专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种正片系统以及使用该正片系统正片的方法-CN202210273701.7在审
  • 伊文君;张奇;徐杰;贾侦华 - 北京中拓光电科技有限公司
  • 2022-03-19 - 2022-10-04 - H01L21/677
  • 一种正片系统以及使用该系统正片的方法,包括正片机、机械手(7)和控制系统,正片机具有平台,可沿X轴平移及可绕Z轴旋转;平台固定吸盘(905);载片台(813)被设置成大致的U型;吸盘(905)位于载片台(813)U型开口内,载片台(813)可相对吸盘(905)在高于吸盘上表面一定距离与低于吸盘上表面一定距离的位置间上下移动;机械手(7)具有负压吸口,可将外延片(6)固定,并将外延片(6)从初始位置运送到载片台(813)上,以及正片结束后将外延片(6)取走;控制系统上传感器可感测吸盘(905)上的外延片(6)的位置状态;通过控制机械手(7)在Y轴方向上的位移取代正片机的Y向平移运动,实现正片。
  • 一种正片系统以及使用方法

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