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[实用新型]衬底结构-CN201820278542.9有效
发明人：廖顺兴;黄进吏 -专利权人：日月光半导体制造股份有限公司
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： H01L23/498 文献下载
摘要：一种衬底结构包括裸片接合区、板边区、至少一第一金属挡止结构及至少一第一金属外围结构。所述裸片接合区用以供至少一半导体裸片设置在其上。所述第一金属挡止结构邻设于所述板边区的第一表面，且大体上完全环绕所述裸片接合区。所述第一金属挡止结构位于所述压模区。所述第一金属外围结构邻设于所述板边区的所述第一表面，且围绕所述第一金属挡止结构。
接合区金属挡裸片压模区胶注衬底结构第一表面外围结构环绕邻设金属半导体裸片封装胶材灌胶模具下表面邻近

[实用新型]衬底结构-CN202222513181.0有效
发明人：张振辉;黄宏远;倪胜锦;陈奕武 -专利权人：美光科技公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L23/498 文献下载
摘要：本申请是关于衬底结构。根据本申请一实施例的衬底结构包括：衬底及阻焊层。阻焊层设置于衬底上，其中阻焊层包括第一开口和第二开口，且相邻的第一开口与第二开口之间的最小距离大于或等于80微米。本申请提供的衬底结构能够使得衬底结构所连接的芯片的导电柱之间的底部填充物具有更好的填充效果，减少了铜暴露的面积，从而降低底部填充物与铜区域之间产生分层的可能性，提高了封装的可靠性。
衬底结构

[发明专利]衬底结构的制造方法以及衬底结构-CN202211626612.2在审
发明人：王银帅;凌晓宇 -专利权人：上海鼎泰匠芯科技有限公司
申请日： 2022-12-17 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本申请涉及一种衬底结构的制造方法以及衬底结构，衬底结构的制造方法包括：提供衬底；在衬底上形成阻挡层；形成贯穿阻挡层的第一沟槽和位于衬底上且与第一沟槽连通的第二沟槽；在第二沟槽内形成介质隔离结构；其中，介质隔离结构还延伸至第一沟槽内；向介质隔离结构内注入具有预设能量和预设剂量的目标离子；采用刻蚀工艺去除阻挡层和第一沟槽内的部分介质隔离结构，以形成衬底结构。利用该衬底结构的制造方法，可减小介质隔离结构的上表层边缘处因受到刻蚀而出现凹坑或缺口。
衬底结构制造方法以及

[实用新型]LED衬底结构-CN201420552614.6有效
发明人：马新刚;丁海生;李芳芳;李东昇;江忠永 -专利权人：杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： H01L33/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED衬底结构，首先，将图形化衬底技术和DBR技术有机地结合在一起，能够更有效地提高LED的发光效率和发光亮度；其次，凸形结构或者凹形结构和DBR膜系位于衬底的同一表面上，且都是在衬底减薄前完成，非常便于加工和后续清洗处理，这无疑降低了LED加工过程中的隐形成本；总之，本实用新型所提供的LED衬底结构能够更有效地提高LED的发光效率和发光亮度，能够加快LED进入高端照明领域和寻常百姓家的产业化进程
led 衬底结构

[实用新型]LED衬底结构-CN201420554082.X有效
发明人：丁海生;马新刚;李东昇;李芳芳;江忠永 -专利权人：杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED衬底结构，将图形化衬底技术和DBR技术有机地结合在一起，能更有效地提高LED的发光效率和发光亮度；由第一反光体环包凸形结构，第二反光体表面具有DBR膜系，凸形结构表面无DBR膜系，在提高LED发光效率和发光亮度的同时，能提高LED的轴向发光亮度，且不降低LED的晶体质量；凸形结构和DBR膜系位于衬底的同一表面上，都是在衬底减薄前完成，便于加工和后续清洗处理，这无疑降低了LED加工过程中的隐形成本；本实用新型所提供的LED衬底结构能够更有效地提高LED的发光效率、发光亮度及轴向发光亮度，能够加快LED进入高端照明领域和寻常百姓家的产业化进程，符合LED的可持续发展战略。
led 衬底结构

