[发明专利]柔性基板处理装置

权利要求书

1.一种柔性基板处理装置，包括：盛放有处理液的至少一个槽；位于所述处理液上方的卷绕辊轮，包括主动辊轮和从动辊轮；位于每一个所述槽的处理液中的定位辊轮；其特征在于，还包括：

检测单元，用于检测所述至少一个卷绕辊轮的半径或直径；

固定于每一个所述槽的侧壁上的移动排液组件；其中包括排出所述处理液的移动排液口，以及排液口位置控制机构；

所述位置控制机构，用于根据所述检测单元的检测结果，控制相应的所述移动排液口在垂直于所述槽的底壁方向上移动。

2.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，还包括：向所述槽内注入处理液的补液组件。

3.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述处理液为刻蚀液、清洗液、或剥离液。

4.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述排液口位置控制机构包括步进电机及丝杠。

5.根据权利要求2所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述补液组件的一部分位于其所对应的所述槽内，另一部分位于其所对应的所述槽外。

6.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述检测单元为距离传感器。

7.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，还包括控制单元，用于将所述检测单元的检测结果传送给所述排液口位置控制机构。

8.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述检测单元为两个，分别用于检测所述主动辊轮的半径或直径和所述从动辊轮的半径或直径。

9.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，还包括限位辊轮，用于将在相邻的两个所述槽之间传送的柔性基板的位置进行限定。