[发明专利]一种应力辅助调制的介电可调的复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201110255163.0 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102431235A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 杜丕一;郑赞;宋晨路;翁文剑;韩高荣;赵高凌;沈鸽;徐刚;张溪文 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;B32B15/00;H01G4/10 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 陈昱彤 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应力 辅助 调制 可调 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种应力辅助调制的介电可调的复合薄膜，其特征在于：在基板（1）的正表面上自下而上依次镀有ITO导电层（2）、PT应力诱导层（3）和PST薄膜（4），所述PT应力诱导层（3）为钙钛矿相晶体结构且掺杂有杂质，所述杂质为其离子尺寸比Ti的离子尺寸大且其化合价比Ti的化合价小的金属离子。
2.根据权利要求1所述的复合薄膜，其特征在于：所述PT应力诱导层（3）为掺杂有杂质的钛酸铅，所述杂质为Zn2+离子、Fe3+离子或Co2+离子。
3.根据权利要求1或2所述的复合薄膜，其特征在于：在所述PT应力诱导层（3）中，所述杂质的摩尔百分含量为1%~3%。
4.根据权利要求1所述的复合薄膜，其特征在于：在所述PST薄膜（4）中，Pb的摩尔百分含量为35％～50％。
5.一种权利要求1的复合薄膜的制备方法，其特征在于：使用溶胶凝胶法在镀有ITO导电层（2）的基板（1）的正表面自下而上依次镀上PT应力诱导层（3）和PST薄膜（4）。
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