“蒸镀掩膜”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1050448个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]掩膜板、母板、掩膜板制造设备和显示基板蒸镀系统-CN201620398823.9有效
发明人：嵇凤丽;梁逸南;白珊珊 -专利权人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-05-05 - 公布日： 2016-09-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型的实施例涉及掩膜板、母板、掩膜板制造设备和显示基板蒸镀系统。掩膜板包括具有多个相互隔开且并行排列的图形掩膜块的图形掩膜层，和具有多个相互隔开且并行排列的覆盖掩膜块的覆盖掩膜层，所述覆盖掩膜块覆盖相邻的图形掩膜块之间的间隙；其中所述图形掩膜块包括有效区、非有效区以及位于有效区和非有效区之间的裕量区，所述有效区、非有效区和裕量区均具有多个像素成形开口，并且所述覆盖掩膜块还覆盖相邻的图形掩膜块的非有效区的像素成形开口。母板用于在制造所述掩膜板的过程中进行定位。掩膜板制造设备包括所述母板、基台、张网机和焊接机。显示基板蒸镀系统包括蒸镀机和所述掩膜板。
掩膜板母板制造设备显示基板蒸镀系统

[发明专利]掩膜板及其制备方法、显示面板的制备方法-CN202011387759.1在审
发明人：沈阔;张智辉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板及其制备方法、显示面板的制备方法。显示面板还包括围绕各子像素的像素界定层，掩膜板包括基板和设于基板上的隔离柱，基板具有开口区和遮光区，开口区对应部分子像素，遮光区对应其余子像素和像素界定层；隔离柱位于遮光区。隔离柱制作在掩膜板上，能起到支撑掩膜板的效果，且蒸镀时不影响后续膜层蒸镀，保证了显示面板的蒸镀效果和封装效果。
掩膜板及其制备方法显示面板

[发明专利]一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法-CN201811545201.4在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀技术领域，提供了一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法，所述蒸镀装置，包括：加热坩埚，用于对蒸镀材料进行加热使其蒸发；磁板，位于所述加热坩埚上方，具有磁性，用于固定待蒸镀的目标基板；所述磁板内设置有两个以上的磁性物上述技术方案的蒸镀装置中磁板的磁性由中部向边缘递减，从而对目标基板中部的吸力大于边缘，减小目标基板的滑移与金属掩膜板的褶皱，可提高金属掩膜板与基板的贴合程度，不仅避免蒸镀有机膜图案出现异常，而且有利于减小目标基板破片风险，提高金属掩膜板寿命，从而有效提高生产效率，保证了产品的品质和生产进度。
蒸镀目标基板蒸镀装置金属掩膜板磁板加热坩埚减小递减吸力褶皱有机膜图案生产进度生产效率蒸镀材料磁性物中磁板滑移基板破片贴合加热蒸发保证

[发明专利]一种精细金属掩膜板及其制备方法、掩膜集成框架-CN201810099588.9有效
发明人：张斌;王新星;周婷婷;孙雪菲;王伟杰;朱海彬 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种精细金属掩膜板及其制备方法、掩膜集成框架，涉及掩膜蒸镀技术领域，能够解决现有的掩膜板在掩膜蒸镀工艺中，掩膜板上产生的褶皱使形成膜层的图案边缘出现偏差的问题。在精细金属掩膜板上设置有掩膜图案区域，精细金属掩膜板还包含沿掩膜图案区域的至少一侧边缘、且与该边缘相接的保护区域，保护区域的厚度小于掩膜图案区域的厚度。
一种精细金属掩膜板及其制备方法集成框架

[发明专利]掩膜板的制备方法及掩膜板-CN202011135282.8有效
发明人：刘景涛 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种掩膜板的制备方法及掩膜板。掩膜板的制备方法包括：固定支撑条，具有开口的框式框架上固定多个支撑条；设置第一掩膜条，提供第一组遮挡条和多条第一掩膜条连接于上边框和下边框设置，并通过第一组遮挡条保持第一掩膜条不产生变形；设置第二掩膜条，提供第二组遮挡条及多条第二掩膜条进行张网对位连接于上边框和下边框，通过第二组遮挡条向上边框和下边框提供相互靠拢的拉力，至少使部分第一掩膜条沿远离框式框架在第一方向X上的中心线的方向变形。旨在改善掩膜板在蒸镀过程中因发生形变而导致蒸镀材料镀偏的问题，提高蒸镀精确度。
掩膜板制备方法

