[发明专利]描画数据修正装置及描画装置

权利要求书

1.一种描画数据修正装置，基于基板的定位标记的位置信息，对用于在基板上进行描画的图像数据进行修正，该描画数据修正装置的特征在于，

具有：

图像数据输入接收部，其接收所输入的用于在描画基板上进行描画的图像数据，

定位标记位置输入部，其输入基板的定位标记的位置信息，

多个数据修正部，这些各数据修正部基于被输入的定位标记的位置信息，利用各不相同的算法来修正描画数据，

修正方法选择部，其对所述多个数据修正部进行选择使用，来对描画数据进行修正。

2.根据权利要求1记载的描画数据修正装置，其特征在于，

还具有信息输入部，该信息输入部输入用于选择修正方法的修正信息；

所述修正方法选择部根据由所述信息输入部输入的修正信息来选择数据修正部。

3.根据权利要求2记载的描画数据修正装置，其特征在于，

所述图像数据输入接收部，从用于作成图像数据的图案作成装置接收所输入的图像数据；

所述信息输入部，伴随着向图像数据输入接收部输入图像数据的输入动作，输入来自所述图案作成装置的修正信息。

4.根据权利要求1记载的描画数据修正装置，其特征在于，

所述修正方法选择部，根据被输入的描画数据，判断要选择的数据修正部。

5.根据权利要求2记载的描画数据修正装置，其特征在于，

所述修正方法选择部，根据被输入的描画数据的图像是否含有多个相同的单片图案，来选择数据修正部。

6.根据权利要求2记载的描画数据修正装置，其特征在于，

所述修正方法选择部，根据被输入的描画数据的图像是否整体为单一图案的图像，来选择数据修正部。

7.根据权利要求2记载的描画数据修正装置，其特征在于，

所述修正方法选择部，根据被输入的描画数据的图像是否含有多个相同的单片图案并且还包含其他图案，来选择数据修正部。

8.根据权利要求1至7中任一项记载的描画数据修正装置，其特征在于，

所述定位标记位置输入部具有：

拍摄部，其拍摄所述基板；

位置计算部，其根据所述拍摄部拍摄得到的图像，来计算所述基板的定位标记的位置信息。

9.一种描画装置，其特征在于，

具有：

光源，

描画数据修正装置，

调制部，其根据由所述描画数据修正装置修正后的描画数据，来调制来自所述光源的光，

扫描部，其将由所述调制部调制后的光照射在基板上，来扫描该基板；

所述描画数据修正装置具有：

图像数据输入接收部，其接收所输入的用于在描画基板上进行描画的图像数据，

定位标记位置输入部，其输入基板的定位标记的位置信息，

多个数据修正部，这些各数据修正部基于被输入的定位标记的位置信息，利用各不相同的算法来修正描画数据，

修正方法选择部，其对所述多个数据修正部进行选择使用，来对描画数据进行修正。

10.根据权利要求9记载的描画装置，其特征在于，

所述描画数据修正装置还具有信息输入部，该信息输入部输入用于选择修正方法的修正信息；

所述修正方法选择部根据由所述信息输入部输入的修正信息来选择数据修正部。

11.根据权利要求10记载的描画装置，其特征在于，

所述图像数据输入接收部，从用于作成图像数据的图案作成装置接收所输入的图像数据；

所述信息输入部，伴随着向图像数据输入接收部输入图像数据的输入动作，输入来自所述图案作成装置的修正信息。

12.根据权利要求9记载的描画装置，其特征在于，

所述修正方法选择部，根据被输入的描画数据，判断要选择的数据修正部。

13.根据权利要求10记载的描画装置，其特征在于，

所述修正方法选择部，根据被输入的描画数据的图像是否含有多个相同的单片图案，来选择数据修正部。

14.根据权利要求10记载的描画装置，其特征在于，

所述修正方法选择部，根据被输入的描画数据的图像是否整体为单一图案的图像，来选择数据修正部。