专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种真空溅射镀膜机及其吸灰方法-CN202010507680.1有效
  • 陆张武;於霄峰;徐勇军;李恭剑 - 浙江晶驰光电科技有限公司
  • 2020-06-05 - 2022-09-23 - C23C14/56
  • 真空溅射镀膜机包括镀膜腔室PR‑CH、搬送腔室LL‑CH、开门阀;LL‑CH和PR‑CH处均设有吸灰基板,或者PR‑CH设有吸灰基板;吸灰基板面朝腔室内侧面设有粘灰层。当两个腔室均设有吸灰基板时;方法包括:将LL‑CH抽气至小于压强阈值;对PR‑CH进行充气净化,使得PR‑CH内污染物吸附在吸灰基板上;在LL‑CH完成抽气和放气后,停止对LL‑CH抽气,打开开门阀,对连通的LL‑CH和PR‑CH抽气一段时间并关闭开门阀;对LL‑CH进行充气净化,使得LL‑CH内污染物吸附在吸灰基板上。当镀膜腔室设有吸灰基板时,方法包括对PR‑CH进行充气净化,使得PR‑CH内污染物吸附在吸灰基板上。本发明在不开箱清洁的条件下,对腔体内部进行吸灰,吸灰完成后产品表面质量得到提高。
  • 一种真空溅射镀膜及其方法

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