[发明专利]触控面板及触控面板的制造方法有效
申请号: | 201210162117.0 | 申请日: | 2012-05-21 |
公开(公告)号: | CN102707843A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 范己文;张天豪;郑造时;章钧;翁伟芃;卓恩宗;张钧杰 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G06F3/042 | 分类号: | G06F3/042;H01L21/77 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;王颖 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 面板 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种触控面板,且特别是关于一种光学式触控面板。
背景技术
将触控面板(touch panel)整合于液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)不但可让使用者进行便利、快速的输入,且可提供互动的存取功能,因此已逐渐应用于一些携带型电子装置中,例如移动电话、个人数字助理(PDA)或笔记型电脑。
目前,有技术通过在液晶显示器的像素阵列(pixel array)中嵌入光感测元件来实现触控与显示功能的整合。具体而言,通过内嵌的光感测元件在照光下因产生光电流所造成的压降来判定是否有触碰事件的发生。
图1A至图1F为公知技术的触控面板的制作流程的剖面示意图。请参照图1A,首先,在基板110上形成多个栅极GE,为方便说明,图1A中仅显示一个栅极GE。
请参照图1B,在基板110上依序地形成一第一介电层GI、多个通道层CH以及多个欧姆接触层OC,其中第一介电层GI覆盖栅极GE以及基板110,而通道层CH以及欧姆接触层OC位于对应栅极GE的第一介电层GI上,且通道层CH位于欧姆接触层OC以及第一介电层GI之间。
请参照图1C,在基板110上形成多个源极SE、多个漏极DE以及多个第一电极E1,并以源极SE与漏极DE为掩膜移除部分的图案化欧姆接触层OC以形成多个欧姆接触图案OCP。源极SE以及漏极DE分别位于通道层CH的相对两侧,并覆盖部分的通道层CH。此处,栅极GE、通道层CH、源极SE以及漏极DE构成多个信号读出晶体管T。
请参照图1D,形成一第二介电层PV,以覆盖信号读出晶体管T、部分的第一电极E1以及部分的第一介电层GI。
请参照图1E,形成多个光感测层PS,以电性连接第一电极E1,其中部分第二介电层PV位于第一电极E1以及光感测层PS之间。
请参照图1F,在基板110上形成多个第二电极E2以及与第二电极E2电性连接的多条信号读出线ROL,其中第二电极E2分别位于对应的光感测层PS上,且光感测层PS位于第二电极E2与第一电极E1之间。此处,第二电极E2、光感测层PS以及第一电极E1构成多个光感测元件S。在形成多个光感测元件S之后,即初步完成触控面板100的制作。
在公知的触控面板100中,由于信号读出晶体管T以及光感测元件S并无显示功能,因此在两者的上方无须配置彩色滤光层。如此一来,在没有其他膜层的保护下,为避免触控面板100的信号读出晶体管T以及光感测元件S受到外在环境以及人为因素的影响而造成其损伤,通常需额外配置其他保护装置(如盖板),此举将造成成本的增加,且会增加工艺的复杂度。
发明内容
本发明提供一种触控面板,其工艺简易且信赖性佳。
本发明另提供一种触控面板的制作方法,其可制造出工艺成本低的触控面板。
本发明提供一种触控面板,其包括一基板、一图案化透明导电层、多个光感测层、一第一图案化导电层、一第一介电层、多个通道层以及一第二图案化导电层。图案化透明导电层配置于基板上,且图案化透明导电层包括多个第一电极。多个光感测层配置于第一电极上。第一图案化导电层包括多个栅极、多条与栅极连接的扫描线以及多个第二电极,其中栅极与扫描线位于基板上,而第二电极位于光感测层上,且第一电极、光感测层与第二电极构成多个光感测元件。第一介电层配置于基板上,以覆盖栅极、扫描线以及光感测元件。多个通道层配置于第一介电层上,且位于栅极上方。第二图案化导电层包括多个源极与多个漏极,其中栅极、通道层、源极与漏极构成多个信号读出晶体管,且各信号读出晶体管分别与对应的光感测元件电性连接。
在本发明的一实施例中,前述的图案化透明导电层更包括多个信号读出垫(read-out pads)。
在本发明的一实施例中,前述的第一图案化导电层更包括多个焊垫,而各焊垫分别覆盖于其中一个信号读出垫,且各信号读出晶体管分别与对应的信号读出垫与对应的焊垫电性连接。
在本发明的一实施例中,前述的光感测层包括富硅氧化物层(silicon-rich oxide layer)。
在本发明的一实施例中,前述的触控面板,更包括一第二介电层以及一第三图案化导电层,其中第二介电层覆盖光感测元件以及信号读出晶体管,而第三图案化导电层配置于第二介电层上,且第三图案化导电层遮蔽通道层。
在本发明的一实施例中,前述的触控面板更包括一背光源,其中第三图案化导电层位于背光源与通道层之间。
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