[发明专利]基于非接触式霍尔效应测量石墨烯载流子迁移率的方法

权利要求书

1.基于非接触式霍尔效应测量石墨烯载流子迁移率的方法，其特征在于，该方法采用入射电磁波激发的方式，在石墨烯中引入感应电流和霍尔电流，通过测量霍尔电流辐射出的电磁波，并与入射电磁波相比较，得出石墨烯的迁移率，再改变激发电磁波的投射位置，进行多点测量。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法的具体实现步骤如下：

步骤一，把铜圆片放置在载物台上，对准电磁波发射器，利用测试设备自动读取铜片的反射能量，并获取的反射能量调整设备参数；

步骤二，把转移到衬底上的石墨烯放置在载物台上，选择内置的响应测试衬底；

步骤三，对平衡桥电路施加反相信号，手动调节探测器，使探测到的Hall值达到最小；

步骤四，在零磁场下，通过反射电磁波测量石墨烯面电阻和载流子浓度，测量值将用于迁移率的测量；

步骤五，保持磁感应强度在5000-10000G，测量石墨烯Hall激发电流辐射的Hall能量，并由此计算得到石墨烯迁移率；

步骤六，移动衬底，测量其他位置石墨烯迁移率。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在步骤一中，由反射能量测量出的铜圆片电阻值不大于10ohms。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在步骤二中，使用衬底须不小于2英寸。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在步骤六中，通过比较不同位置石墨烯迁移率，可得到石墨烯是否具有良好的一致性。