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[发明专利]磁悬浮触针位移传感器-CN201711288717.0在审
发明人：常素萍;吴昊;胡春冰;周建飞;张中宇;赵言情 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： G01B5/02 文献下载
摘要：本发明属于位移传感器领域，并具体公开了磁悬浮触针位移传感器，包括触针轴悬浮模块、触针轴导向模块、测量探头模块和位移测量模块，所述触针轴悬浮模块用于悬浮支撑触针轴，并且可控制测量力；所述触针轴导向模块包括磁悬浮轴承和间隙传感器，用来保证触针轴在测量过程中处于中心位置；所述测量探头模块包括触针夹持头和触针，触针随被测工件垂直方向上位移的变化而上下移动；所述位移测量模块通过检测激光干涉条纹实现物体垂直方向位移的测量。本发明通过调节悬浮模块线圈中电流的大小来控制测量力，以保证触针与被测物接触又不划伤被测物，与传统杠杆触针式传感器相比，具有测量高精度，运动稳定性好等优点。
磁悬浮位移传感器

[实用新型]磁悬浮触针位移传感器-CN201721692478.0有效
发明人：常素萍;吴昊;胡春冰;周建飞;张中宇;赵言情 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： G01B5/02 文献下载
摘要：本实用新型属于位移传感器领域，并具体公开了磁悬浮触针位移传感器，包括触针轴悬浮模块、触针轴导向模块、测量探头模块和位移测量模块，所述触针轴悬浮模块用于悬浮支撑触针轴，并且可控制测量力；所述触针轴导向模块包括磁悬浮轴承和间隙传感器，用来保证触针轴在测量过程中处于中心位置；所述测量探头模块包括触针夹持头和触针，触针随被测工件垂直方向上位移的变化而上下移动；所述位移测量模块通过检测激光干涉条纹实现物体垂直方向位移的测量。本实用新型通过调节悬浮模块线圈中电流的大小来控制测量力，以保证触针与被测物接触又不划伤被测物，与传统杠杆触针式传感器相比，具有测量高精度，运动稳定性好等优点。
触针悬浮模块触针位移传感器位移测量模块本实用新型测量探头导向模块被测物磁悬浮测量垂直方向位移磁悬浮轴承间隙传感器位移传感器运动稳定性被测工件测量过程干涉条纹检测激光控制测量上下移动悬浮支撑测量力夹持头可控制传感器划伤杠杆保证

[发明专利]二维位移传感器及应用的大量程表面形貌测量装置-CN200610201125.6有效
发明人：杨旭东;王生怀;李家春;谢铁邦 -专利权人：贵州大学
申请日： 2006-11-21 - 公布日： 2007-09-05 - 主分类号： G01B7/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种二维位移传感器及应用的大量程表面形貌测量装置，它包括固定支架(1)，在固定支架(1)上通过平行簧片(2)连接有可动支架(3)，2个支架之间安装有水平位移传感器(11)，可动支架(3)上安装杠杆(5)，杠杆(5)的一端固定触针(6)，杠杆(5)的另一端与可动支架(3)之间安装有垂直位移传感器(8)。本发明的主传感器测量触针垂直方向的位移的同时，辅助传感器可以检测出触针的水平偏移，使触针在每一个采样间隔中都能顺利地划过陡峭轮廓表面。具有能够使触针顺利划过陡峭轮廓表面，对各种复杂表面进行大量程和高精度测量，测量误差小等优点，适合于各种复杂表面轮廓的测量。
二维位移传感器应用量程表面形貌测量装置

[实用新型]二维位移传感器及应用的大量程表面形貌测量装置-CN200620200959.0无效
发明人：杨旭东;王生怀;李家春;谢铁邦 -专利权人：贵州大学
申请日： 2006-11-23 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： G01B7/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种二维位移传感器及应用的大量程表面形貌测量装置，它包括固定支架(1)，在固定支架(1)上通过平行簧片(2)连接有可动支架(3)，2个支架之间安装有水平位移传感器(11)，可动支架(3)上安装杠杆(5)，杠杆(5)的一端固定触针(6)，杠杆(5)的另一端与可动支架(3)之间安装有垂直位移传感器(8)。本实用新型的主传感器测量触针垂直方向的位移的同时，辅助传感器可以检测出触针的水平偏移，使触针在每一个采样间隔中都能顺利地划过陡峭轮廓表面。具有能够使触针顺利划过陡峭轮廓表面，对各种复杂表面进行大量程和高精度测量，测量误差小等优点，适合于各种复杂表面轮廓的测量。
二维位移传感器应用量程表面形貌测量装置

