[发明专利]孔量测图形以及孔量测方法

权利要求书

1.一种孔量测图形，其特征在于包括：第一部分、第二部分以及第三部分；其中，所述第一部分是至少包含三行三列的重复图形的重复图形区域，所述第二部分是一个“T”型图形翻转90度之后形成的图形，所述第三部分是一个“T”型图形。

2.根据权利要求1所述的孔量测图形，其特征在于，所述第二部分位于所述第一部分侧部，并且第三部分位于所述第一部分上部或下部。

3.根据权利要求1或2所述的孔量测图形，其特征在于，所述第二部分以及所述第三部分在水平方向与竖直方向的尺寸与实际测量的图形尺寸比例在1∶1-3∶1之间。

4.根据权利要求1或2所述的孔量测图形，其特征在于，所述第二部分以及所述第三部分同时设置在量测位置行及列的起始位置。

5.根据权利要求1或2所述的孔量测图形，其特征在于，所述第二部分以及所述第三部分与所述第一部分之间的距离，在给定光刻工艺条件下不会影响主图形关键尺寸的最小距离。

6.一种利用根据权利要求1至5之一所述的孔量测图形进行孔量测的孔量测方法，其特征在于包括：

通过曝光和显影将光掩模上的接触孔和通孔关键尺寸量测图形转移到光刻胶膜中；

利用线宽扫描电子显微镜，通过水平和垂直方向的辅助图形确定第一量测点位置；以及

执行接触孔和/或通孔关键尺寸量测。