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[发明专利]改善边缘放置误差的方法-CN202210859062.2在审
发明人：戴韫青 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明提供一种改善边缘放置误差的方法，提供设计版图，对设计版图第一次光学临近修正得到第一光罩图形；其中，第一光罩图形上形成有至少一个片段图形，使得第一光罩图形呈阶梯状，第一光罩图形的第一曝光后轮廓与设计版图间存在第一边缘放置误差；在第一光罩图形存在高度差处插入补偿图形，得到第二光罩图形；根据第二光罩图形得到第二曝光后轮廓，使得第二曝光后轮廓与设计版图间存在的第二边缘放置误差小于第一边缘放置误差。本发明在光罩修正图形中落差较大的两图形之间生成一个阶梯状的图形做为缓冲，曝光产生的轮廓有较小的边缘放置误差(EPE)，并且其轮廓上的波浪现象也减弱。
改善边缘放置误差方法

[发明专利]边缘放置误差的检测方法-CN202111013392.1在审
发明人：朱晓亮;张家锦 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种边缘放置误差的检测方法，包括：提供一掩模版，形成有包括剂量测试图形和边缘粗糙度测试图形的测试标记；根据测试标记执行曝光工艺，并检测获得影响边缘放置误差的参数，参数包括照明位置精度、剂量重复性影响值、套刻误差、边缘粗糙度影响值和局部CD均匀性误差；根据参数设计包括第一前层图形和第一当层图形的边缘放置误差测试图形；执行曝光和显影工艺，检测第一前层图形与第一当层图形之间的套准位置，以判断边缘放置误差是否在容许量内本发明的技术方案能够拟合出套刻误差和CD均匀性误差等参数在边缘放置误差中的占比或者能够获得各个参数与边缘放置误差之间的关系式。
边缘放置误差检测方法

[发明专利]一种边缘协作式副本放置方法-CN202211696741.9在审
发明人：黄宏程;王秋皓;胡敏 -专利权人：重庆邮电大学
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G06F9/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种边缘协作式副本放置方法，属于边缘计算领域。该方法包括三个部分：基于基站内容与基站用户的相似度划分边缘协作区域；边缘资源管理器预测区域内副本流行度并完成副本放置推荐；云中心节点通过强化学习算法优化每个边缘协作域的副本部署规则以解决边缘节点中副本的局部冗余
一种边缘协作副本放置方法

[发明专利]叠加及边缘放置错误的计量及控制-CN201980016789.0有效
发明人： A·V·舒杰葛洛夫;F·拉斯克;N·古特曼 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明揭示一种叠加计量系统，其可包含：控制器，其通过测量基于光学可分辨特征的光学叠加测量与基于装置级特征的装置级叠加测量之间的差来产生对包含所述光学可分辨特征及所述装置级特征的混合叠加目标的光学工具错误调整；基于特征在装置区域内的位置来产生对所述混合叠加目标的目标到装置调整；基于所述光学叠加测量、所述光学工具错误调整或所述目标到装置调整中的至少一者来确定所述装置区域中的一或多个位置的装置相关叠加测量；及将所述装置区域的叠加可校正值提供到光刻工具，以基于所述装置相关叠加测量来修改至少一个后续曝光的曝光条件。
叠加边缘放置错误计量控制

[发明专利]一种边缘缓存中的内容放置方法-CN202210985276.4在审
发明人：刘强;司明宇;杨鲲;韦云凯 -专利权人：电子科技大学长三角研究院（衢州）
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H04W28/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种边缘缓存中的内容放置方法，具体包括以下步骤：步骤1、建立区域用户兴趣模型；步骤2、预测内容在基站上的请求数；步骤3、计算内容在基站上的缓存收益；步骤4、建立缓存策略执行缓存；步骤5、更新内容的缓存收益本发明基于用户的历史请求数、内容与区域内用户的兴趣匹配程度以及当前基站的缓存能力来计算内容的缓存收益，将内容放置在缓存收益最大的基站。相比于传统的缓存算法，该算法有效地降低了区域内内容传输的时延。并且该算法会自适应地将流行度较高的内容副本放置在区域内的多个基站，有效减轻了热点内容在区域内的传输压力并提高了用户的QoE。
一种边缘缓存中的内容放置方法

