[发明专利]一种可调节磁靴的磁控溅射靶无效
| 申请号： | 201110362599.X | 申请日： | 2011-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102352486A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 邹定嵩;周学卿 | 申请（专利权）人： | 东莞市润华光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523795 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 调节 磁控溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种可调节磁靴的磁控溅射靶，包括有阴极座（5）、磁靴（1、2、3）、磁靴连接块（4），磁靴（1、2、3）装在阴极座（5）上，磁靴连接块（4）连接着磁靴（1、2）以及磁靴（2、3），其特征在于：磁靴（1、2、3）分离三段并排，中间一段为可调节磁靴（2）。
2.根据权利要求1所述的一种可调节磁靴的磁控溅射靶，其特征在于：所述分段磁靴（1、2、3）上装有分段磁铁（6）、均匀磁条（7），磁靴（1、3）固定在阴极座上（5），磁靴连接块（4）一端固定在磁靴（1、3）上、一端与磁靴（2）相连。
3.根据权利要求1所述的一种可调节磁靴的磁控溅射靶，其特征在于：所述磁靴（2）与磁靴连接块（4）的连接处有螺孔（41）并装有螺钉（42）。
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