面板之中，例如液晶显示器、薄型化显示器、液晶电视、薄型化电视机、触控面板、触控显示器、具有触控功能的银幕...等中，会利用光罩在制程中于玻璃基板上沉积出一些不同材料的薄膜，而过程中包含涂布、曝光、蚀刻、显影、清洗、烘烤等步骤，利用多个不同的光罩依序运作，一层一层规划出所设计的结构。光罩成本中最高的是采用石英材料，此类光罩能满足精密度要求严格的制程条件，但在一些精密度求不高的制程中，若采用石英材料的光罩，成本太高，制程过于复杂，因此有些SiO₂沉积制程则采用金属光罩，如此就能取代涂布、曝光、蚀刻、显影、清洗、烘烤等制程，减少加工流程，降低生产的成本。而对生产厂商而言，亦能减少购买前述涂布、曝光、蚀刻、显影、清洗、烘烤等设备的数量，对设备投资的支出相对减少。

一般金属光罩的要求，主要包括有三点：1.厚度要薄；2.具有受磁性，以利具有磁性的夹持装置与的吸附，而将欲加工的玻璃基板固定于金属光罩与夹持装置之间；3.表面须光滑、无毛边，避免在夹持或制程运作中刮伤玻璃基板。

然而传统的金属光罩为避免刮伤玻璃基板，两相对表面皆为光滑表面，在制程中沉积于基板的薄膜材料也会沉积于金属光罩表面，随着金属光罩连续使用并沉积，金属光罩表面所累积的薄膜厚度也增加，此时光滑表面就容易让贴附表面的薄膜在制程中剥离，掉落至原本欲加工的玻璃基板上，而产生不良品，因此为维持生产的良率，就必须一段时间后，取出并委托外部专业公司清洗，以延续金属光罩的使用寿命，如此会降低设备稼动率，亦减少设备的产能；加上单一金属光罩的单价也相当昂贵，取出次数愈多，不当操作而产生破损机率也愈高。有鉴于此，本实用新型提出一金属光罩。

发明内容

本实用新型的主要目的是能于特定表面提高其表面积与粗糙度的金属光罩，主要是于金属光罩一表面处形成有立体花纹，期许于生产制程中提升所能承受的沉积次数、延长替换周期，让使用此金属光罩的设备的稼动率上升，产能提升，同步能减少生产的成本。

为达上述的目的，本实用新型提出一种金属光罩，其形状为一框体，该框体形成有至少为一的开口单元，该金属光罩包括有能与玻璃基板接触的第一表面，及位置为第一表面相对面的第二表面，该第一表面为光滑面，该第二表面上形成有至少为一的非平坦区，该非平坦区位置邻近该开口单元，非平坦区内分布着立体的花纹。

在本实用新型一实施例中，该非平坦区是呈环状分布于该开口单元外围的第二表面处。

在本实用新型一实施例中，该非平坦区是由连续性的花纹分布于该环状区域内。

在本实用新型一实施例中，该非平坦区内分布着相同且重复性的花纹。

在本实用新型一实施例中，该非平坦区是采化学蚀刻制程于第二表面处加工而成的非平坦区。

在本实用新型一实施例中，该非平坦面分布于该第二表面的局部区域。

在本实用新型一实施例中，该非平坦面分布区域涵盖整个第二表面。

在本实用新型一实施例中，该金属光罩的厚度介于0.15～0.7mm。

在本实用新型一实施例中，该金属光罩的厚度介于0.25～0.5mm。

本实用新型在金属光罩上形成有立体的花纹，主要目的能增加表面积及提高粗糙度。增加表面积能提高表面所能承受的沉积的次数，延长此金属光罩的使用周期，降低替换率，亦减少设备停机更换的次数，提高设备稼动率。而提高表面粗糙度能避免制程中附着金属光罩表面的材料发生不正常的剥离，降低不良率，使品质提升。

以下配合附图及元件符号对本实用新型的实施方式做更详细的说明，以使本领域普通技术人员在研读本说明书后能据以实施。

附图说明

图1为本实用新型的平面图；

图2A为本实用新型局部放大的平面图；

图2B为本实用新型局部放大的立体图；

图3为本实用新型非平坦区的第二种花纹的平面示意图；

图4为本实用新型非平坦区的第三种花纹的平面示意图；

图5为本实用新型非平坦区的第四种花纹的平面示意图。

其中，附图标记说明如下：

金属光罩    1

开口单元    11

第一表面    13

第二表面    14