[发明专利]一种药物放置托盘边缘加工装置-CN202211690478.2在审
发明人：郭振春 -专利权人：郭振春
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： B24B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种加工装置，尤其涉及一种药物放置托盘边缘加工装置。本发明提供一种托盘边缘加工效率较高，且可对不同长度的托盘边缘进行打磨加工的药物放置托盘边缘加工装置。本发明提供了这样一种药物放置托盘边缘加工装置，包括有固定板、第一固定块和第一连接杆等；固定板顶部前后两侧均设置有两个第一固定块，左侧的两个第一固定块相互靠近的一侧之间和右侧的两个第一固定块相互靠近的一侧之间均设置有第一连接杆工作人员将托盘反扣在放置架上，工作人员启动伺服电机，进而伺服电机的输出轴通过联轴器带动螺杆进行转动，在螺杆转动的同时，连接块与螺杆接触，带动第一打磨轮向右移动对托盘边缘进行打磨加工。
一种药物放置托盘边缘加工装置

[发明专利]用于确定镜片放置和对齐的镜片边缘特征-CN201780016065.7有效
发明人： C.威尔德史密斯;M.F.威尔德曼 -专利权人：庄臣及庄臣视力保护公司
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： G02C7/04 文献下载
摘要：本发明题为：“用于确定镜片放置和对齐的镜片边缘特征”。本发明公开了一种接触镜片，所述接触镜片具有限定所述接触镜片的外周边的镜片边缘、定位在所述镜片边缘内被设计成为患者提供矫正视力的光学区、具有穿过其竖直轴线和水平轴线的镜片中心、以及在所述镜片边缘周围的不同的第一位置和第二位置处存在的第一基准指示器和第二基准指示器所述第一基准指示器和第二基准指示器各自包括进入所述镜片边缘中的至少一个凹槽或从所述镜片边缘向外延伸的至少一个突出部且彼此不同。
用于确定镜片放置对齐边缘特征

[实用新型]一种折叠式薄饼架-CN202222434780.3有效
发明人：李国余 -专利权人：惠州市永立科技有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： A47G29/00 文献下载
摘要：本实用新型适用于薄饼架技术领域，提供了一种折叠式薄饼架，包括放置部，所述放置部包括若干相互铰接的中间放置板，且相邻的所述中间放置板之间通过连接部连接，其中一个位于边缘的中间放置板连接有第二边缘放置板，位于远离第二边缘放置板一端的边缘处的中间放置板连接有第一边缘放置板，所述第一边缘放置板和第二边缘放置板均通过连接部与一个中间放置板连接。
一种折叠式薄饼

[发明专利]一种光学邻近修正方法-CN201710566152.1有效
发明人：杜杳隽;王兴荣 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明提供一种光学邻近修正方法，包括：提供经过至少一次光学邻近修正后的切割层图形；对切割层图形进行光学模拟，以获得模拟轮廓，其中，模拟轮廓包括关键边缘和非关键边缘；将模拟轮廓和目标轮廓进行比较，分别获得关键边缘的边缘放置误差和非关键边缘的边缘放置误差；计算成本函数，成本函数为关键边缘的边缘放置误差的加权平方和，以及非关键边缘的边缘放置误差的加权平方和之和，关键边缘的边缘放置误差的权重大于非关键边缘的边缘放置误差的权重；判断成本函数是否超出标准范围，
一种光学邻近修正方法

[发明专利]一种边缘计算中链式服务实体的放置方法及边缘计算设备-CN201911204131.0有效
发明人：严永辉;张胜;王黎明;施霄航;喻伟;钱柱中;周惯衡;吴甲 -专利权人：江苏方天电力技术有限公司;南京大学科技园发展有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G06F30/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种边缘计算中链式服务实体的放置方法及边缘计算设备，该方法包括如下步骤：A.构建边缘计算环境的网络模型、时延模型和成本模型；所述网络模型包括网络中的边缘服务器、用户及用户待执行的服务实体链；所述时延模型包括服务实体在边缘服务器上的计算时延、排队时延及传输时延；所述传输时延包括服务器之间、服务器与用户之间的传输时延；B.结合边缘计算中链式服务实体放置问题的目标函数及约束条件，通过基于K‑Means聚类算法和贪心算法的启发式算法，得到链式服务实体的放置方案。本发明通过基于K‑Means聚类算法和贪心算法的启发式算法，得到链式服务实体的放置方案，可以在较低的时间复杂度内得到更优的结果。
一种边缘计算链式服务实体放置方法设备