[实用新型]LED衬底结构-CN201420552598.0有效
发明人：马新刚;丁海生;李芳芳;李东昇;江忠永 -专利权人：杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED衬底结构，首先，将图形化衬底技术和DBR技术有机地结合在一起，能够更有效地提高LED的发光效率和发光亮度；其次，凹形结构或者凸形结构和DBR膜系位于衬底的同一表面上，且都是在衬底减薄前完成，非常便于加工和后续清洗处理，这无疑降低了LED加工过程中的隐形成本；总之，本实用新型所提供的LED衬底结构能够更有效地提高LED的发光效率和发光亮度，能够加快LED进入高端照明领域和寻常百姓家的产业化进程
led 衬底结构

[实用新型]LED衬底结构-CN201420553900.4有效
发明人：马新刚;丁海生;李芳芳;李东昇;江忠永 -专利权人：杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： H01L33/44 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED衬底结构，通过增透减反结构增加光的透射，从而能够增加LED的出光效率。进一步的，通过将增透减反结构形状设计为纵截面为倒梯形，使得LED在提高发光亮度的同时，增加轴向发光亮度。此外，通过图形互补原理，利用常规沉积、光刻、蚀刻设备将增透减反结构制作在平衬底上，工艺简单、成本低廉、适于大规模商业化生产。
led 衬底结构

[实用新型]LED衬底结构-CN201420552634.3有效
发明人：马新刚;丁海生;李芳芳;李东昇;江忠永 -专利权人：杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： H01L33/60 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED衬底结构，通过第一反光体环包凸形结构、第二反光体形成碗状图形，提高LED发光效率和发光亮度的同时，能够提高LED的轴向发光亮度，且不降低LED的晶体质量；此外，本实用新型所提供的LED衬底结构能够更有效地提高LED的发光效率、发光亮度及轴向发光亮度，能够加快LED进入高端照明领域和寻常百姓家的产业化进程，符合LED的可持续发展战略。
led 衬底结构

[实用新型]LED衬底结构-CN201420859524.1有效
发明人：张昊翔;丁海生;李东昇;江忠永 -专利权人：杭州士兰微电子股份有限公司;杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2014-12-29 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED衬底结构，在本实用新型提供的LED衬底结构中，第一GaN结构及第二GaN结构能够增加光的透射，从而可提高倒装LED芯片的出光效率，进而提高倒装LED芯片的发光亮度；第三GaN结构具有聚光作用，从而可提高倒装LED芯片的轴向发光亮度；此外，AlGaN层能够抑制第二GaN结构及第三GaN结构中的缺陷向外延伸，减少后续结构中的缺陷，进一步的，AlGaN层还能够提高倒装LED芯片的抗击穿能力，有利于倒装
led 衬底结构

[实用新型]LED衬底结构-CN201420553316.9有效
发明人：丁海生;马新刚;李东昇;李芳芳;江忠永 -专利权人：杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： H01L33/44 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED衬底结构，通过增透减反结构增加光的透射，从而能够增加LED的出光效率。进一步的，通过将增透减反结构形状设计为纵截面为倒梯形，使得LED在提高发光亮度的同时，增加轴向发光亮度。此外，通过图形互补原理，利用常规沉积、光刻、蚀刻设备将增透减反结构制作在平衬底上，工艺简单、成本低廉、适于大规模商业化生产。
led 衬底结构

[实用新型]LED衬底结构-CN201420553876.4有效
发明人：丁海生;马新刚;李东昇;李芳芳;江忠永 -专利权人：杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED衬底结构，首先，将图形化衬底技术和DBR技术有机地结合在一起，能够更有效地提高LED的发光效率和发光亮度；其次，凸形结构或者凹形结构和DBR膜系位于衬底的同一表面上，且都是在衬底减薄前完成，非常便于加工和后续清洗处理，这无疑降低了LED加工过程中的隐形成本；总之，本实用新型所提供的LED衬底结构能够更有效地提高LED的发光效率和发光亮度，能够加快LED进入高端照明领域和寻常百姓家的产业化进程
led 衬底结构

