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[实用新型]真空吸附盘-CN201921805641.9有效
发明人：李梦秋;赵林 -专利权人：英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： B23K3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种真空吸附盘，包括盘体，所述盘体中形成有能够与真空源或真空发生装置连通的真空腔，所述盘体朝向被吸附物体的表面大体是平坦表面，其特征在于，在所述盘体的所述表面上环绕着所述真空腔的开口设置有弹性密封垫，所述弹性密封垫的厚度选择成所述弹性密封垫在自由状态下超出所述盘体的所述表面、以及在被吸附物体被吸附在所述盘体上时与所述表面大体齐平。根据本实用新型的真空吸附盘能够确保稳定的真空度，从而使被真空吸附盘吸附的物体能够稳定可靠地被吸附在真空吸附盘上。
真空吸附

[发明专利]真空吸附盘-CN95109135.2无效
发明人：筑忠明 -专利权人：日本比索株式会社
申请日： 1995-06-22 - 公布日： 1999-11-17 - 主分类号： B66C1/02 文献下载
摘要：在吸附盘体的远离一外部吸附盘支承面的那个后面部分设置一抽吸腔，吸附盘体的面对着吸附盘支承面的那个前端部分分隔成若干个均与抽吸腔相通的抽气室，设置一个空气流通道，以便与抽吸腔相通，在各个抽气室与抽吸腔之间的空气流通路上设置阀机构，这些阀机构能够被真空抽吸期间出现的抽吸的空气流关闭，另外，在一部分空气流通道上，以这样的方式设置一自动开关阀，即，该开关阀随着紧紧贴靠吸附盘支承面而打开，空气流通道以这样一种方式形成一即，导致自动开关阀打开的作用力的方向不同于克服那个总是驱使开关阀关闭的弹簧构件的反作用力的方向
真空吸附

[实用新型]一种纸浆真空吸附机上的吸附盘-CN201120163993.6无效
发明人：吕伟 -专利权人：界首市曙光包装材料有限公司
申请日： 2011-05-20 - 公布日： 2012-01-18 - 主分类号： D21J3/00 文献下载
摘要：一种纸浆真空吸附机上的吸附盘，涉及真空吸附装置，设置于真空吸附机上，包括一吸附盘，其特征在于：所述的吸附盘中间设有一真空凹槽，所述的真空凹槽周边设有若干吸附孔，所述的真空凹槽及吸附孔连接真空吸附管。所述的吸附孔均匀排列在凹槽周边，整体呈方型结构。本实用新型结构简单，真空吸附效果好，吸附孔均匀排列，吸附力均匀，且制造简单，使用寿命长。
一种纸浆真空吸附

[发明专利]真空吸附加热盘的沟槽结构及真空吸附加热盘-CN202211412420.1在审
发明人：宋宇 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空吸附加热盘的沟槽结构及真空吸附加热盘，涉及半导体设备的技术领域。真空吸附加热盘的沟槽结构包括加热盘盘体；加热盘盘体上开设有至少三个供顶针升降的顶针孔、多个用于抽吸气体的吸附孔和多道吸附流道，吸附流道与吸附孔连通；吸附流道的最外围位于多个顶针孔围成的圆的外侧，且顶针孔位于吸附流道围成的范围外；加热盘盘体位于吸附孔处开设有抽气流道。真空吸附加热盘包括真空吸附加热盘的沟槽结构。达到了真空吸附加热盘和晶圆之间传热均匀的技术效果。
真空吸附加热沟槽结构

[实用新型]一种方便上下料的吸盘装置-CN202120306894.2有效
发明人：冀然 -专利权人：青岛天仁微纳科技有限责任公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种方便上下料的吸盘装置，包括真空吸附台盘，真空吸附台盘的上表面边缘开设有凹槽，真空吸附台盘和凹槽内装配有升降支板，真空吸附台盘上方吸附固定有基片，凹槽内插接有真空吸笔，且真空吸笔吸附端与基片底面贴合；方案采用真空吸笔对基片进行上下片控制，避免手持基片导致基片划伤，同时能够保证在上下移动控制过程中，基片位置不会发生偏移；方案采用在真空吸附台盘上开设凹槽来配合真空吸笔使用，使得真空吸笔能够伸入到基片底面
一种方便上下吸盘装置

