[发明专利]用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔

权利要求书

1.一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔，其特征在于，所述洗涤塔包括： 

循环洗涤剂箱，所述循环洗涤剂箱的中部设置有多孔的隔板，所述隔板下方的所述循环洗涤剂箱用于收集洗涤剂，所述隔板上设置有用于增大所述酸碱性排气与所述洗涤剂的接触面积的填料；

循环泵和循环管路，所述循环泵通过所述循环管路与所述循环洗涤剂箱连接，用于驱动所述洗涤剂循环流动；以及

液位计，所述液位计设置在所述循环洗涤剂箱的下部，并通过连接装置与所述循环洗涤剂箱连接，所述连接装置上设置有过滤装置。

2.按照权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述连接装置包括设置在所述液位计的入口管上的第一法兰环、设置在所述循环洗涤剂箱的出口管上的第二法兰环以及用于连接所述第一法兰环和所述第二法兰环的连接件。

3.按照权利要求2所述的洗涤塔，其特征在于，所述过滤装置设置在所述第一法兰环和所述第二法兰环之间。

4.按照权利要求3所述的洗涤塔，其特征在于，所述过滤装置为过滤网。

5.按照权利要求4所述的洗涤塔，其特征在于，所述过滤网是由非金属材料制成的。

6.按照权利要求5所述的洗涤塔，其特征在于，所述过滤网是由无纺布编织材料制成的。

7.按照权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述填料为特拉瑞德环结构的填料。

8.按照权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述循环管路在所述循环洗涤剂箱内的入口设置在所述洗涤剂循环箱的顶部，且所述循环管路的入口处设置有喷嘴。

9.按照权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述循环洗涤剂箱的前端和后端分别设置有气体入口和气体出口，以使所述酸碱性排气从所述气体入口进入经由所述填料并从所述气体出口排出。