|
钻瓜专利网为您找到相关结果 998682个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]三维测量装置-CN202180091766.3在审
-
石垣裕之;冈田点;二村伊久雄;间宫高弘;早崎芳夫
-
CKD株式会社;国立大学法人宇都宫大学
-
2021-11-05
-
2023-09-22
-
G01B11/24
- 三维测量装置(1)具备:干涉光学系统(3),具有将入射光分割成两个光的半透半反镜(HM),将该分割后的一个光照射到工件(W),并将另一个光照射到参考面(23),将它们再次合成并射出;第一投光系统(2A),朝向半透半反镜(HM)射出第一波长的第一光;第二投光系统(2B),朝向半透半反镜(HM)射出第二波长的第二光;第一拍摄系统(4A),对从半透半反镜(HM)射出的第一光涉及的输出光进行拍摄;以及第二拍摄系统(4B),对从半透半反镜(HM)射出的第二光涉及的输出光进行拍摄,构成为基于由拍摄系统(4A、4B)获取的图像数据执行工件(W)的三维测量,并且朝向工件(W)的第一光和第二光的行进方向不同,并且朝向参考面
- 三维测量装置
|