[发明专利]钨钛靶材坯料的制作方法

权利要求书

1.一种钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，包括：

提供钨钛粉末；

将钨钛粉末放置入真空包套，抽真空；

采用热等静压工艺进行烧结成型；

完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出钨钛靶材坯料。

2.根据权利要求1所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，将钨钛粉末放置入真空包套后，还进行封死所述包套，预留所述包套上的脱气管的步骤，所述抽真空步骤是通过所述脱气管完成的。

3.根据权利要求1所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，所述抽真空步骤中的真空度至少达到2×10^-3Pa。

4.根据权利要求3所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，所述抽真空步骤中的真空度至少达到2×10^-3Pa后，还进行对所述真空包套加热步骤。

5.根据权利要求4所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，所述加热步骤进行至温度达250℃～500℃后，进行保温步骤，所述加热及保温过程中，持续抽真空使真空包套内的真空度至少为2×10^-3Pa，之后进行所述烧结成型步骤。

6.根据权利要求5所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，所述保温过程持续3～4小时。

7.根据权利要求6所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，所述热等静压工艺具体参数为：温度800℃～1400℃，环境压强150Mpa～200Mpa，并在此温度压强下保温3小时～6小时，之后冷却4小时～6小时至600℃。

8.根据权利要求1所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，所述真空包套采用厚度为1.0mm～2.0mm的低碳钢焊接成型。

9.根据权利要求7所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，所述烧结成型步骤中，所述真空包套的真空度至少为2×10^-3Pa，且处于被封闭状态。

10.根据权利要求2所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，所述将钨钛粉末放置入真空包套后，对钨钛粉末进行冷压处理，之后进行所述封死所述包套步骤。

11.根据权利要求1所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，所述钨钛粉末的纯度至少为99.9％。

12.根据权利要求11所述的钨钛靶材坯料的制作方法，其特征在于，制作的所述钨钛靶材坯料的致密度至少为99％。