[发明专利]提高电光调制器调制带宽的可集成化方法

权利要求书

1.一种提高电光调制器调制带宽的可集成化方法，该方法包括如下制作步骤：

步骤1：在高速电路板上制作高通滤波器，高通滤波器输入端电极与高速电路板边缘靠齐；

步骤2：将同轴射频转接头与高速电路板上的高通滤波器的输入端电极焊接在一起；

步骤3：在靠近高通滤波器的输出电极的端部、在高速电路板上涂敷粘结剂，将电光调制器芯片固定在高速电路板上；

步骤4：利用互连金丝将电光调制器的输入端电极与高通滤波器的输出端电极互连在一起，完成器件的制作。

2.根据权利要求1所述的提高电光调制器调制带宽的可集成化方法，其中步骤1所说的高速电路板为环氧树脂玻璃布层压板，高通滤波器为微带线型或共面型，其结构采用交叉指形。

3.根据权利要求1所述的提高电光调制器调制带宽的可集成化方法，其中步骤2所说的高通滤波器的输入端电极、输出端电极一端采用过渡线结构，以便使同轴射频转接头、电光调制器与高通滤波器阻抗匹配，减少微波反射损耗。

4.根据权利要求1所述的提高电光调制器调制带宽的可集成化方法，其中步骤3中的电光调制器是制作在绝缘衬底上的硅基片上，电光调制器的光学结构为马赫-曾德干涉型结构，电学结构为正向p型-本征型-n型结构。