[发明专利]一种半导体晶圆检测装置及其检测方法-CN202211092406.8在审
发明人：陆金发 -专利权人：江西安芯美科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶圆检测装置，包括底座、驱动器、位移传感器、触针、产品固定装置和显示器，驱动器设置在底座上，触针设置在位移传感器上，产品固定装置设置在底座上，还包括：触发检测装置，其包括连接管、滑杆、导电块、两个金属块、三个气管和发光件，滑杆一端可在连接管内滑动且其上设置有两个滑块，发光件设置在底座上，位移传感器设置在滑杆上；驱动装置，设置在驱动器上用于驱动触发检测装置上下运动；光传感器；压力传感器；控制器。本发明中，触针能自适应的与晶圆接触，有效避免触针刮伤晶圆或触针受力过大损坏，同时可以通过观看发光件是否发光来判断触针是否还可继续使用，且还能对不同大小的晶圆进行检测。
一种半导体检测装置及其方法

[发明专利]一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法-CN201210125998.9无效
发明人：衷颖杰;常素萍;谢铁邦;卢文龙 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2012-04-26 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法，包括：调整轮廓仪传感器的位置，使其触针与垂直微位移工作台的工作面相接触，确定垂直微位移工作台在垂直方向上运动的距离以及采样间距，通过计算机和控制箱后发出信号来带动轮廓仪传感器的触针运动，垂直微位移工作台上的激光测距仪分别根据信号测量垂直微位移工作台在垂直方向上相对于初始位置的位移量，同时轮廓仪传感器的计量系统分别根据信号测量轮廓仪传感器的触针在垂直方向上相对于初始位置的位移值，将两组数据以一一对应的方式保存在垂直方向的误差查找表中本发明使用简单、效率高、成本低、精度高、适用范围广，并能对触针式轮廓仪传感器的全量程误差进行补偿。
一种触针式轮廓仪传感器非线性误差校正方法

[发明专利]一种测量盘型滚刀磨损量及磨损形状的装置及方法-CN201710050340.9有效
发明人：薛亚东;赵丰;赵瀚翔;杨睿 -专利权人：同济大学
申请日： 2017-01-23 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量盘型滚刀磨损量及磨损形状的装置，包括壳体、触针、触针位移测量传感器以及微处理器；壳体上有一凹陷部位，凹陷部位用于放置触针及滚刀；触针为多个，可移动的插设于凹陷部位，用于接触滚刀外表面；触针位移测量传感器位于壳体内，且位于触针的正后方，用于采集标定位移量和测量位移量；微处理器用于根据标定位移量与测量位移量确定位移量差值，比较位移量差值并将获得的最大位移量差值标记为滚刀磨损值，并对测量位移量进行曲线拟合采用本发明装置可以获取精确的磨损量以及对测量位移量进行曲线拟合得到滚刀的磨损形状。
一种测量盘型滚刀磨损形状装置方法

[实用新型]晶片表面平整度测量装置-CN201320400786.7有效
发明人：沙恩水 -专利权人：天津浩洋环宇科技有限公司
申请日： 2013-07-05 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够快速并准确测量晶片表面平整度，并且不会对晶片产生划伤、压碎、磕边、污染等不良现象的晶片表面平整度测量装置，包括由多个水平并且平行并列设置的触针所组成的触针列阵，以及用于支撑触针的触针支撑座，该触针支撑座内设置有多个水平并且平行并列设置的通孔，多个触针对应穿过所述通孔并且能够在所述通孔内沿轴向左右移动；所述触针的一端为测试端，用于与晶片表面接触，其另一端设置有位移传感器。采用本实用新型的晶片表面平整度测量装置，使用时将晶片竖起后水平移向触针的测试端，触针另一端的位移传感器将记录触针的移动数据，供测量者参考；如果晶片表面不平整，每个位移传感器所感应到的触针移动距离也不相同
晶片表面平整测量装置

[发明专利]一种基于差动偏振干涉的悬浮触针位移传感器及检测方法-CN202011266768.5有效
发明人：吴运权;常素萍;卢文龙;刘晓军;赵言情;王浩 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明属于精密位移测量相关技术领域，其公开了一种基于差动偏振干涉的悬浮触针位移传感器及检测方法，位移传感器包括自上而下设置的差分偏振干涉器、音圈电机及悬浮触针机构，悬浮触针机构连接于音圈电机；音圈电机包括活动地相连接的音圈电机定子及音圈电机动子，音圈电机动子用于带动悬浮触针机构做竖直移动；悬浮触针机构包括连接于音圈电机动子的悬浮轴承及活动地连接于悬浮轴承的触针轴；差分偏振干涉器用于测量触针轴相对于悬浮轴承的位移以得到一级位移量；通过测量音圈电机动子相对于音圈电机定子的位移得到二级位移量，将一级位移量及二级位移量运算结合即可得到被测表面的测量结果。
一种基于差动偏振干涉悬浮位移传感器检测方法

[发明专利]一种用于微形貌检测的测量力可控的触针式位移传感器-CN201510342486.1有效
发明人：尹德强;许斌;方辉;刘乾乾 -专利权人：四川大学
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微形貌检测的测量力可控的触针式位移传感器，涉及微结构面形质量检测技术领域。所述的传感器主要由测头模块、测头支撑模块、位移检测模块、测量力控制模块等组成；所述的测头模块由探针和探杆构成，可跟随被测样品表面的变化而移动，所述的测头支撑模块用来给测头模块提供径向支持力，所述的位移检测模块，用来测量测头的位移信息；所述的测量力控制模块包括衔铁、电磁铁和微拉压力传感器，可检测和控制测量力。本发明通过调节电磁力将测量力控制在某一范围，既可以保证探针与样品的良好接触，又不会损伤样品，提高了触针式位移传感器的测量精度。彻底改变了传统触针式位移传感器中测量力不可测且不易控制的技术缺陷。
一种用于形貌检测测量可控触针式位移传感器

