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- [实用新型]一种加热器形变补偿结构-CN202122723268.6有效
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郑佳毅
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无锡爱尔华光电科技有限公司
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2021-11-09
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2022-05-27
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H05B3/02
- 本实用新型提供一种加热器形变补偿结构，其可以克服加热器、被加热对象加热形变导致加热不均的问题，提高加热效率。其包括：柔性补偿层、滑动体，所述柔性补偿层为高耐热性的导热柔性材料；所述滑动体为低摩擦系数、高传热效率、高耐热性材料；所述柔性补偿层的尺寸、形状与加热器的加热结构的加热区域相适应；所述柔性补偿层将所述滑动体拘束在一起，或者所述柔性补偿层构成密闭结构，所述滑动体放置于所述柔性补偿层的密闭空间内；所述滑动体的数量至少能够平铺后完整覆盖所述加热结构；所述柔性补偿层、滑动体设置于加热区域之上。
- 一种加热器形变补偿结构
- [发明专利]一种冰箱补偿加热器控制方法-CN202010451787.9在审
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金松哲;赵磊;张海潮;文坚;种衍习;吴启楠
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南京创维家用电器有限公司
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2020-05-25
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2020-09-29
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F25D29/00
- 本发明公开了一种冰箱补偿加热器控制方法，步骤如下：步骤一：冰箱正在运行；步骤二：冰箱运行过程中若Ts＜Tst‑1℃时，间室补偿加热器开启，式中Ts为传感器温度，Tst＝间室停机点设定温度；步骤三：在补偿加热器进入补偿加热模式后，判定环温Th的范围，根据环温Th进入补偿加热器基准档J；步骤四：补偿加热器以基准档J运行，每1min判断一次是否Ts≥Tsk‑1℃，如果是，补偿加热器关闭，如果否，继续每1min判断一次是否Ts≥Tsk‑1℃，一直持续判断30min,如果30min还没有达到Ts≥Tsk‑1℃，则升档到J+1档，直到Ts≥Tsk‑1℃，补偿加热器关闭，式中Tsk为间室开机点设定温度；步骤五：补偿加热器达到关闭后，补偿加热器又重新开启请求时
- 一种冰箱补偿加热器控制方法
- [实用新型]一种加热装置及光刻系统-CN201921410015.X有效
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秦俊峰;李天慧;曾伟雄
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芯恩（青岛）集成电路有限公司
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2019-08-28
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2020-04-17
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G03F7/38
- 本实用新型提供一种加热装置及光刻系统，该加热装置包括承载板，用于承载待加热的基板并自基板的背面对基板进行加热；位于承载板上方与承载板间隔设置的加热板，加热板自基板的正面对基板加热以进行温度补偿，加热板设置为对基板进行分区域的温度补偿能够针对基板的不他区域进行不同的温度补偿，一方面能够提高温度补偿的效率与精度，另一方面也能够降低温度补偿的功耗。加热板包括多个放热源，并且每一个放热源均包括加热单元和控制该加热单元的控制单元，由此能够更加准确地控制需要温度补偿的区域的补偿温度，并且放热源具有聚焦部件，提高温度补偿的效率。本实用新型的加热装置能够提高光刻过程中图形的线宽均匀性。
- 一种加热装置光刻系统
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