专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种具有ZrN层的低辐射玻璃-CN201810701264.8有效
  • 黄倩 - 广东新华强玻璃科技有限公司
  • 2018-06-29 - 2020-07-21 - C03C17/36
  • 本发明提供了一种具有ZrN层的低辐射玻璃,低辐射玻璃是由如下方法制备的:在玻璃基底上,沉积底层电介质层;在底层电介质层上,沉积第一隔离层;在第一隔离层上,沉积第一ZrN层;在第一ZrN层上,沉积第一Ag层;在第一Ag层上,沉积第一Cu层;在第一Cu层上,沉积第一Pd层;在第一Pd层上,沉积第二ZrN层;在第二ZrN层上,沉积第二隔离层;在第二隔离层上,沉积顶层保护层。本发明针对现有技术的问题,提出了一种带有ZrN层的低辐射玻璃,本发明由于加入了ZrN层,大大提高了材料的低辐射特性,同时由于本发明加入了Cu和Pd层,并特别设计了各层之间的层顺序,使得本发明的低辐射玻璃能够呈现金色外观
  • 一种具有zrn辐射玻璃
  • [发明专利]一种用于铜互连线的Al2-CN202011122601.1在审
  • 孟瑜;宋忠孝;李龙;畅庚榕;王小艳 - 西安文理学院;西安交通大学苏州研究院
  • 2020-10-19 - 2021-01-19 - H01L21/768
  • 本发明公开了一种用于铜互连线的Al2O3/ZrN双层扩散阻挡层及其制备方法,通过在清洗除杂预处理后的基板上沉积清洗除杂预处理,然后在Al2O3过渡层表面沉积一层ZrN阻挡层形成双层结构,通过在ZrN阻挡层与硅基底之间制备一层超薄Al2O3过渡层,可以有效提高ZrN阻挡层材料的扩散阻挡性能,也有助于减少尺寸效应引起的铜布线电阻增加,利用沉积形成的Al2O3过渡层的非晶结构,可以明显改善ZrN阻挡层与硅基底的界面结合,具有非晶结构的Al2O3/ZrN双层阻挡层具有较高的热稳定性,提高了抗Cu原子扩散的阻挡性能。
  • 一种用于互连albasesub

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