[发明专利]光栅式杠杆结构触针位移传感器及测量方法-CN201010609674.3有效
发明人：郎岩梅;方成根;曹鹏 -专利权人：哈尔滨量具刃具集团有限责任公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：光栅式杠杆结构触针位移传感器及测量方法。触针式表面轮廓测量仪和表面形状测量仪是用触针扫描法测量工件表面二维形状的距离、角度、圆弧半径等参数的仪器，触针式传感器是表面轮廓测量仪和表面形状测量仪用来采集被测表面轮廓信息的重要部件。本产品其组成包括：传感器基体（1），所述的传感器基体装有回转轴（2）、传感器杠杆（3）、光栅读数头（4）和抬笔机构（5），所述的传感器杠杆前端连接测针架（7），所述的传感器杠杆的尾部圆弧面粘贴光栅尺（6），所述的传感器杠杆后端通过连接片连接阻尼器（8），所述的测针架通过测杆（9）连接测针（10），所述的测杆装有测力调整砝码（11）。
光栅杠杆结构位移传感器测量方法

[实用新型]光栅式杠杆结构触针位移传感器-CN201020684784.1无效
发明人：郎岩梅;方成根;曹鹏 -专利权人：哈尔滨量具刃具集团有限责任公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：光栅式杠杆结构触针位移传感器。触针式表面轮廓测量仪和表面形状测量仪是用触针扫描法测量工件表面二维形状的距离、角度、圆弧半径等参数的仪器，触针式传感器是表面轮廓测量仪和表面形状测量仪用来采集被测表面轮廓信息的重要部件。本产品其组成包括：传感器基体（1），所述的传感器基体装有回转轴（2）、传感器杠杆（3）、光栅读数头（4）和抬笔机构（5），所述的传感器杠杆前端连接测针架（7），所述的传感器杠杆的尾部圆弧面粘贴光栅尺（6），所述的传感器杠杆后端通过连接片连接阻尼器（8），所述的测针架通过测杆（9）连接测针（10），所述的测杆装有测力调整砝码（11）。
光栅杠杆结构位移传感器

[发明专利]用于位置确定设备的表面检测装置-CN201210492061.5有效
发明人：若弗雷·麦克法兰;凯维恩·巴里·乔纳斯 -专利权人：瑞尼斯豪公司
申请日： 2006-04-26 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于位置确定设备的表面检测装置，包括：探测器本体；具有检测工件的触针尖端的细长触针；所述触针被可互换地连接到所述探测器本体并且被安装到所述探测器本体以用于纵向位移；在所述探测器本体中用于测量所述纵向位移的设备；所述触针尖端经受横向位移；与所述可互换的触针相关联的传感器系统，用于测量所述尖端的所述横向位移。
用于位置确定设备表面检测装置

[发明专利]一种表面微观形貌测量传感器-CN202010298447.7在审
发明人：施玉书;张树;皮磊;史舟淼;高思田;李伟;李琪;李适;黄鹭 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，用于调节所述触针与待测工件之间的测量力；触针轴气浮模块，环绕在所述触针轴外围，用于使所述触针轴悬浮；位移测量模块，设置在所述触针轴的正上方，用于测量所述触针轴在垂直方向上的位移。本发明通过触针轴气浮模块在触针轴外表面形成气隙，保证触针轴悬浮且摩擦最小，提高了触针测量的精度。通过磁恒力模块可调整触针与待测工件之间的测量力，以使触针将工件表面形貌更真实的传递给传感器。
一种表面微观形貌测量传感器

[实用新型]一种数字式牙周袋深度测量装置-CN201921572746.4有效
发明人：陈晓端 -专利权人：深圳索感科技有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： A61C19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种数字式牙周袋深度测量装置，包括外壳、探测针、牵引线、活动套杆、弹簧和位移传感器；当探测针抵接于牙周袋的底部后继续向探测针施加向下的压力时，探测针给牵引线施加牵引力，探测针沿着探针套筒向上运动，牵引线带动活动套杆压缩弹簧，活动套杆向前运动；当探测针离开牙周袋的底部时，探测针停止给牵引线施加牵引力，弹簧的弹力带动活动套杆向后运动，探测针沿着探针套筒向下运动；位移传感器和触碰感应电极分别与主控芯片相连当触碰感应电极碰到牙龈时，触碰传感器检测到电容量发生变换，就会输出一个高电平，反之保持低电平，主控芯片通过检测触碰传感器的输出状态来判断探测针是否就位，极大地减小了测量误差。
一种数字式牙周袋深度测量装置

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