[实用新型]衬底结构组件-CN201721504737.2有效
发明人：张磊 -专利权人：北京新龙立科技有限公司
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： B30B15/00 文献下载
摘要：本申请公开一种衬底结构组件，包括加料底盘、衬底以及固定件；加料底盘具有下表面，加料底盘上设有滑槽，滑槽开设在下表面上，且沿平行于下表面的方向延伸；滑槽的一端为滑入端，另一端为止挡端，滑入端位于加料底盘的一侧边缘；加料底盘上还设有两组第一滑动配合部，两组第一滑动配合部相对地设置在滑槽的两侧；衬底上设有两组第二滑动配合部，两组第二滑动配合部相背设置，在衬底滑入/滑出滑槽时，每组第二滑动配合部分别与一组第一滑动配合部滑动配合，并能够阻止衬底由下方脱出滑槽；固定件可拆卸地设置于滑入端，且能够阻止衬底由滑入端滑出。本申请实施例所提供的衬底结构组件能够简化组装步骤，并提高组装强度。
滑动配合部滑槽加料底盘衬底滑入两组衬底结构固定件下表面滑出简化组装步骤方向延伸滑动配合相背设置一侧边缘可拆卸脱出挡端申请平行组装

[实用新型]LED衬底结构-CN201620401634.2有效
发明人：丁泽;何亚东;房观耀 -专利权人：元鸿（山东）光电材料有限公司
申请日： 2016-05-03 - 公布日： 2016-09-21 - 主分类号： H01L33/60 文献下载
摘要：LED衬底结构，包括蓝宝石基板，在所述蓝宝上基板上刻蚀形成以阵列形式排列的半球形凸起，所述半球形凸起的外表面均匀连续设有正六边形平面，在正六边形平面所在图形层上还设有氮化铝层，本实用新型的半球形凸起采用复眼式结构，把反射面设计成正六边形平面结构，改变光的折射曲线，折射点，有效提高了衬底的光提取效率，很好的控制了炫光，在正六边形平面所在图形层上还设有氮化铝层，该氮化铝层与氧化镓结构相似，能有效对氧化镓的材料的应力进行有效释放，减少氧化镓生长缺陷，本实用新型相比使用普通蓝宝石衬底生长的氧化镓基发光二极管的亮度提升60%以上，具有很高的工业化前景。
led 衬底结构

[实用新型]复合衬底结构-CN201120195246.0无效
发明人：梁秉文 -专利权人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2011-06-10 - 公布日： 2012-01-18 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及复合衬底结构，该复合衬底结构包括由下至上依次设置的第一衬底层、不透明夹层以及第二衬底层；所述不透明夹层与第一衬底层和第二衬底层结合为一体，且所述第一衬底层和第二衬底层的热膨胀系数相同；当所述第一衬底层被置于一加热元件上时，所述不透明夹层用于吸收该加热元件发出的热辐射，利用吸收的热量加热第一衬底层的内侧面和第二衬底层的内侧面，所述不透明夹层对所述第二衬底内侧面的加热能够使得所述第二衬底层的外侧面的温度满足外延材料的生长温度本实用新型可消除或减轻蓝宝石等衬底在高温条件下的翘曲问题，节约衬底材料以及简化芯片制造过程中衬底的减薄操作，降低LED芯片的制造成本，提高LED芯片良品率。
复合衬底结构

[发明专利]衬底支撑结构和制造衬底支撑结构的方法-CN202210802566.0在审
发明人： J.A.桑蒂兰;S.库塔思;H.高 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：一种衬底支撑结构，包括由陶瓷复合材料形成的衬底支撑结构主体，该主体具有第一表面、与第一表面间隔开的第二表面以及跨越衬底支撑结构主体的第一表面和第二表面的外围。衬底支撑结构主体的第一表面、第二表面和外围由陶瓷复合材料限定。还描述了半导体处理系统和制造衬底支撑结构的方法。
衬底支撑结构制造方法

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