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[发明专利]等离子体处理器-CN02811563.5有效
发明人： N·麦克盖瑞尔特 -专利权人：拉姆研究有限公司
申请日： 2002-06-04 - 公布日： 2004-07-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一个真空等离子体处理器包括一个电压－电流检测器(32)，它连接在匹配网络(30)和用于激发在腔室(10)内的气体成为等离子体以处理工作部件(15)的反应阻抗之间。
等离子体处理器

[发明专利]一种燃煤锅炉掺烧污泥烟气污染物脱除装置和工艺-CN202010332060.9在审
发明人：陈晖晖;张自丽;罗威威 -专利权人：福建省锅炉压力容器检验研究院
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本发明涉及烟气污染物处理领域，提供一种燃煤锅炉掺烧污泥烟气污染物脱除装置和工艺，其特征在于：包括等离子体氧化反应器和等离子体吸收处理器；所述等离子体氧化反应器的一端设置有烟气进口，所述等离子体氧化反应器的另一端与所述等离子体吸收处理器相连通，所述等离子体吸收处理器的另一端设置有烟气出口；所述等离子体氧化反应器为介质阻挡等离子体线筒式反应器；所述等离子体氧化反应器上设置有给所述等离子氧化反应器提供氧气的进气装置；所述脉冲电源与所述线筒式反应器相连接；所述线筒式反应器内部设置有网载催化剂层。本发明实现将等离子体技术与催化剂和吸附液联用催化脱除烟气污染物。
一种燃煤锅炉污泥烟气污染物脱除装置工艺

[实用新型]一种燃煤锅炉掺烧污泥烟气污染物脱除装置-CN202020642615.5有效
发明人：陈晖晖;张自丽;高玉姜 -专利权人：福建省锅炉压力容器检验研究院
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本实用新型涉及烟气污染物处理领域，提供一种燃煤锅炉掺烧污泥烟气污染物脱除装置，其特征在于：包括等离子体氧化反应器和等离子体吸收处理器；所述等离子体氧化反应器的一端设置有烟气进口，所述等离子体氧化反应器的另一端与所述等离子体吸收处理器相连通，所述等离子体吸收处理器的另一端设置有烟气出口；所述等离子体氧化反应器为介质阻挡等离子体线筒式反应器；所述等离子体氧化反应器上设置有给所述等离子氧化反应器提供氧气的进气装置；所述脉冲电源与所述线筒式反应器相连接；所述线筒式反应器内部设置有网载催化剂层。本实用新型实现将等离子体技术与催化剂和吸附液联用催化脱除烟气污染物。
一种燃煤锅炉污泥烟气污染物脱除装置

[其他]用于组织结合的医疗设备-CN201290000668.0有效
发明人：阿蒙·拉姆;迈克尔·马勒 -专利权人：艾恩医疗有限公司
申请日： 2012-05-09 - 公布日： 2014-08-13 - 主分类号： A61B18/04 文献下载
摘要：提供了用于组织结合的医疗设备（100），其包括至少一个处理器（161），该至少一个处理器配置成通过控制用以提供RF等离子体产生功率到等离子体端头的RF功率源（141）而调整等离子体端头（102）中的冷等离子体产生
用于组织结合医疗设备

[发明专利]一种等离子体降解黄曲霉毒素的装置及其应用-CN201110254907.7无效
发明人：王世清;张岩;姜文利;邵焕霞;蒲传奋;董晓娜;张花利 -专利权人：青岛农业大学
申请日： 2011-08-31 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： A23L1/015 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体降解黄曲霉毒素的装置，它包括等离子体发射器、水冷却器、等离子体发生器和处理器，所述等离子体发射器与水冷却器连接，所述水冷却器与等离子体发生器连接，在所述等离子体发生器内设有等离子发生仓和可调节间距的等离子体电极，所述等离子发生器与所述处理器之间通过连接管连接，所述处理器外接调节装置内气体密度的真空泵。本发明基于物理处理，能高效、快捷、安全降解农产品中黄曲霉毒素，通过试验验证，本发明设施对黄曲霉毒素有显著的降解效果，降解率可达50%以上，可以解决现有技术存在的化学药剂污染、对产品的营养成分、感官及功能特性的破坏和成本过高等问题
一种等离子体降解黄曲霉毒素装置及其应用

