专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种薄膜应力量方法及装置-CN201310470964.8有效
  • 刘冲;彭思君;杨飞 - 上海和辉光电有限公司
  • 2013-10-10 - 2015-04-29 - G01L1/24
  • 本发明涉及一种薄膜应力量方法及装置,属于测量技术领域。该薄膜应力量方法及装置中,激光发射器投射至少两束激光投射到待的薄膜上,使得检测器在接受到经薄膜反射的反射光后,能根据多束反射光反射角之间的差值Δα修正薄膜应力,从而能够有效降低误差;同时,该装置还包括旋转镜组,能将超出量程的反射光投射到激光接收单元,以此扩大量范围,进一步提高结果的精确度,且本发明的薄膜应力量装置结构简单,成本低廉,方法应用方式简便,使用范围也较为广泛。
  • 一种薄膜力量方法装置
  • [实用新型]用于装置的镜头座-CN200920220516.1无效
  • 叶棋文 - 源台精密科技股份有限公司
  • 2009-10-30 - 2010-08-18 - G01B11/02
  • 一种用于装置的镜头座,其包括一可结合于装置的镜头的座体及一结合于座体的激光感单元,座体内设有一光学镜片,以供对应一待物体,而激光感单元包括一可发射激光的激光单元及一可接收激光的感单元,激光单元对应第一光学镜片,以供反射激光单元所发射的激光至待物体,感单元是接收该待物体散射的激光。本实用新型是利用一座体将激光感单元结合于装置的镜头处,在撷取待物体影像同时,可利激光感单元精准测到待物体表面的高低位置,借以达到准确度高,精密度好的需求。
  • 用于装置镜头
  • [发明专利]测试系统-CN201210146710.6无效
  • 邵荣宗;郑媛芳;邹智文 - 威光自动化科技股份有限公司
  • 2012-05-07 - 2013-10-23 - G01R31/26
  • 本发明提供一种测试系统,包括一待装置、多个仪器、一控制装置及一切换模块;所述多个仪器用以测试所述待装置;所述控制装置用以输出一控制信号;及所述切换模块包含多个继电器,所述切换模块分别耦接所述待装置、所述多个仪器及所述控制装置,用以依据所述控制信号,决定由所述多个仪器其中之一对所述待装置进行测试,其中所述控制装置于控制所述切换模块进行所述多个仪器的切换之前,先检测所述多个继电器的状态以确认所述切换模块能正常运作
  • 测试系统
  • [发明专利]一种获取套刻误差数据的方法及装置-CN202010057340.3有效
  • 马恩泽;韦亚一;张利斌;董立松 - 中国科学院微电子研究所
  • 2020-01-19 - 2022-04-26 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种获取套刻误差数据的方法及装置,包括:获取套刻误差的标记方式,根据标记方式确定套刻标记;基于套刻标记,确定线条上的区域,区域包括多组待区间,待区间的数量根据标记方式确定;针对每个区域,对多组待区间进行,获取对应的数据;基于预设的筛选标准,对数据进行筛选,获取符合筛选标准的数据;根据符合筛选标准的数据确定套刻误差的目标量数据;如此,因待区域包括多个,即使在晶圆出现多个chuck spot或focus spot问题的情况下,本申请也可将不符合筛选标准的数据筛选掉,进而可以利用保留下的有效数据确定出最终的目标量数据。
  • 一种获取误差数据方法装置
  • [发明专利]电容值电路及电容值方法-CN201710021853.7有效
  • 光宇;苏聪宜;张仕勤 - 瑞鼎科技股份有限公司
  • 2017-01-12 - 2020-05-19 - G01R27/26
  • 本发明公开一种电容值电路及电容值方法。电容值电路包括积分器电路、第一控制电路、第二控制电路及处理器电路。电容值方法包括下列步骤:利用电流源与充放电时间产生第一电荷,其中第一电荷量大小相关于待电容的第二电荷;产生第三电荷,并根据第一电荷与第三电荷量产生第四电荷,其中第三电荷量大小相关于待电容;产生第五电荷,并根据第五电荷与第四电荷量产生剩余电荷;以积分器将剩余电荷转换为第一电压并根据第一电压是否满足第二电压产生判断结果;以及计算判断结果得到待电容的电容值变化
  • 电容值量测电路方法
  • [发明专利]工具及使用该工具的方法-CN201780081263.1有效
  • J·L·克勒泽 - ASML控股股份有限公司
  • 2017-12-13 - 2021-10-22 - G03F9/00
  • 一种方法包括:在器件图案化过程的第一器件光刻步骤之后,测量物体上的劣化的标记和/或与所述劣化的标记相关联的器件图案特征,所述劣化的标记至少部分地起因于所述物体上的所述第一器件光刻步骤;和在所述物体上的所述器件图案化过程的第二器件光刻步骤之前,在所述物体上产生替换的标记,以代替所述劣化的标记用于所述图案化过程中。
  • 工具使用方法

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