[发明专利]一种塑料基材上镀铝膜的方法无效
| 申请号： | 201210009987.4 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102424950A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 赵玮;周志文;李民英 | 申请（专利权）人： | 广东志成冠军集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人： | 刘伍堂 |
| 地址： | 523718 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 塑料 基材 镀铝 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种塑料基材上镀铝膜的方法，包括：
第一步:将工件经过超声波除油、清洗、烘干后送入磁控溅射装置，然后抽真空至5E-3Pa；
第二步：进行磁控溅射镀掺铝氧化锌AZO薄膜，将本底抽真空至5E-3Pa，溅射气体为氩气，气压0.1Pa-0.9Pa，溅射功率2-5w/cm2，沉积时间为20——50s；
第三步：停止AZO镀膜，关闭溅射电源，关闭工艺气体氩气，将镀膜室本底真空抽至5E-3Pa；
第四步：进行磁控溅射镀铝薄膜，将本底抽真空至5E-3Pa，溅射气体为氩气，溅射气压0.1Pa-0.9Pa，溅射功率2-5w/cm2，沉积时间约70——100s。
2.如权利要求1所述的一种塑料基材上镀铝膜的方法，其特征在于，所述的塑料基材上镀的掺铝氧化锌AZO厚度为10——100nm，沉积的铝膜厚度为60——300nm。
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