专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]高速强制气固反应系统-CN202021320303.9有效
  • 徐晓青;其他发明人请求不公开姓名 - 徐晓青
  • 2020-07-01 - 2021-07-20 - B01D53/82
  • 本实用新型涉及一种高速强制气固反应系统,由气体入口、高压风机、压力室、高速喷嘴、固态药剂、反应后气体出口构成。含待反应杂质的气体气体入口,经过高压风机,进入压力室,通过高速喷嘴喷出气体流速高于30m/s,直接对准固态药剂喷吹。高速气流中的待处理组分以高速状态撞击固态药剂,发生反应,最后经反应后气体出口排出。本实用新型采用高速气流直接冲击固体药剂表面,实现气体中待处理组分与固态药剂的充分接触、碰撞,实现快速高效反应,降低药剂消耗量。
  • 高速强制反应系统
  • [实用新型]进气装置及半导体设备-CN202021641439.X有效
  • 王春;徐刚;郑波;马振国 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-08-10 - 2021-05-07 - F17D1/02
  • 本实用新型提供一种用于半导体设备的进气装置及半导体设备,其中,进气装置包括至少一条用于向半导体设备的工艺腔室内输送稀释气体和反应气体的工艺气体管路,该进气装置还包括吹扫气体管路,吹扫气体管路与工艺腔室连通,用于向工艺腔室内输送吹扫气体。本实用新型提供的半导体设备的进气装置及半导体设备,能够提高反应气体的排气效率,提高半导体工艺结束的及时性,从而能够降低过刻蚀的概率,提高工艺效果。
  • 装置半导体设备

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