[发明专利]太阳能薄膜电池导电玻璃磁控溅射设备上的伺服控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种腔室传动的检测及控制系统，特别涉及一种太阳能薄膜电池导电玻璃磁控溅射设备上的伺服控制系统。

背景技术

太阳能薄膜电池导电玻璃磁控溅射设备生产线简称光伏导电玻璃生产线，它可以将普通玻璃镀上一层导电金属薄膜，在此TCO玻璃膜面镀制PIN半导体薄膜并加装背板组成薄膜太阳能电池板。

中国专利CN201020107007涉及伺服电机精密传动驱动装置，属于伺服驱动技术领域，包括伺服驱动器、位置传感器A、伺服电机、执行机构、位置传感器B，其伺服驱动器输出端与伺服电机相连，在伺服电机的转子上设置一位置传感器A，伺服电机输出端的转子与执行机构相连，在执行机构输出轴上设置另一位置传感器B，位置传感器A、位置传感器B均与伺服驱动器相连。

在以往的光伏镀膜生产线上，腔室传动由变频器、同步电机、编码器和PLC来检测和控制，此类控制方法应用在溅射室之外的其他腔室中或对膜层质量要求不高的情况下可以满足要求，但是在对膜层要求苛刻的情况下就显露出它的缺陷。因为溅射室内的玻璃在镀膜过程都是在很低的传动速度下进行，传动电机甚至会低至1Hz的频率，而变频器从10Hz往下转矩性能开始直线下降，特别是低于5Hz时，所控制电机的抖动更加明显，这样产生的后果是1：会对要求在微米级的膜层有极大影响，造成所镀膜层的不均匀，直接影响产品质量；2.频繁的抖动积累会产生位置控制误差，会造成多片玻璃在腔室内重叠、相撞甚至破碎，那将不得不停止生产线清除玻璃渣，严重影响生产效率。在这种情况下，需要找到低频下更稳定的玻璃传送控制方案。

本发明克服了现有传动技术低速下造成的镀膜膜层不均匀的缺点，提供一种镀膜膜层更加均匀的传动应用；避免了玻璃在腔室内相撞破碎造成的生产停止的情况，解决了产品的质量和效率问题。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种太阳能薄膜电池导电玻璃磁控溅射设备上的伺服控制系统，克服了传动的低速抖动及位置控制的误差，提供一种镀膜膜层更加均匀的传动应用；避免了玻璃在腔室内相撞破碎造成的生产停止的情况，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。

本发明提供的太阳能薄膜电池导电玻璃磁控溅射设备上的伺服控制系统，该系统包括：PLC、通讯模块、伺服驱动器、伺服电机、编码器和工业以太网。伺服驱动器通过工业以太网与PCL的通讯模块相连接；伺服驱动器与伺服电机相连接；伺服电机上的编码器与伺服驱动器连接，编码器实时反馈伺服电机当前转速至伺服驱动器。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现：

所述的伺服驱动器为交流伺服驱动器。

所述的伺服电机为交流伺服电机。

本发明与原控制方案的优点：

1.克服了传动的低速抖动及位置控制的误差，提高了用此设备生产的产品的质量和产量。

2.由于采用了工业以太网通信方式，抗干扰能力增强，PLC可随时读出伺服电机的多种动态参数以便操作人员更好的了解操控此设备。

3.减少了传统控制用变频器同步电机时必须要用的编码器，PLC的计数模块，连接电缆等器件。减少了硬件连接故障，减少了设备制造成本。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1绘示太阳能薄膜电池导电玻璃磁控溅射设备上传动的伺服控制的系统示意图。

标号说明：1.PLC，2.通讯模块，3. 伺服驱动器，4. 编码器，5. 伺服电机，6.工业以太网。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的一种太阳能薄膜电池导电玻璃磁控溅射设备上传动的伺服控制系统，详细说明如下。

本发明的不同实施例将详述如下，以实施本发明的不同的技术特征，可理解的是，以下所述的特定实施例的单元和配置用以简化本发明，其仅为范例而不限制本发明的范围。