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[发明专利]一种半导体p-i-n结太阳能电池外延片及其制备方法-CN200810226677.1无效
发明人：王辉;朱建军;张书明;杨辉 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2008-11-19 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： H01L31/075 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于InxGa1-xN纳米柱的半导体p-i-n结太阳能电池外延片，包括：一衬底，该衬底用于在其上进行InxGa1-xN材料外延生长；一InxGa1-xN材料模板，该InxGa1-xN材料模板外延生长在衬底上；一纳米柱阵列，该纳米柱阵列加工形成于InxGa1-xN材料模板上；一半导体太阳能电池p-i-n结构，该p-i-n结构外延生长在纳米柱阵列的侧壁、顶部及纳米柱之间的材料模板表面。本发明同时公开了一种基于InxGa1-xN纳米柱的半导体p-i-n结太阳能电池外延片的制备方法。
一种半导体太阳能电池外延及其制备方法

[发明专利]一种石墨烯风速风向传感器-CN201710693641.3在审
发明人：李孟委;赵世亮;吴承根;王莉 -专利权人：中北大学
申请日： 2017-08-14 - 公布日： 2017-12-05 - 主分类号： G01P5/12 文献下载
摘要：一种石墨烯风速风向传感器，主要结构由氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜阵列、加热电阻、引线柱、基片、玻璃基座、封装外壳组成，检测由基片、纳米薄膜、加热电阻组成，基片下侧布置有纳米薄膜阵列，纳米薄膜由上下两层氮化硼与夹在中间的石墨烯组成，纳米薄膜阵列四周布置了恒功率控制的加热电阻，基片底部外周侧通过封装合金键合在陶瓷基板上构成密封腔体，隔绝了纳米薄膜阵列与外界的直接接触，陶瓷基板通过绝热胶固定在玻璃基座上，纳米薄膜均与电极相连，电极通过引线柱连接外部
一种石墨风速风向传感器

[发明专利]一种多层微结构仿生干黏附结构、模具及其制备方法-CN202210051875.9在审
发明人：邵仁锦;浦东林;张瑾;朱鹏飞;陈林森 -专利权人：苏州苏大维格科技集团股份有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B82B1/00 文献下载
摘要：一种多层微结构仿生干黏附结构、模具及其制备方法，多层微结构仿生干黏附结构包括多个多层微结构单元，每一所述多层微结构单元包括底层的微米级柱体结构、中间层的微米级蘑菇头结构，以及顶层的纳米阵列结构，其中纳米阵列结构为纳米柱阵列结构或者纳米孔阵列结构本发明提供的多层微结构仿生干黏附结构、模具及其制备方法，通过设置顶层的纳米阵列结构，使得微结构与物体面之间的接触端由微米量级的蘑菇头“面结构”变成纳米量级的纳米珠阵列或纳米孔阵列的“点结构”，增加了接触面积
一种多层微结构仿生黏附结构模具及其制备方法

[发明专利]一种基于纳米结构薄膜电极的纳米发电机及制备方法-CN201811314230.X在审
发明人：余璇;陈立桥;龙运前;冷哲;张挥球;胡金飞 -专利权人：浙江海洋大学
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：一种基于纳米结构薄膜电极的纳米发电机及制备方法，所述纳米发电机包括一柔性基板，所述的柔性基板上自下而上依次制备有：1）银纳米线导电薄膜层，并构成由柔性基板/银纳米线导电层薄膜层复合的底电极；2）在所述柔性基板/银纳米线导电层薄膜层之上制备氧化锌薄膜层；3）在所述氧化锌薄膜层之上制备氧化锌纳米柱阵列，获得柔性的氧化锌纳米柱阵列；4）在所述氧化锌纳米柱阵列之上通过沉淀方法制备氧化亚铜薄膜层；5）在所述氧化亚铜薄膜层上制备空穴传输层
制备柔性基板纳米发电机氧化亚铜薄膜层银纳米线导电层纳米结构薄膜氧化锌纳米柱空穴传输层薄膜层保护层底电极电极层活性层电极金顶制备氧化锌薄膜制备氧化锌纳米氧化锌薄膜层导电薄膜层金属电极银纳米线铜线柱阵列沉淀复合

