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- [实用新型]一种防静电监测系统-CN201922395117.5有效
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石巍;王继东
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江苏长电科技股份有限公司
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2019-12-27
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2020-12-04
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G01R31/58
- 本实用新型涉及一种防静电监测系统,它包括第一线路(1)、第二线路(2)和接地线路(3),所述第一线路(1)上设置有切割电机(4)和第一电阻R1,所述第二线路(2)上设置有切割平台(5)和第二电阻R2,所述接地线路(3)上设置有接地电阻R,所述第一线路(1)和第二线路(2)相互并联后与接地线路(3)相串联。本实用新型能够对半导体切割设备的防静电接地线路实现实时监控,一旦发生开路、短路等异常故障,可立即通知操作人员及时处理,避免造成设备在失去防静电接地系统的保护下继续生产,对产品质量造成不良影响。
- 一种静电监测系统
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