[发明专利]一种提高深紫外激光器稳定性的装置

权利要求书

1.一种提高深紫外激光器输出稳定性的装置，包括：深紫外变频晶体器件、金属器件外壳、冷却介质和控温机；所述的深紫外变频晶体器件由一块深紫外变频晶体夹在两块直角棱镜的中间，通过一金属器件外壳使三者结合在一起组成，其中直角棱镜按深紫外变频晶体的匹配角以及深紫外变频晶体和直角棱镜材料的折射率切割，入射光垂直于直角棱镜的直角端面入射，入射到深紫外变频晶体上时满足相位匹配条件；其特征在于，在所述的金属器件外壳的上下壳壁内部分别设有空心流道，所述空心流道内装有冷却介质，所述空心流道内的冷却介质与所述控温机相连接，所述控温机用于控制所述深紫外变频晶体的工作温度保持不变。

2.按权利要求1所述的提高深紫外激光器输出稳定性的装置，其特征在于，所述的控温机为循环水系统或自来水管，用于带走热量，冷却深紫外变频晶体，以使所述深紫外变频晶体的工作温度保持不变。

3.按权利要求1所述的提高深紫外激光器输出稳定性的装置，其特征在于，所述的直角棱镜为石英材质棱镜、氟化钙材质棱镜或氟化镁材质棱镜。

4.按权利要求1所述的提高深紫外激光器输出稳定性的装置，其特征在于，所述的深紫外变频晶体为氟硼酸铍钾晶体、氟硼酸铍铷晶体、氟硼酸铍铯晶体、硼酸钙镧晶体、磷酸硼晶体、硼铍酸锶晶体、硼酸铯锂晶体、硼酸铝钾晶体、硼酸铯晶体、三硼酸锂晶体、硼酸铍氧钡晶体、三硼酸钙氧钇晶体、硼酸钙氧釓晶体、五硼酸钾晶体、β相偏硼酸钡晶体、磷酸二氢钾晶体或硼酸铝氧钡晶体。

5.按权利要求1所述的提高深紫外激光器输出稳定性的装置，其特征在于，所述的金属器件外壳为铝外壳、铜外壳或不锈钢外壳。

6.按权利要求1所述的提高深紫外激光器输出稳定性的装置，其特征在于，所述的冷却介质为水。