[发明专利]一种氧化铝纳米柱阵列结构的制备方法及应用-CN201710810701.5有效
发明人：李佳红;张文军;徐鸣 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2017-09-11 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： C25D11/08 文献下载
摘要：本发明属于纳米材料制备领域，并具体公开了一种氧化铝纳米柱阵列结构的制备方法及应用，该方法包括如下步骤：将纯铝片进行电化学抛光、清洗烘干后待用，然后配制质量百分比浓度为60‑80％的焦磷酸溶液；以所配制的焦磷酸溶液为电解液，所述纯铝片为阳极，石墨片为阴极，进行阳极氧化反应制备获得氧化铝纳米柱阵列结构。并以该氧化铝纳米柱阵列结构作为抑菌材料实现其在抑菌方面的应用。本发明克服了传统方法中复杂的阳极氧化及刻蚀过程，通过一次阳极氧化步骤直接生成氧化铝纳米柱结构，简化了实验方案，具有制备方法简单、操作便利的优点。
氧化铝纳米柱阵列制备焦磷酸溶液纯铝配制阴极应用纳米材料制备阳极氧化反应一次阳极氧化电化学抛光质量百分比阳极操作便利刻蚀过程清洗烘干阳极氧化抑菌材料电解液石墨片柱结构抑菌

[发明专利]一种复合防雾膜及其制备方法-CN202210393168.8在审
发明人：邹贵付;蔡长明;蔡建宇;季华勇;刘瓅 -专利权人：苏州欧徕特光电科技有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：一种复合防雾膜及其制备方法，其中复合防雾膜包括：衬底层；位于所述衬底层上的致密膜；位于所述致密膜背离所述衬底层一侧表面的纳米柱阵列层，所述纳米柱阵列层包括若干间隔的纳米柱。
一种复合防雾膜及其制备方法

[发明专利]一种微纳米多级柱结构的自组装制备方法-CN201910654445.4有效
发明人：陈华伟;郭雨润;张力文 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种微纳米多级柱结构的自组装制备方法，涉及微纳米材料制备技术领域。包括以下步骤：在铝基AAO模板的表面蒸镀有机薄膜，然后将预聚物浇注到铝基AAO模板的表面、固化，得到固化样品；腐蚀去除固化样品中的铝基AAO模板，并用有机溶剂洗涤，得到有机溶剂润湿的纳米柱阵列；最后经过预冷冻和冷冻干燥，形成微纳米多级柱结构。本发明通过冷冻干燥，将有机溶剂从固态直接转化为气态，可以降低干燥过程中液体挥发时表面张力对纳米柱阵列形貌的影响，即纳米柱间不会相互拉扯且团簇得很紧；通过控制有机溶剂的预冷冻温度，可以实现对纳米柱自组装尺度大小的调节
一种纳米多级结构组装制备方法

[发明专利]图像传感器和包括图像传感器的电子设备-CN202310041963.5在审
发明人：卢淑英;尹鉐皓;李相润 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2023-01-12 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：公开了一种图像传感器，该图像传感器包括传感器衬底，该传感器衬底包括多个感光单元；透明间隔物层，设置在传感器衬底上；以及分色透镜阵列，设置在间隔物层之上并且包括多个纳米柱，该多个纳米柱被配置为根据入射光的入射位置来改变入射光的相位，其中，多个纳米柱布置在多个层中，其中，在多个纳米柱中，宽度小于wc的纳米柱可以仅布置在多个层中的任一层中。因此，可以增加设置在分色透镜阵列中的纳米柱的最小宽度，这有利于制造工艺。
图像传感器包括电子设备

