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- [发明专利]纳米金刚石镀膜封装基板-CN201310015688.6无效
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赵利民
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东莞市中实创半导体照明有限公司
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2013-01-16
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2013-05-01
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H01L33/64
- 本发明公开了一种纳米金刚石镀膜封装基板,其高导热率、低热阻、高可靠性、价格便宜,提升LED发光效率与使用寿命。本发明以石墨片做为载体,石墨片表面引入一纳米金刚石镀膜层,纳米金刚石镀膜层上面设有有机硅胶,有机硅胶分布于纳米金刚石镀膜层两侧,有机硅胶上设有导电焊板,纳米金刚石镀膜层上设有一个及以上LED芯片,LED芯片设于两侧导电焊板之间,LED芯片通过互连线连接导电焊板,LED芯片通过芯片导热胶粘贴在纳米金刚石镀膜层上。本发明在封装表面进行纳米金刚石镀膜工艺,加强封装面硬度,增强光反射能力,热散效果好。
- 纳米金刚石镀膜封装
- [发明专利]一种金刚石的加工方法-CN201810597162.6有效
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代兵;朱嘉琦;吕致君;刘康;韩杰才
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哈尔滨工业大学
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2018-06-11
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2020-06-09
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C23C14/24
- 本发明提供一种金刚石的加工方法,属于超硬材料加工技术领域。本发明解决了现有金刚石加工精细度不高的问题。本发明首先将带蒸镀掩模板的金刚石在蒸发镀膜机内进行铁镀膜,待膜层冷却后取出镀膜后的金刚石;将镀膜后的金刚石置于微波等离子体CVD仪器的CVD仓内;将CVD仓抽真空,然后通入氢气,打开微波源通入微波起辉,调节刻蚀温度、微波功率以及CVD仓内气压,开始刻蚀;刻蚀完成后,调节微波功率和CVD仓内气压,然后关闭微波,待冷却后,向CVD仓内通入空气,打开CVD仓取出刻蚀后的金刚石。本发明可用于金刚石精密加工。
- 一种金刚石加工方法
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