[实用新型]一种利用废气处理产生的等离子进行磁流体发电的装置-CN202021321062.X有效
发明人：葛献超 -专利权人：合肥迅芯微电子科技有限公司
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H02K44/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种利用废气处理产生的等离子进行磁流体发电的装置，包括高压源、电晕放电处理器以及发电机构，所述发电机构包括正对设置的分别位于左侧和右侧的S极和N极以及正对设置的分别位于上侧和下侧的两个金属极板，两个金属极板之间通过导线连接用电负载，电晕放电处理器的前侧设有废气入口，后侧设有等离子体出口，所述高压源与电晕放电处理器的电极连接，电晕放电处理器的废气入口进入废气，废气在电晕放电处理器内分解成等离子体并从等离子体出口进入发电机构；本实用新型的优点在于：利用废气产生等离子体并利用等离子体进行发电，节能环保。
一种利用废气处理产生等离子进行流体发电装置

[发明专利]一种电容耦合等离子体处理器及其温度调节方法-CN201811606367.2有效
发明人：杨金全;徐朝阳;倪图强 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种电容耦合等离子体处理器及其温度调节方法，在电容耦合等离子体处理器的反应腔中设置至少一个加热器和至少一个风扇，上电极组件的导电安装板中具有冷却管道，冷却管道中流通着冷却液，当电容耦合等离子体处理器的反应腔内的温度低于设定温度时，加热器通电，对上电极组件加热，当电容耦合等离子体处理器的反应腔内的温度大于设定温度时，断开加热器，导电安装板的冷却管道中的冷却液保持流通状态，当电容耦合等离子体处理器处于制程状态时，开启风扇，当电容耦合等离子体处理器处于待机状态时本发明配合使用冷却管道和风扇，无需增强冷却管道的冷却能力，也无需增加加热器的功率，节约了能源，使反应腔的温度更容易控制。
一种电容耦合等离子体处理器及其温度调节方法

[发明专利]一种低温范围的裸露电极型大气压等离子体发生器系统-CN202010504638.4有效
发明人：李和平;李静;陈坚;方川 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：一种低温范围的裸露电极型大气压等离子体发生器系统属于大气压射频等离子体技术领域，其特征在于包括电源、气源、发生器、等离子体气体温度调节器，输出等离子体调节接头以及处理器，其中，发生器具有同轴型电极，内电极纵剖面呈“U”字形，冷却气体进入凹槽后通过沿径向开在内电极内的多层冷却通道后进入等离子体空间，以补充等离子体输出流量，所述调节接头用于调节输出等离子体纵向高度及输出角度，处理器把输出等离子体分为[‑200℃,0℃]，(0℃,50℃]两档分档处理，对输出等离子体气体温度和流量两个参量按优先级控制，据此确定非最优参量的修正期望值。本发明具有发生器结构简单、输出等离子体可调节及调节对象针对性、选择性强的优点。
一种低温范围裸露电极大气压等离子体发生器系统

[实用新型]一种高压电场低温等离子体活性水的制作装置-CN201921237897.4有效
发明人：赵见营;谢广杰;罗辑;戴照琪 -专利权人：南京扬乾生物科技有限公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C02F1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高压电场低温等离子体活性水的制作装置，包括预处理器、反应器、气体连通器、流量计以及等离子体发生装置，所述的预处理器与反应器之间通过预处理出水口和反应进水口相连通，所述的预处理器与反应器之间还通过设置在气体出气口和气体进气口之间的气体连通器相连通，所述的流量计设置在预处理进水口处的位置，所述的等离子体发生装置与反应器相连接。通过上述方式，本实用新型提供的高压电场低温等离子体活性水的制作装置，增加预处理器，方便控制，可以将高压电场产生的等离子体循环使用，提高了等离子体的利用率，缩短了活性水的反应时间，降低了等离子体中活性成分的损耗
一种高压电场低温等离子体活性制作装置

[实用新型]一种旋转型不锈钢等离子表面处理装置-CN202020227551.2有效
发明人：蒙煜 -专利权人：广州善准仪器设备有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转型不锈钢等离子表面处理装置，其特征是：包括密封箱，密封箱的箱口设置有密封门，密封箱内设置有转动件，转动件的转动端连接有安装盘，安装盘可拆卸连接有放置样品的旋转腔体；密封箱内设置产生等离子体的等离子处理器，等离子处理器的喷出端朝向旋转腔体的开口设置，表面处理向外设置有抽气泵，抽气泵的抽气口与密封箱内连通；等离子处理器产生的等离子体的射频频率为40MHz。通过采用上述设置，具有旋转腔体可安装和旋转，利用等离子处理器产生的等离子体可处理不规则颗粒样品的优点。
一种旋转不锈钢等离子表面处理装置