[发明专利]用于检测痕量体表分泌物的芯片及其使用方法-CN202110118015.8在审
发明人：薛龙建;李倩;林振;谭迪;史泽坤;朱博;雷祎凤 -专利权人：武汉大学
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： A61B10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于检测痕量体表分泌物的芯片及其使用方法，该芯片包括芯体、上壳体和下壳体，芯体的中部是功能区、两边是黏附区，功能区采用多孔材料的吸附垫，吸附垫的上层为浓缩层、下层为吸附层、侧面与溶剂注入胶囊连通，浓缩层的顶面设有密集的多孔纳米柱阵列，单个多孔纳米柱的孔隙率从根部到末端递减且末端表面沉积有金纳米粒子，吸附层的底面设有多孔微米柱阵列，单个多孔微米柱的孔隙率从根部到末端递增加，上壳体和下壳体分别可拆卸的设在柔性芯体的上下侧从而分别将多孔纳米柱阵列和多孔微米柱阵列封闭
用于检测痕量体表分泌物芯片及其使用方法

[发明专利]一种基于PET/银纳米线/氧化锌镁/银掺杂氧化锌镁纳米阵列的纳米发电机-CN201811314264.9在审
发明人：余璇;陈立桥;龙运前;冷哲;张挥球;胡金飞 -专利权人：浙江海洋大学
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：一种基于PET/银纳米线/氧化锌镁/银掺杂氧化锌镁纳米阵列的纳米发电机，它包括一柔性PET，所述的柔性PET上自下而上依次制备有：1）银纳米线导电薄膜层，并构成由柔性PET/银纳米线导电层薄膜层复合的底电极；2）在所述柔性PET/银纳米线导电层薄膜层之上制备氧化锌镁薄膜层；3）在所述氧化锌镁薄膜层之上制备银掺杂氧化锌镁纳米阵列，获得柔性的银掺杂氧化锌镁纳米柱阵列；4）在所述银掺杂氧化锌镁纳米柱阵列之上制备活性层
氧化锌镁银掺杂制备柔性PET 纳米阵列银纳米线银纳米线导电层氧化锌镁薄膜空穴传输层纳米发电机纳米柱阵列薄膜层底电极电极层活性层金顶环氧树脂封装铜丝导电薄膜层导电浆料金属电极铜线焊接处焊接复合

[发明专利]一种具有弯曲稳定性的LiFe₅O₈纳米柱阵列薄膜及其制备方法-CN201811604954.8在审
发明人：刘明;蓝国华;沈律康 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明涉及纳米结构薄膜材料领域，涉及一种具有弯曲稳定性的LiFe₅O₈纳米柱阵列薄膜及其制备方法，包括以下步骤：采用脉冲激光沉积技术在基片上进行陶瓷靶材外延复合纳米薄膜的生长MgO相去除，得到具有弯曲稳定性的LiFe₅O₈纳米柱阵列薄膜。本发明采用脉冲激光沉积技术和材料自成核现象，制得LF₁M_X复合纳米薄膜，通过去除LF₁M_X复合纳米薄膜中的MgO相，实现LiFe₅O₈纳米柱阵列的制备。本发明具有成本低，制备简单，同时获得形状规整的高质量纳米柱阵列的特点。
复合纳米薄膜纳米柱阵列制备弯曲稳定性陶瓷靶材薄膜脉冲激光沉积技术去除纳米结构薄膜材料领域退火处理规整生长

