[发明专利]溅射装置及溅射成膜方法有效
| 申请号： | 02804597.1 | 申请日： | 2002-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN1491293A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 志堂寺荣治;安藤英一;山田朋广;真下尚洋 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;G02B5/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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