[发明专利]气体泄漏检查装置及检查方法在审
申请号: | 202210829926.6 | 申请日: | 2022-07-14 |
公开(公告)号: | CN116412972A | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 曹美英;姜炅希;高荣兰;裵多顺 | 申请(专利权)人: | 细美事有限公司 |
主分类号: | G01M3/24 | 分类号: | G01M3/24 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;王艳春 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供气体泄漏检查装置及检查方法。气体泄漏检查装置包括:腔室,容纳基板;气体供应单元,供应用于加工所述基板的气体;静电卡盘,所述基板在所述腔室内位于所述静电卡盘的上部,且所述静电卡盘与所述基板形成间隔并且形成有所述气体被供应的间隔空间;以及检测单元,至少识别所述气体相对于所述静电卡盘的泄漏位置。 | ||
搜索关键词: | 气体 泄漏 检查 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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