[实用新型]一种晶圆边缘检测设备-CN202221260733.5有效
发明人：柯武生;王汉波;郭军 -专利权人：山东睿芯半导体科技有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型公开一种晶圆边缘检测设备。本实用新型涉及晶圆边缘检测技术领域。本实用新型的晶圆边缘检测设备包括：检测设备机身、边缘检测装置、边缘检测转动装置、晶圆放置盒以及放置盒支撑装置，可将晶圆放置在晶圆放置盒内，晶圆放置盒的上下表面为透明材质，上检测器和下检测器分别位于晶圆放置盒的上方和下方，边缘检测装置的底部固定在边缘检测转动装置上且能够随着边缘检测转动装置的转动绕晶圆放置盒转动，通过上检测器和下检测器对晶圆上下表面的边缘进行检测，整个检测过程中，晶圆在晶圆放置盒内无需移动，避免晶圆需要频繁地被操作移动导致晶圆边缘检测设备本身对晶圆造成细微损伤，可提升晶圆边缘检测过程中的良品率。
一种边缘检测设备

[发明专利]边缘计算服务的动态扩展及放置方法和装置-CN202111489383.X在审
发明人：张海涛;李叶;马华东 -专利权人：北京邮电大学
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G06F9/50 文献下载
摘要：本申请提供边缘计算服务的动态扩展及放置方法和装置，方法包括：根据边缘计算平台中各应用分别对应的各个微服务当前各自的工作负载强度预测结果以及各边缘节点当前各自的工作性能评估结果，针对目标数据处理请求对微服务副本数量进行自动扩展处理，以确定微服务副本的缩放优化数量；采用预设的自适应离散二进制粒子群优化算法，根据微服务副本的缩放优化数量、当前可放置边缘节点的数量及性能信息，获取各微服务副本与各可用的边缘节点之间的映射关系，以将各微服务副本分别放置至对应的边缘节点本申请能在边缘环境中边缘负载不均衡、网络状态不可靠的情况下提高边缘计算服务的自动扩展可靠性及有效性，提高边缘计算服务放置的准确性及可靠性。
边缘计算服务动态扩展放置方法装置

[发明专利]一种基于区域价值的边缘数据放置方法-CN202210102128.3在审
发明人：王鹏伟;赵玉莹 -专利权人：东华大学
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G06F16/904 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于区域价值的边缘数据放置方法，包括以下步骤：建立同一数据块在不同区域下的数据温度计算模型，得到数据温度值；基于所述数据温度值，结合PageRank思想计算同一数据块在不同区域的数据区域价值；根据所述数据区域价值对数据进行副本选择放置，获得在当前问题场景下最优的数据放置方案。本发明能够结合数据区域价值特性进行导向放置。
一种基于区域价值边缘数据放置方法

[发明专利]基于车载网络边缘的缓存内容放置方法及系统-CN202111607230.0有效
发明人：王晔;龚淑蕾;童恩;楼思嘉;吕明;金花 -专利权人：江苏移动信息系统集成有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H04W4/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于车载网络边缘的缓存内容放置方法及系统。将预定基站通信范围内的车辆定义为请求车辆和服务车辆并划分优先级；针对通信范围内的车辆得出基站所需服务的数据包数量；根据缓存内容的流行度、请求车辆的数量、通信区域内服务车辆的数目、服务车辆中的缓存内容放置状况本方法综合考虑车辆缓存更新的时间、车辆的数目、车辆移动性、车辆之间的通信时间不固定以及服务车辆无法传递自身存储的所有数据包，在提出车辆选择策略的基础上，制定缓存内容放置方法，并提出优化问题，将问题转化为拟阵约束下子模函数的最大化问题
基于车载网络边缘缓存内容放置方法系统

[发明专利]光学邻近校正方法及掩膜版的制作方法-CN201810175082.1有效
发明人：杨青 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2018-03-02 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：一种光学邻近校正方法及掩膜版的制作方法，光学邻近校正方法包括：若第一边缘误差在第一阈值范围外，第二边缘放置误差在第一阈值范围外，第三边缘放置误差在第二阈值范围外或第四边缘放置误差在第二阈值范围外，则根据第一光学邻近校正模型对第一底部中间修正图形进行修正且对第二底部中间修正图形进行修正，直至第一边缘放置误差和第二边缘放置误差均在第一阈值范围内且第三边缘放置误差和第四边缘放置误差均在第二阈值范围内。
光学邻近校正方法掩膜版制作方法

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