[实用新型]一种圆柱型等离子体谐振腔

权利要求书

1.一种圆柱型等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体的两端设置截止波导，在圆柱型谐振腔壳体周向开设有一波导入口，其特征在于在圆柱型谐振腔壳体两端的截止波导为活动端盖结构，所述的活动端盖结构截止波导开设有中间通孔，内端面设置凸起的圆台，与圆柱型谐振腔相配置。

2.按权利要求1所述的圆柱型等离子体谐振腔，其特征在于所述的圆柱型谐振腔壳体两端活动端盖结构的截止波导相对称。

3.按权利要求1或2所述的圆柱型等离子体谐振腔，其特征在于在活动端盖结构的截止波导端面近外周处开设连接孔，在圆柱型谐振腔壳体的端头对应设置螺孔，通过螺栓将活动端盖与圆柱型谐振腔壳体端头相固联。

4.按权利要求3所述的圆柱型等离子体谐振腔，其特征在于所述的活动端盖结构的截止波导内设有冷却水道，冷却水道的两头与冷却水管道相连通。

5.按权利要求4所述的圆柱型等离子体谐振腔，其特征在于冷却水道入口与出口管路横截面积为40mm²～50mm²，活动端盖内冷却水道横截面积约为270mm²～470mm²。

6.按权利要求4所述的圆柱型等离子体谐振腔，其特征在于冷却水供水压力3Bar～4Bar，流速为2.5m/s～3m/s，冷却水流量为6～9L/min，冷却水道冷却水入口与出口的温差Δt＝28～32℃。

7.按权利要求4所述的圆柱型等离子体谐振腔，其特征在于所述的圆柱型谐振腔主要结构参数为：D＝100±5mm，L＝87±2mm，d＝45±2mm，l＝50±5mm；其中D为圆柱型谐振腔腔体直径，L为腔体长度，d为截止波导开设中间通孔孔径，l为从圆台的内端面至活动端盖结构外端面为截止波导长度。

8.按权利要求4所述的圆柱型等离子体谐振腔，其特征在于所述的圆柱型谐振腔主要结构参数为：D＝100±5mm，L＝87±2mm，d＝55±2mm，l＝50±5mm；其中D为圆柱型谐振腔腔体直径，L为腔体长度，d为截止波导开设中间通孔孔径，l为从圆台的内端面至活动端盖结构外端面为截止波导长度。

9.按权利要求4所述的圆柱型等离子体谐振腔，其特征在于所述的圆柱型谐振腔主要结构参数为：D＝100±5mm，L＝87±2mm，d＝65±2mm，l＝50±5mm；其中D为圆柱型谐振腔腔体直径，L为腔体长度，d为截止波导开设中间通孔孔径，l为从圆台的内端面至活动端盖结构外端面为截止波导长度。

10.按权利要求4所述的圆柱型等离子体谐振腔，其特征在于所述的圆柱型谐振腔主要结构参数为：D＝100±5mm，L＝87±2mm，d＝70mm±2mm，l＝50mm～70mm；其中D为圆柱型谐振腔腔体直径，L为腔体长度，d为截止波导开设中间通孔孔径，l为从圆台的内端面至活动端盖结构外端面为截止波导长度。