[发明专利]掩膜版及显示面板-CN202211223404.8在审
发明人：张怡;王佳骏 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实施例提供的掩膜版及显示面板，涉及显示技术领域。掩膜版包括框架以及固定在框架上的至少一组掩膜条，每组掩膜条包括交叠设置的两个掩膜条，掩膜条包括掩膜开口以及围绕掩膜开口的掩膜本体，掩膜开口沿掩膜条延伸方向间隔分布。在交叠的两个掩膜条中，掩膜开口与掩膜本体错位排布，掩膜开口未被掩膜本体遮挡的区域形成形状和尺寸均相同的子像素蒸镀开口。在上述结构中，可以形成相比于掩膜开口的尺寸更小的子像素蒸镀开口，如此可以解决直接采用掩膜开口作为子像素蒸镀开口时因掩膜条制作工艺限制而导致无法制作高分辨率显示面板的问题。
掩膜版显示面板

[发明专利]掩膜版、掩膜组件以及蒸镀方法-CN201811347484.1在审
发明人：徐海;孙力 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开提出一种掩膜版、掩膜组件以及蒸镀方法，掩膜版设于掩膜框架上。掩膜版的材质包括磁性材料且具有第一表面和第二表面，掩膜版的第一表面背向掩膜框架，掩膜版的第二表面朝向掩膜框架，掩膜版的第一表面上凸设有多个凸起结构。通过上述设计，本公开在蒸镀的过程中，可以最大程度地降低由于基板与掩膜版紧贴所造成的压痕，从而提高产品良率。
掩膜版第一表面掩膜蒸镀第二表面掩膜组件最大程度地产品良率磁性材料凸起结构基板上凸压痕紧贴

[发明专利]一种减小蒸镀掩膜板变形的方法-CN201710141700.6在审
发明人：李欣;陈亮;曹顺有 -专利权人：南京攀诺德自动化设备有限公司
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，利用磁性材料制作蒸镀掩膜板，同时在腔室底部（或顶部）安装磁性材料，利用磁性材料同极相斥、异极相吸的原理，来减小因重力导致的掩膜板变形。
一种减小蒸镀掩膜板变形方法

[发明专利]一种调试方法及蒸镀机-CN201710738931.5有效
发明人：蒋谦 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-08-22 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种调试方法及蒸镀机，该方法用于调整精密型掩膜板与待作业基板的相对位置，包括：装载调试用基板至调试用蒸镀腔内；装载精密型掩膜板至调试用蒸镀腔内；开启调试用蒸镀腔内的光源并通过精密型掩膜板而照射调试用基板上的光致变色层，其中，光致变色层中被照射光照射的部分区域发生变色；根据光致变色层中发生变色的部分区域的位置，而获取精密型掩膜板的补偿值。
调试精密型掩膜板光致变色层蒸镀腔蒸镀机基板变色装载照射有机材料作业基板照射光光源

[发明专利]掩膜版、显示面板及显示装置-CN202210725931.2在审
发明人：荣坤;陈友春;赖韦霖 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种掩膜版、显示面板及显示装置。该掩膜版包括多个平行于第一方向的第一蒸镀开口和多个平行于第二方向的第二蒸镀开口，第一方向和第二方向相交，任意相邻的第一蒸镀开口和第二蒸镀开口在显示面板的基板上的投影区域部分重叠，形成搭接区域，使得蒸镀得到的金属结构相连通本申请实施例通过设置一张掩膜版能够利于蒸镀网格状的金属结构，进而能够利于降低金属结构的覆盖率，也能够使得金属结构相连通，有效地降低了掩膜版的成本。
掩膜版显示面板显示装置

