专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有紧凑结构的基板表面处理系统及基板表面处理方法-CN201210277354.1无效
  • 安吉秀;张承逸 - 株式会社MM科技
  • 2012-08-06 - 2013-02-06 - H01L21/67
  • 本发明提供一种具有紧凑结构的基板表面处理系统及一种基板表面处理方法。基板表面处理系统包括:第一处理腔室,在第一端部处包括入口且沿平行于地面的方向延伸;第二处理腔室,沿垂直于地面的方向延伸,其中第一处理腔室的第二端部在第二处理腔室的第一端部处附接至第二处理腔室的上部;第三处理腔室其中位于第二处理腔室的第一端部处的第二处理腔室的下部在第三处理腔室的第二端部处附接至第三处理腔室;第一水平传送单元;第二水平传送单元;垂直传送单元;第三水平传送单元;以及处理模块,安装于第一处理腔室至第三处理腔室至少其中之一中并处理基板的表面
  • 具有紧凑结构表面处理系统方法

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