[实用新型]一种抽真空吸附盘装置-CN201721734475.9有效
发明人：贺锦霞 -专利权人：湖南高地光电科技发展有限公司
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： F16B47/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种抽真空吸附盘装置。包括真空吸附盘、软管、真空泵，其中，真空泵设置在真空吸附盘外，真空泵与真空吸附盘之间通过软管连接；采用抽真空法，先把光学镜片用粘结胶粘在带孔的工具板上，再把工具板放在真空吸附盘上进行抽真空，工具板与真空吸附盘之间设有橡皮圈
真空吸附盘工具板抽真空真空泵光学镜片吸附盘粘结胶橡皮圈本实用新型抽真空法软管连接软管吻合度抛光带孔上盘

[实用新型]用于金属刀片加工的真空吸附固定装置-CN201620635226.3有效
发明人：迟德林 -专利权人：马鞍山市欧林机械设备有限公司
申请日： 2016-06-24 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： B24B3/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于金属刀片加工的真空吸附固定装置，包括固定台和真空泵，固定台设置在加工槽内，固定台上设置至少一个真空吸附盘，在每个真空吸附盘上至少两个相对的侧面设有高度调节装置，每个真空吸附盘上设置若干吸附孔，每个真空吸附盘通过抽真空管道与真空泵连接；该真空吸附固定装置的吸附效果好，牢固，不会随着长时间的使用固定功能下降，结构简单，并且可以通过高度调节装置来适应不同厚度刀片的加工，以适应真空吸附盘与砂轮的位置
用于金属刀片加工真空吸附固定装置

[实用新型]一种游乐设施用连接立柱-CN202020613929.2有效
发明人：邵长春 -专利权人：邵长春
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： A63G31/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种游乐设施用连接立柱，包括连接柱，所述的连接柱的下端设有固定盘，所述的固定盘的底面上设有真空吸附装置，固定盘通过真空吸附装置与固定面吸附固定连接，所述的固定盘的底面上设有凹槽一，所述的真空吸附装置设置在所述的凹槽一内，所述的真空吸附装置为柔性的真空吸盘。
一种游乐施用连接立柱

[实用新型]一种用于MLCC测试机料盘的真空吸附系统-CN202222990109.7有效
发明人：徐晓宇 -专利权人：深圳市巨领智能装备有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于MLCC测试机料盘的真空吸附系统，包括一测试盘，测试盘中心安装于一旋转驱动机构的驱动端，测试盘上开设有若干用于安装产品的测试孔位，若干测试孔位呈圆环状均匀排布；任一测试孔位沿圆环径向对称开设有第一导流槽和第二导流槽，第一导流槽位于圆环外侧，第二导流槽位于圆环内侧；还包括一位于测试盘下方的真空吸附盘，真空吸盘开设有用于连通第一导流槽或第二导流槽以对测试孔位提供真空吸力的真空吸附槽；真空吸附槽包括用于与第一导流槽连通的第一真空吸附槽、用于与第二导流槽连通的第二真空吸附槽，第一真空吸附槽位于第二真空吸附槽下方。本申请技术方案解决了现有料盘的真空系统系统稳定性差的问题。
一种用于 mlcc 测试机料盘真空吸附系统

[发明专利]凹凸面真空吸附装置及其制作方法-CN201310345111.1有效
发明人：顾开宇;朱晓峰 -专利权人：宁波维真显示科技有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种凹凸面真空吸附装置及其制作方法，凹凸面真空吸附装置，包括真空吸附盘（1）；所述的真空吸附盘（1）内设有气流通道（2），所述的气流通道（2）连接在第一真空发生装置（3）上；所述的真空吸附盘（1）上设有与被吸附的器件上的凹凸面互补的凹凸面互补吸附组件；所述的凹凸面互补吸附组件上设有多个气孔，所述的气孔与所述的气流通道（2）相连通。该凹凸面真空吸附装置能吸附抓取表面凹凸不平的器件。该凹凸真空吸附装置的制作方法加工方便且精确度高。
凸面真空吸附装置及其制作方法

[实用新型]一种晶圆正面吸附装置-CN202220302504.9有效
发明人：丁一 -专利权人：成都海威华芯科技有限公司
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆正面吸附装置，包括手柄、真空吸附盘和若干分支杆，所述手柄内具有第一真空吸附管路，所述第一真空吸附管路的一端具有真空进气口，另一端通过真空连接杆分别与所述分支杆内的第二真空吸附管路连接；所述分支杆分散安装在真空吸附盘上，所述第二真空吸附管路远离真空吸附盘的一端具有安装吸嘴的吸嘴盘。
一种正面吸附装置

