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- [实用新型]一种硅片转换装置-CN202022004205.0有效
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欧阳小泉
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无锡泉一科技有限公司
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2020-09-13
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2021-07-09
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H01L21/677
- 本实用新型公开一种硅片转换装置,其包括转换工位、上料工位和分料工位,转换工位包括第一硅片承载台、升降驱动装置以及硅片转换组件,上料工位设置于转换工位的一侧,包括第二硅片承载台和升降驱动装置,分料工位相对于上料工位设置于转换工位的另一侧,包括第三硅片承载台和升降驱动装置,硅片转换组件包括移动座、转换夹手和横移驱动装置,转换夹手包括对称设置于移动座上的两根转轴,转轴的一端连接有驱动其转动一定角度的旋转驱动装置,另一端安装有转换夹手。上述硅片转换装置不仅结构简单,结构紧凑,占用空间小;而且设计巧妙,转换效率高,升降过程平稳,提高了硅片转换过程的安全可靠性。
- 一种硅片转换装置
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