[发明专利]一种用于大面积光刻的投影物镜

权利要求书

1.一种用于大面积光刻的投影物镜，其特征在于所述投影物镜包括沿光轴依次设置的一具有正光焦度的第一透镜组，一具有负光焦度的第二透镜组，一孔径光阑，以及一与第二透镜组相对孔径光阑对称设置的第三透镜组，一与第一透镜组相对孔径光阑对称设置的第四透镜组；第一、第二透镜组的光焦度满足以下关系式：

G1∶G2＝-0.92～-1.08

其中，G1为第一透镜组光焦度；G2为第二透镜组光焦度。

2.如权利要求1所述的投影物镜，其特征在于所述第一透镜组包括具有正光焦度的第一及第二子透镜组，第一、第二子透镜组光焦度满足以下关系式：

G11∶G12＝0.9～1.1

其中，G11为第一子透镜组光焦度；G12为第二子透镜组光焦度。

3.如权利要求2所述的投影物镜，其特征在于所述第一子透镜组包括两组正光焦度的透镜，一组由一片正透镜及一片负透镜组成伪胶合透镜，用以校正色差；另外一组至少包括一片正透镜。

4.如权利要求3所述的投影物镜，其特征在于所述第二透镜组包括至少一片负透镜。

5.如权利要求4所述的投影物镜，其特征在于具有负光焦度的镜片使用i-line折射率大于1.6的火石玻璃，具有正光焦度的镜片使用低色散的冕牌玻璃；伪胶合透镜玻璃材料对的阿贝数差大于300；阿贝数是指：其中n₃₆₅是材料在365nm波长下的折射率，n₃₆₃是材料在365nm波长下的折射率，n₃₆₇是材料在365nm波长下的折射率。

6.如权利要求4所述的投影物镜，其特征在于具有负光焦度的镜片使用低色散的冕牌玻璃，具有正光焦度的镜片使用i-line折射率大于1.6的火石玻璃；伪胶合透镜玻璃材料对的阿贝数差大于300；阿贝数是指：其中n₃₆₅是材料在365nm波长下的折射率，n₃₆₃是材料在365nm波长下的折射率，n₃₆₇是材料在365nm波长下的折射率。

7.如权利要求4所述的投影物镜，其特征在于所述投影物镜的工作距L满足：D是最大的镜片直径，F是全视场大小，NA是数值孔径。

8.如权利要求4所述的投影物镜，其特征在于所述投影物镜为1倍放大倍率。

9.如权利要求4所述的投影物镜，其特征在于所述投影物镜的工作距为200mm-400mm。