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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]真空蒸发设备-CN92110361.1无效
发明人：早川菜;龟山诚;寺田顺司;铃木博幸 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 1992-09-08 - 公布日： 2001-04-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种真空蒸发设备，包括一真空容器，一蒸发源和一夹持装置。蒸发源位于真空容器内。一基片由位于蒸发源上方的夹持装置夹持。一防沉积板设置于设备内。真空容器由防沉积板划分成一包括蒸发源的部分和一包括夹持装置的部分。防沉积板带有位于蒸发源上方的孔。孔这样成形，即当从蒸发源看夹持装置时孔与夹持装置重叠。$＃!
真空蒸发设备

[发明专利]一种便于蒸发源拆装的装置-CN201811620462.8在审
发明人：杨振焘;廖明墙;刘智成;权玉婕;李明 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种便于蒸发源拆装的装置，包括：底盘；伸缩机构，设置于所述底盘上；所述伸缩机构的伸缩端可拆卸的与蒸发源连接，带动蒸发源从安装法兰上分离，或带动蒸发源装配在安装法兰上；所述伸缩机构的伸缩方向与蒸发源相对安装法兰的拆装方向相同本发明中利用伸缩机构沿着蒸发源的安装方向运动，进而带动连接在伸缩机构上的蒸发源从安装法兰上分离，拆装简单便捷，不需要人工施力辅助拆装，省时省力。
蒸发源伸缩机构拆装安装法兰底盘安装方向辅助拆装可拆卸的人工施力伸缩方向相对安装伸缩端法兰省时省力装配

[发明专利]沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法-CN201811303760.4在审
发明人：田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法，沉积腔室包括至少两排金属蒸发源和至少一排非金属蒸发源；每排金属蒸发源包括至少两种金属蒸发源；沿着沉积腔室的幅长方向，至少两排金属蒸发源分别设置于沉积腔室的两侧，且每排金属蒸发源成直线排布；每排金属蒸发源的总数量为9个。
沉积镀膜设备方法

[发明专利]用于真空蒸镀和有机电荧光器件的设备和方法-CN01121971.8有效
发明人：椿健治;城户淳二;岸上泰久;近藤行广 -专利权人：松下电工株式会社;城户淳二
申请日： 2001-06-22 - 公布日： 2002-01-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一真空蒸镀设备包括具有多个蒸发源和一加热器的一真空室,加热器加热诸蒸发源以实现在真空室内的至少一基片的一表面上的真空蒸镀。至少一蒸发源利用一有机材料,将包围诸蒸发源和诸蒸发源和基片在内相互面对的一空间的一热壁加热至该有机材料既不附着又不分解的一温度。通过加热诸蒸发源同时使诸蒸发源和基片彼此相对运动使该有机材料蒸镀在基片的表面上。
用于真空机电荧光器件设备方法

[实用新型]一种便于蒸发源拆装的装置-CN201822230087.8有效
发明人：杨振焘;廖明墙;刘智成;权玉婕;李明 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种便于蒸发源拆装的装置，包括：底盘；伸缩机构，设置于所述底盘上；所述伸缩机构的伸缩端可拆卸的与蒸发源连接，带动蒸发源从安装法兰上分离，或带动蒸发源装配在安装法兰上；所述伸缩机构的伸缩方向与蒸发源相对安装法兰的拆装方向相同本实用新型中利用伸缩机构沿着蒸发源的安装方向运动，进而带动连接在伸缩机构上的蒸发源从安装法兰上分离，拆装简单便捷，不需要人工施力辅助拆装，省时省力。
蒸发源伸缩机构安装法兰拆装本实用新型底盘安装方向辅助拆装可拆卸的人工施力伸缩方向相对安装伸缩端法兰省力省时装配

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303761.9在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为7个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303248.X在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为9个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303296.9在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为10个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303299.2在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为12个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303759.1在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为13个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303695.5在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为6个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303767.6在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为11个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]蒸发源的加热装置和蒸镀设备-CN201911397316.8在审
发明人：轩景泉;林文晶;钱海涛;马晓宇;彭勃 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。该蒸发源的加热装置，包括：加热箱体，所述加热箱体具有容纳腔室，用于容纳蒸发源，至少部分所述加热箱体设有热传递部，用于使所述热传递部与蒸发源之间发生热传递；加热件，设置于所述加热箱体，用于产生热辐射；温控机构，设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。本申请提供的蒸发源的加热装置，结构简单，使用方便，能够实现对于蒸发源温度的准确实时的监控，提高蒸发源的蒸镀质量。
蒸发加热装置设备

[发明专利]成膜装置、成膜方法及蒸发源单元-CN202210710881.0在审
发明人：风间良秋;山田美悠 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供有效地进行监视装置对蒸发源的监视的成膜装置、成膜方法及蒸发源单元。成膜装置具备对在移动方向上相对地移动的基板进行成膜的成膜单元。成膜单元包括：多个蒸发源，分别具有加热部件和独立的材料容器，并包括放出蒸镀物质的第一蒸发源及第二蒸发源；多个监视部件，包括监视来自第一蒸发源的蒸镀物质的放出状态的第一监视部件及监视来自第二蒸发源的蒸镀物质的放出状态的第二监视部件；以及抑制板，抑制蒸镀物质从第二蒸发源向第一监视部件的飞散。
装置方法蒸发单元

[实用新型]蒸镀装置-CN201822007055.1有效
发明人：星野孝雄 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：该蒸镀装置具有：收容蒸镀材料的蒸发源、以及载置所述蒸发源以使所述蒸发源在腔室内移动的蒸发源移动机构，其特征在于，在所述腔室内存在蒸镀位置和维护位置，所述蒸镀位置是向基板上形成蒸镀膜的位置，仅在所述蒸发源移动机构位于所述维护位置时，能够从所述蒸发源移动机构拉出所述蒸发源。根据本实用新型的如上所述的结构，能够防止作业者在维护位置之外的其他位置处向外拉出蒸发源而导致基体板或操作手柄与腔室内的隔壁接触而产生破损。
蒸发源蒸发源移动维护位置蒸镀装置本实用新型蒸镀室内操作手柄室内移动蒸镀材料基体板位置处蒸镀膜基板拉出外拉载置隔壁破损收容

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