[发明专利]制作用于光学鼠标的单模VCSEL的方法

权利要求书

1.一种面射型激光器，其包括：

一带有顶面及底面的衬底；

一位于所述衬底的所述顶面上的由折射率交替变化的镜面层构成的第一堆叠；

一设置于所述第一堆叠上的有源层；

一设置于所述有源层上的由折射率交替变化的镜面层构成的第二堆叠；及

所述第二堆叠的一直径减小的镜面延伸部分，其在所述第二堆叠的一与所述有源层相对的侧上形成所述面射型激光器的一从所述第二堆叠的一中心部分向外延伸的光学孔径。

2.如权利要求1所述的面射型激光器，其进一步包括一围绕所述镜面延伸部分的一基座设置的环形触点。

3.如权利要求1所述的面射型激光器，其中所述镜面延伸部分进一步包括一未经掺杂的分布式布拉格反射镜。

4.如权利要求1所述的面射型激光器，其中所述镜面延伸部分进一步包括一介电性分布式布拉格反射镜。

5.如权利要求1所述的面射型激光器，其中所述镜面延伸部分进一步包括一4至5微米的直径。

6.如权利要求1所述的面射型激光器，其中所述镜面延伸部分进一步包括一大约0.2至1.5微米的高度。

7.如权利要求1所述的面射型激光器，其中所述镜面延伸部分进一步包括一圆柱形区域。

8.如权利要求1所述的面射型激光器，其中所述激光器是一包括一用于电流限制的植入区域的增益导向植入型VCSEL。

9.如权利要求1所述的面射型激光器，其进一步包括在所述第二镜面层堆叠的一反相层上设置一p型触点层。

10.一种面射型激光器，其包括：

一带有顶面及底面的衬底；

一位于所述衬底的所述顶面上的由折射率交替变化的镜面层构成的第一堆叠；

一设置于所述第一堆叠上的有源层；及

一设置于所述有源层上的由折射率交替变化的镜面层构成的第二堆叠，所述第二镜面层堆叠具有一靠近所述有源层的第一直径及一在一远端处变至一第二减小的直径的台阶。

11.如权利要求10所述的面射型激光器，其进一步在从所述第一直径变至所述第二直径的所述台阶的一表面上包括一围绕所述第二镜面层堆叠设置的环形触点。

12.如权利要求10所述的面射型激光器，其中所述第二减小的直径内的镜面层进一步包括一未经掺杂的分布式布拉格反射镜。

13.如权利要求10所述的面射型激光器，其中所述第二减小的直径内的镜面层进一步包括一介电性分布式布拉格反射镜。

14.如权利要求10所述的面射型激光器，其中所述第二减小的直径进一步包括4至5微米。

15.如权利要求10所述的面射型激光器，其中所述第二减小的直径内的所述镜面层进一步包括一大约0.2至1.5微米的高度。

16.如权利要求10所述的面射型激光器，其中所述第二减小的直径内的所述镜面层进一步包括一圆柱形区域。

17.如权利要求10所述的面射型激光器，其中所述激光器是一包括一用于电流限制的植入区域的增益导向植入型VCSEL。

18.如权利要求10所述的面射型激光器，其进一步包括在所述第二镜面层堆叠的一反相层上设置一p型触点层。

19.一种面射型激光器，其包括：

一带有顶面及底面的衬底；

一位于所述衬底的所述顶面上的由折射率交替变化的镜面层构成的第一堆叠；

一设置于所述第一堆叠上的有源层；及

一设置于所述有源层上的由折射率交替变化的镜面层构成的第二堆叠，所述第二镜面层堆叠具有一靠近所述有源层的具有一第一直径的第一镜面层部分及一位于一远端处具有一第二减小的直径的第二镜面层部分。

20.如权利要求19所述的面射型激光器，其进一步包括在所述第一部分的位于所述第二部分附近的一镜面层的一周边的一外表面上设置一p型触点。