[发明专利]蒸镀掩膜版及制作方法、OLED显示基板及蒸镀方法-CN201710055092.7在审
发明人：袁洪光;千必根;胡岩 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀掩膜版及制作方法、OLED显示基板及蒸镀方法，该蒸镀掩膜版包括本体以及开设于本体上的蒸镀开口区域，还包括隔垫物，隔垫物设置于本体上，且至少设置于相邻的用于蒸镀不同颜色的有机发光层的蒸镀开口区域之间本发明中，在蒸镀OLED显示基板上的有机发光层时，蒸镀掩膜版上的隔垫物对相邻的不同颜色的有机发光层的蒸镀材料进行遮挡，避免有机发光层发生混色，从而可以不在OLED显示基板上设置隔垫物，减少了工艺流程，缩短了工艺时间
蒸镀掩膜版制作方法 oled 显示方法

[实用新型]一种新型蒸镀设备-CN201921053414.5有效
发明人：王伟;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 -专利权人：绵阳金能移动能源有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型蒸镀设备，包括：蒸镀腔室，其被设置为由四个腔壁构成的矩形状结构；基板架，基板架上可拆卸式设置有一待蒸镀的基板；掩膜架，掩膜架可拆卸式固定设置有一蒸镀掩膜板；蒸镀台，蒸镀台上均布安装有多个与基板相配合的蒸镀源；其中，蒸镀腔室水平方向上的腔壁分别为第三腔壁以及第四腔壁，在蒸镀腔室内、第三腔壁与第四腔壁的一侧均还相配合设置有一气囊，各气囊上分别设置有一通气口，各通气口均通过一通气管进而与一充气泵连通，且通气管分别贯穿第三腔壁和第四腔壁采用本实用新型的蒸镀装置使蒸镀均匀性好，同时易于实施与操作。
一种新型设备

[发明专利]掩膜板及掩膜板结构-CN202111288508.2在审
发明人：吴建鹏;孙国栋;张锴 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开提供了一种掩膜板及掩膜板结构。该掩膜板包括板体。该板体包括设有镂空孔的通刻区，所述通刻区包括间隔设置的多个有效蒸镀区以及位于相邻的两个所述有效蒸镀区之间的间隔区；多个所述有效蒸镀区中存在至少两个所述有效蒸镀区沿着第一方向分布；沿着所述第一方向分布的相邻的两个所述有效蒸镀区之间的所述间隔区中包括非镂空区本公开能够提高蒸镀效果。
掩膜板板结

[实用新型]掩膜板及掩膜板结构-CN202122660696.9有效
发明人：吴建鹏;孙国栋;张锴 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开提供了一种掩膜板及掩膜板结构。该掩膜板包括板体。该板体包括设有镂空孔的通刻区，所述通刻区包括间隔设置的多个有效蒸镀区以及位于相邻的两个所述有效蒸镀区之间的间隔区；多个所述有效蒸镀区中存在至少两个所述有效蒸镀区沿着第一方向分布；沿着所述第一方向分布的相邻的两个所述有效蒸镀区之间的所述间隔区中包括非镂空区本公开能够提高蒸镀效果。
掩膜板板结

[发明专利]蒸镀用掩膜板、制备方法、OLED显示基板及显示装置-CN201910106060.4在审
发明人：冯鸣筠 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-02-01 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明属于显示技术领域，具体涉及一种蒸镀用掩膜板、制备方法、OLED显示基板及显示装置。该蒸镀用掩膜板包括掩膜板本体及设置于掩膜板本体上的绝缘膜层，掩膜板本体上开设若干第一开口，绝缘膜层包括若干预设开口，预设开口在掩膜板本体上的正投影落入第一开口内，掩膜板本体与绝缘膜层可分离设置，本发明中掩膜板本体与绝缘膜层可分离设置，在张网工序中，本发明中的蒸镀用掩膜板可先对掩膜板本体进行张网，再将绝缘膜层粘附于掩膜板本体上，从而避免因掩膜板本体与绝缘膜层两者泊松系数的不同所导致的拉伸量不同，最终避免了第一开口与预设开口之间的错位现象
掩膜板绝缘膜层开口蒸镀基板及显示装置可分离设置预设张网制备错位现象拉伸量正投影粘附干预