[发明专利]一种用于原子层沉积设备的气体分配器

权利要求书

1.一种用于原子层沉积设备的气体分配器，其特征在于：所述气体分配器设置在原子层沉积设备的反应腔室内，位于所述反应腔室内基片台的上方；所述气体分配器为环型或U型的气路管道，所述气路管道上设有一个进气口和若干个出气口；所述进气口与所述反应腔室的进气管道相连通，所述出气口均匀分布在所述气路管道的内外两侧，所述出气口的出气方向与垂直方向形成倾斜角度。

2.如权利要求1所述的用于原子层沉积设备的气体分配器，其特征在于：所述气路管道的横截面为圆形或多边形。

3.如权利要求1所述的用于原子层沉积设备的气体分配器，其特征在于：所述出气口包括内排出气孔和外排出气孔，分别均匀设置在所述气路管道的内侧和外侧。

4.如权利要求3所述的用于原子层沉积设备的气体分配器，其特征在于：所述出气口的个数为偶数个，所述内排出气孔和外排出气孔交错排列。

5.如权利要求1所述的用于原子层沉积设备的气体分配器，其特征在于：所述出气口的孔径为1mm-1.5mm。

6.如权利要求1所述的用于原子层沉积设备的气体分配器，其特征在于：所述出气口的面积总和小于所述进气口的面积。

7.如权利要求1所述的用于原子层沉积设备的气体分配器，其特征在于：所述出气口的出气方向与垂直方向呈30度角倾斜。