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- [发明专利]静电放电保护电路及方法-CN201710059798.0有效
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王畅资;杨子毅
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联发科技股份有限公司
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2017-01-24
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2019-03-01
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H02H9/00
- 本发明公开了静电放电保护电路及静电放电保护方法，静电放电保护电路，包括：静电放电检测电路，用于在普通模式下检测静电放电事件的发生，且当检测到所述静电放电事件发生时，产生静电放电触发信号；静电放电钳位电路，用于在静电放电模式下根据所述静电放电触发信号执行放电操作；泄漏电流减小电路，用于在所述普通模式下提供偏置电压给所述静电放电钳位电路以控制所述静电放电钳位电路的泄漏电流低于特定值。因此，由此本发明实施例可通过对静电放电钳位电路的泄漏电流的控制而减小整个静电放电保护电路的泄漏电流。
- 静电放电保护电路方法
- [发明专利]一种静电吸盘性能的监测方法-CN201410652825.1有效
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罗永坚;任昱;吕煜坤;朱骏;张旭升
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上海华力微电子有限公司
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2014-11-17
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2015-02-18
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H01L21/66
- 本发明提供了一种静电吸盘性能的监测方法，在等离子体干法刻蚀反应腔中进行，反应腔室内具有静电吸盘，中空管穿过静电吸盘；通过中空管向晶圆背部通入冷却气体；监测方法包括：将晶圆置于反应腔室内的静电吸盘并紧密吸附在静电吸盘表面；对反应腔室抽真空；检测反应腔室的气体泄漏率；通过中空管向晶圆背部通入冷却气体，并检测通入冷却气体后的反应腔室的泄漏率；用通入冷却气体之后的反应腔室的气体泄漏率减去通入冷却气体之前的反应腔室的气体泄漏率，得到冷却气体从晶圆背面泄漏到反应腔室的泄漏率；设定一阈值，当冷却气体泄漏到反应腔室的泄漏率超过该阈值时，则判断得出静电吸盘的性能下降。从而使性能下降的静电吸盘得到及时更换。
- 一种静电吸盘性能监测方法
- [实用新型]人体静电清除器-CN99210625.7无效
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姜利明
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姜利明
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1999-05-10
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2000-03-29
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H05F3/02
- 本实用新型公开了一种人体静电清除器,它主要由电阻(1)、电流指示器(2)、弹簧(4)、触头(3)或接地导线相串联而成。用手指触摸电阻(1)时,人体上的静电经电阻(1)、电流指示器(2)、弹簧(4)、触头(3)或接地导线泄漏于地,从而清除人体上的静电。在泄漏过程中,电流指示器(2)显示,因电阻(1)对电流的限制,泄漏时电流很小,手指无感觉。
- 人体静电清除
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