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- [发明专利]YE在线检测管控方法-CN201410057303.7有效
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方三军;杨健;陈思安;朱瑜杰
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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2014-02-20
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2018-03-23
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H01L21/66
- 本发明公开了一种YE在线检测管控方法，依据设定的YE抽样率对经过生产设备之后的半导体产品进行抽样，通过设备缺陷风险等级量化评估手段以确定设备缺陷风险等级，再根据该设备缺陷风险等级，决定所抽样的半导体产品的YE在线缺陷检测优先级，以进行随后的设备缺陷检测，然后依据设备缺陷检测结果的优劣，以调整YE抽样率、YE在线缺陷检测优先级、设备缺陷风险等级量化评估参数、生产设备缺陷检测率。本发明实现了在YE在线缺陷检测中依据每一次的检测结果，进行YE抽样率、YE在线缺陷检测优先级、设备缺陷风险等级量化评估参数、以及生产设备缺陷检测率的优化，提高了YE在线检测机台的检测效率，降低生产机台的缺陷风险
- ye在线检测方法
- [发明专利]一种用于栅格法的三维空间随机点快速生成方法-CN202310113461.9在审
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于倩;王俊强
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邢台职业技术学院
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2023-02-14
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2023-05-26
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G06T17/00
- ,my,mz)]表示；步骤2：判断该三维栅格空间是否被完全分割；步骤3：生成X向随机数xe；步骤4：在矩阵[(mx,my,mz)]中，提取mx＝xe矩阵[(xe,my,mz)]；步骤5：生成Y向随机数ye；步骤6：在矩阵[(xe,my,mz)]中，提取my＝ye矩阵[(xe,ye,mz)]；步骤7：生成Z向随机数ze；步骤8：使用随机数xe，ye，ze确定三维矩阵[(mx,my,mz)]中的一个栅格(xe,ye,ze)，该栅格即是需要生成的随机点。
- 一种用于栅格三维空间随机快速生成方法
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