[实用新型]金属光罩有效
| 申请号： | 201220181330.1 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN202548531U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 陈学哲 | 申请（专利权）人： | 世禾科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/673 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;吕俊清 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 | ||
【权利要求书】：
1.一种金属光罩，为一框体并形成有至少为一的开口单元，该金属光罩包括有能与玻璃基板接触的第一表面，及位置为该第一表面相对面的第二表面，该第一表面为光滑面，其特征在于：该第二表面上形成有至少为一的非平坦区，该非平坦区位置邻近该开口单元，该非平坦区内分布着立体的花纹。
2.如权利要求1所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦区是呈环状分布于该开口单元外围的第二表面处。
3.如权利要求2所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦区是由连续性的花纹分布于该环状区域内。
4.如权利要求1所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦区内分布着相同且重复性的花纹。
5.如权利要求1所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦区是采化学蚀刻制程于第二表面处加工而成的非平坦区。
6.如权利要求1所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦面分布于该第二表面的局部区域。
7.如权利要求1所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦面分布区域涵盖整个第二表面。
8.如权利要求1所述的金属光罩，其特征在于，该金属光罩的厚度介于0.15～0.7mm。
9.如权利要求8所述的金属光罩，其特征在于，该金属光罩的厚度介于0.25～0.5mm。
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