[发明专利]实现均匀排气的双工位处理器及等离子体处理设备-CN201910630160.7有效
发明人：雷仲礼 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种实现均匀排气的双工位处理器及等离子体处理设备，双工位处理器包含两个相邻排列的等离子体处理腔室和一个共享的排气泵，每个等离子体处理腔室内设置一气体注入装置和一用于支撑基片的基座，每个等离子体处理腔室内环绕所述基座的外围设置一等离子体约束装置，每个等离子体约束装置下方设有排气区域，每一个等离子体处理腔室与排气泵之间具有两个排气通道，每一个排气通道具有进气口和出气口，进气口连接等离子体处理腔室中的排气区域，出气口连接排气泵。本发明提高了等离子体处理设备中反应腔内基片表面的反应气体分布的均匀度，提高了基片的刻蚀均匀度，提高了基片的合格率。
实现均匀排气双工处理器等离子体处理设备

[发明专利]用于标定区域等离子体分布的多通道朗缪尔探针诊断系统-CN202110441671.1有效
发明人：杜清府;王进;纪仕鑫;郭怀龙;张清和;邢赞扬;李延辉;李建泉;郭新 -专利权人：山东大学
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于标定区域等离子体分布的多通道朗缪尔探针诊断系统，包括：多个朗缪尔探针、多通道电流采集电路和处理器，各个朗缪尔探针的探测端设置在待测区域的不同位置，朗缪尔探针与电流采集电路连接，处理器与电流采集电路连接；处理器根据接收到的各个朗缪尔探针的电流信号得到等离子体参数，根据得到的等离子体参数以及各个朗缪尔探针的位置信息得到区域等离子体分布；多个并行通道的设计可以获得真正的等离子体实时分布，弥补了现有技术通过通道切换来实现多路采集的缺点，同时通过对多路数据的并行处理，得到了更准确的等离子体分布结果。
用于标定区域等离子体分布通道朗缪尔探针诊断系统

[发明专利]一种等离子体微纳米气泡染色处理系统-CN201710148430.1有效
发明人：吴红艳;张迎晨;张夏楠 -专利权人：中原工学院
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： D06B13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体微纳米气泡染色处理系统，所述处理系统包括等离子体处理器、等离子体废气抽出装置、染液输出装置、染液输入装置、微气泡发生器；所述等离子体废气抽出装置包括抽取管道及设置在抽取管道上的抽取泵，抽取管道一端与等离子体处理器相连，抽取管道另一端与微气泡发生器相连；所述染液输出装置包括和输出管道及设置在输出管道上的输出泵，染液输入装置包括输入管道及设置在输入管道上的输入泵，输出管道和输入管道的两端均分别与微气泡发生器和染槽相连等离子体废气被微气泡水发生器作用与染料水形成富含等离子体废气的微纳米气泡染液，本系统除可以染布以外，也可以用于染纱。
一种等离子体纳米气泡染色处理系统

[发明专利]等离子体参数非侵入测量和分析的方法和装置-CN03815550.8无效
发明人：理查德·帕森斯 -专利权人：东京电子株式会社
申请日： 2003-06-18 - 公布日： 2005-09-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于传感和分析等离子体处理的参数的RF传感器。所述RF传感器具有等离子体处理工具和一个用于接收从等离子体处理工具辐射的RF能量的天线。天线位于非常接近等离子处理工具处，以便是非侵入式的。此外，RF传感器可配置为从等离子体处理工具辐射的RF能量的多谐波的宽带接收。另外，RF传感器可耦合到一个高通滤波器和一个用于处理接收到的RF能量的处理器。此外，天线可位于一个外壳内，所述外壳带有吸收器，用于减少RF传感器受到的干扰。此外，一个工具控制可耦合到处理器以便根据由接收到的RF能量提供的信息调整和维持等离子体处理的各参数。
等离子体参数侵入测量分析方法装置

[发明专利]一种低温等离子体燃油微乳化方法及其装置-CN201110156269.5无效
发明人：王红卫 -专利权人：苏州市奥普斯等离子体科技有限公司
申请日： 2011-06-13 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： B01F13/02 文献下载
摘要：本发明提供一种低温等离子体燃油微乳化方法及其装置，所述方法步骤为：将油相、水和微乳化剂按一定比例预混合后加入到高剪切机中，制成乳化液；通过输送泵将乳化液送入到储液槽；储液槽内的乳化液通过计量泵流经到等离子体处理器内进行等离子体处理；等离子体处理后的乳化液回流到储液槽。一种低温等离子体燃油微乳化装置，包括高剪切机、储液槽、计量泵以及等离子体处理器。本发明可以提高微乳化的效率，降低生产成本，提高微乳液的质量。
一种低温等离子体燃油乳化方法及其装置

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