[实用新型]一种用于甩胶机吸附较小样品的真空吸附盘结构-CN201520417700.0有效
发明人：李喜玲;郭党委 -专利权人：兰州大学
申请日： 2015-06-15 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于甩胶机吸附较小样品的真空吸附盘结构，包括一凸型的真空吸附盘，所述吸附盘的上端面直径为9mm，且吸附盘的上端面中心有一个镂空的真空吸附孔，以及与真空吸附孔相连的四条凹槽，所述吸附盘中间直径为40mm；所述吸附盘最下端设有一个镂空的圆柱体，所述真空吸附孔与真空吸附凹槽相连通，所述镂空圆柱体与真空吸附空相连通；本实用新型避免了甩胶时小片子粘大片子带来的表面不平整，而引起的光刻胶厚度不均匀，进而影响曝光精度
一种用于甩胶机吸附较小样品真空盘结

[实用新型]一种可调式工装卡具-CN202223477205.8有效
发明人：刘奔超;温海飞;全秀军 -专利权人：中国人民解放军第六四一一工厂
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B23Q3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调式工装卡具，包括安装架座、真空吸附盘和驱动马达，安装架座顶端的中部分别安装有第一传动齿轮和第二传动齿轮，第一传动齿轮的顶端安装有中空连接轴，中空连接轴的一端固定安装有吸附盘安装架，吸附盘安装架与真空吸附盘安装连接，真空吸附盘的顶端开设有多个吸附孔位，第二传动齿轮的输入端与驱动马达的输出端装配连接，驱动马达位于安装架座的底端，本实用新型通过设有的第一传动齿轮、中空连接轴、驱动马达、第二传动齿轮和真空吸附盘，通过第一传动齿轮和第二传动齿轮使得真空吸附盘转动，能够多角度多方向的调节加工位置，且利用真空吸附盘进行真空吸附，具有良好的装夹强度，不容易发生松动。
一种调式工装卡具

[实用新型]一种晶圆撕胶定位盘及撕胶机-CN202021303760.7有效
发明人：朱刚 -专利权人：颀中科技（苏州）有限公司;北京奕斯伟科技有限公司;合肥奕斯伟封测技术有限公司
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆撕胶定位盘及撕胶机，其中晶圆撕胶定位盘包括盘体、设置在所述盘体上的若干真空吸附孔和密封圈；若干所述真空吸附孔在所述盘体上均匀间隔排布成用于吸附晶圆的真空吸附区；所述密封圈沿所述真空吸附区的外围设置，所述密封圈上具有用于抵接在撕胶机的真空吸附台上的抵接部。其装配过程只需要将晶圆撕胶定位盘放置在真空吸附台上，方便了对不同尺寸晶圆的定位操作。
一种晶圆撕胶定位撕胶机

[实用新型]一种智能精密抛光机的工作盘机构-CN201822208727.5有效
发明人：高令;谭志强;李叶明;黄忠胜;谭猛勇 -专利权人：深圳西可实业有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种智能精密抛光机的工作盘机构，包括：传动组件、真空吸附组件以及定位组件，定位组件设置在传动组件底部，传动组件顶部连接真空吸附组件；定位组件包括顶升装置和复位装置，复位装置设置在传动组件底部，顶升装置设置在复位装置下方；真空吸附组件用于吸附待抛光工件，传动组件带动真空吸附组件绕自身轴心转动，开启顶升装置带动复位装置上升，复位装置控制传动组件停止传动，实现真空吸附组件的定位。本实用新型通过真空吸附组件与旋转主轴构成真空吸附腔，配合真空抽气装置实现工作盘吸附工件，在提高抛光效率的同时，不损害产品质量，提高产品良率；通过设置在传动组件上的定位组件控制真空吸盘停止转动，实现工作盘定位
传动组件真空吸附组件复位装置定位组件工作盘顶升装置本实用新型精密抛光机真空抽气装置真空吸附腔产品良率抛光工件抛光效率停止转动吸附工件旋转主轴真空吸盘轴心转动智能传动吸附损害配合

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