[发明专利]一种三维自换行生长堆叠纳米线沟道及弹簧结构的制备方法-CN202010119441.9有效
发明人：余林蔚;马海光;王军转 -专利权人：南京大学
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明公开一种三维自换行生长堆叠纳米线沟道及弹簧结构的制备方法，包括以下几个步骤：第一步，在目标衬底上定义掩模阵列；第二步，沿掩模阵列侧壁的轴向平行刻蚀一组预设间距的平行凹槽阵列的柱阵列；第三步，定义催化颗粒沉积区域，并在所述沉积区域沉积一层催化金属层；第四步，利用IP‑SLS纳米线生长模式，借助所述催化金属层的催化金属液滴在所述平行凹槽阵列的结构柱上自回避换行生长，制备得到3D纳米线结构。本发明实现了三维高密度堆叠纳米线和三维纳米弹簧结构的制备，并可控制其形貌和结构取向。
一种三维换行生长堆叠纳米沟道弹簧结构制备方法

[发明专利]一种X光宽带选能器件及其制作方法-CN201810647471.X有效
发明人：袁铮;曹柱荣;牛高;黎宇坤;邓克立;王强强;邓博;陈韬 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： G21B1/23 文献下载
摘要：本发明公开了一种X光宽带选能器件，该选能器件包括纳米柱阵列、薄金属层和支撑膜；纳米柱阵列制作在薄金属层的上表面，薄金属层的下表面粘贴支撑膜。本发明还公开了一种X光宽带选能器件的制作方法，该方法利用X射线光刻技术在聚碳酸酯材料上打孔，再利用电化学沉积的方式在孔洞里生长纳米柱，可形成柱体垂直度高、侧壁粗糙度好的纳米柱；还可根据待选能段特征，制作任意高深宽比的正方形纳米柱阵列，通过灵活设计纳米柱的柱高、薄金属层的材料与厚度，以及X射线的掠入射角度可以实现软X射线范围内的任意能段范围的带通选能。
一种宽带器件及其制作方法

[发明专利]一种操纵微纳米粒子的柔性微驱动器的制造操控方法-CN201610209995.1有效
发明人：蒋维涛;刘红忠;雷彪;陈邦道;史永胜;尹磊 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-04-06 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：一种操纵微纳米粒子的柔性微驱动器的制造操控方法，先制作磁性微纳米颗粒的图形化模板，再将聚合物涂覆在非磁性衬底表面，将图形化模板表面的微纳米颗粒接触并嵌入聚合物，提拉图形化模板，使聚合物被拉伸为蘑菇状微纳米柱阵列，加热图形化模板使图形化的磁性微纳米颗粒脱离水溶胶粘附层，得到顶端带有磁性微纳米颗粒的柔性的蘑菇状微纳米柱阵列，即柔性微驱动器，将需要被操纵微纳米粒子滴至柔性的蘑菇状微纳米柱阵列表面，调控非磁性衬底下面磁铁的位置与水平/竖直移动速率实现微纳米颗粒的平移、抓取、跳跃操纵，调控非磁性衬底上面的一对磁铁的位置以及旋转速率实现微纳米颗粒的旋转操纵，本发明柔性驱动器制作简单，可控性好。
一种操纵纳米粒子柔性驱动器制造操控方法

[发明专利]一种在水下实现连续传输气泡的仿生结构及其加工方法-CN201911039516.6有效
发明人：陈云;施达创;姚瑶;侯茂祥;陈新;高健;刘强;张揽宇;张凯;贺云波;张胜辉;汪正平 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种在水下实现连续传输气泡的仿生结构及其加工方法，包括至少两个锥形柱；所述锥形柱首尾依次相连并同轴排列形成条状的锥形刺；所述锥形刺的表面设有纳米柱阵列，所述纳米柱的表面镀有第一贵金属层，所述第一贵金属层的表面附着有疏水层水基团附着在纳米柱阵列上形成疏水层，由于毛细作用，液体不能进入纳米柱阵列的间隙中，因此形成了空气薄膜，这造成了锥形刺的表面的具有疏水亲气的特性，这一特性使水下气泡粘附在锥形刺的表面上，并在拉普拉斯力的作用下，从单节锥形柱的直径小端向直径大端移动，并跨过两节锥形之间的连接处，实现自发定向长距离连续传输气泡。
一种水下实现连续传输气泡仿生结构及其加工方法