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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]切断方法及线锯装置-CN200880016692.1有效
发明人：北川幸司 -专利权人：信越半导体股份有限公司
申请日： 2008-05-02 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种切断方法及线锯装置，是将钢线卷绕于多个附凹沟滚筒，一边供给切断用浆液至该附凹沟滚筒，一边使该钢线行进地压抵晶棒，将晶棒切断成晶片状的方法，其通过对上述晶棒供给独立于上述切断用浆液地控制供给温度后的晶棒调温用浆液，以可控制晶棒的温度的方式来进行切断；此时，对于上述晶棒，仅向上述往复行进的钢线的出侧，供给晶棒调温用浆液。以此，提供一种切断方法以及线锯装置，利用线锯切断晶棒时，特别是减轻晶棒的切断结束时附近的晶棒的急剧的冷却，其结果，可抑制纳米形貌的恶化，进而也可切断成为厚度均匀的高质量晶片。
切断方法装置

[实用新型]一种硅棒拼接用对晶线机构-CN202021480073.2有效
发明人：孙鹏程;高润飞;刘源浩;秦聪明;康新领;黄游;景健 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司;杭州中为光电技术有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅棒拼接用对晶线机构，包括安装架、第一对晶线装置和第二对晶线装置，第一对晶线装置与第二对晶线装置均设于安装架上，其中，第一对晶线装置与第二对晶线装置均包括晶线检测装置和转动装置，晶线检测装置设于转动装置的一侧，对第一对晶线装置与第二对晶线装置上的硅棒晶线进行检测，使得第一对晶线装置与第二对晶线装置上的硅棒晶线方向一致。本实用新型的有益效果是通过晶线检测装置对硅棒的晶线位置进行检测，根据检测到的晶线的位置进行旋转，使得非标硅棒的晶线方向一致，实现拼接前硅棒晶线一致，加快拼接的速度。
一种拼接机构

[发明专利]切断方法-CN200780034327.9有效
发明人：大石弘;仲俣大辅 -专利权人：信越半导体股份有限公司
申请日： 2007-08-22 - 公布日： 2009-08-26 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供一种切断方法，该切断方法是将钢线卷绕于多个附凹沟滚筒，一边供给切断用浆液至该附凹沟滚筒，一边使上述钢线行进地压抵晶棒，将该晶棒切断成晶片状的方法，该方法控制上述切断用浆液的供给温度，以至少在上述晶棒的切断结束时使上述切断用浆液的供给温度与晶棒的温度成为由此，提供一种切断方法，其在利用线锯切断晶棒时，减轻在晶棒的切断结束时附近的晶棒的急剧冷却，并因此可抑制纳米形貌的发生。
切断方法

[发明专利]切断方法-CN200780034317.5有效
发明人：大石弘;仲俣大辅 -专利权人：信越半导体股份有限公司
申请日： 2007-08-08 - 公布日： 2009-08-26 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明提供一种切断方法，是将钢线卷绕于多个附凹沟滚筒，一边供给切断用浆液至该附凹沟滚筒，一边使上述钢线行进地压抵晶棒，将晶棒切断成晶片状的方法，该方法仅从上述晶棒的切入深度至少达直径的2/3开始至切断结束为止之间，将晶棒调温用浆液，与上述切断用浆液互相独立且控制供给温度地供给至该晶棒，由此控制切入深度为直径2/3以上时的晶棒的冷却速度来进行切断。由此，提供一种切断方法，利用线锯来切断晶棒时，减轻晶棒的切断结束时附近的晶棒的急剧地冷却，其结果，可抑制纳米形貌的发生，且切断成为厚度均匀的高质量晶片。
切断方法

[实用新型]一种硅棒切割用晶托-CN201420604680.3有效
发明人：胥大鹏;何江涛;李晓建;李斌全;解士超;李达志;李小刚;欧哲舜;戴璐 -专利权人：无锡隆基硅材料有限公司
申请日： 2014-10-20 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：一种硅棒切割用晶托，包括晶托底座和玻璃板，所述玻璃板一侧与所述晶托底座粘贴，另一侧与硅棒粘贴，其特征在于：所述玻璃板的厚度为硅棒宽度的9%~12%。本实用新型所述的硅棒切割用晶托，加大了玻璃板的厚度，使钢丝允许切割深度加大，保证了硅棒能够充分切透，解决了因钢丝出现线弓导致硅棒切割不透的问题。
一种切割用晶托

[发明专利]一种晶棒的切割方法及切割装置-CN201710792762.3有效
发明人：汪燕;刘源 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2017-09-05 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种晶棒的切割方法及切割装置，所述方法包括：将晶棒安装于晶棒进给装置上；通过所述晶棒进给装置下降所述晶棒，同时控制金刚线放松，使所述金刚线环绕所述晶棒；当所述晶棒下降至冷却液槽中以后，紧绷所述金刚线本发明提供的晶棒的切割方法及切割装置，可以提高切割速度，并减小晶棒切割区域和未切割区域的温度差，从而改善晶片的翘曲度。
一种切割方法装置

[发明专利]一种硅棒的晶线生长状态检测方法、装置及设备-CN201910745478.X有效
发明人：郭力;李侨;徐战军 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2019-08-13 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明实提供了一种硅棒的晶线生长状态检测方法、装置及设备，涉及单晶硅技术领域，包括：在硅棒处于等径生长的过程中，获取硅棒的样本图像；在样本图像上设置检测区域，检测区域与所述硅棒的晶线生长线重叠；生成检测区域的灰度值曲线；根据检测区域的灰度值曲线，确定晶线生长线上，硅棒的晶线的生长状态。本发明中，通过实时采集硅棒在生长过程中的样本图像，并在样本图像上设置检测区域，根据所述检测区域的灰度值曲线，就可以确定硅棒的晶线的生长状态，从而判断硅棒是否是单晶硅棒，采用该方法降低了硅棒直径大小的波动及晶线特征不明显对晶线的检测过程的影响，从而提高了晶线的检测精度和检测效率，且操作简单。
一种生长状态检测方法装置设备

[实用新型]一种晶棒清洁流水线-CN202220956224.X有效
发明人：曹进根;武瑞;武治军;曹政民;崔伟;王大伟;万遥;万银虎;徐益林;陈列波 -专利权人：无锡中环应用材料有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶棒清洁流水线，包括一晶棒输送线，晶棒输送线一端为上料端，另一端为下料端，晶棒输送线从上料端至下料端依次布置有清洗工位和风切工位，清洗工位包括晶棒顶面清洗工位、以及晶棒侧面清洗工位。本实用新型实现了对晶棒自动化清洗，不需要人力，提升后续工艺的良品率。
一种清洁流水线

[发明专利]一种切割蓝宝石晶棒的摇摆工艺-CN202310157457.2在审
发明人：钟后芳;万里辉;高东升;吴琼琼;崔思远;文国昇;金从龙 -专利权人：江西兆驰半导体有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种切割蓝宝石晶棒的摇摆工艺，其中，通过摇摆机构使摇摆端的晶棒在新线端与旧线端之间进行往复摇摆，晶棒的摇摆姿态可确保与金刚线的接触弧长减小，其中晶棒朝向新线端的摇摆角度α、晶棒朝向旧线端的摇摆角度β满足α＞β，以此方式使金刚线对晶棒实施切割；通过增大新线端出线时的晶棒摇摆角度，从而减小晶棒与金刚线的接触弧长，使新线端出线的磨损程度降低，增强了旧线端回切时的切割力，使金刚线在新线端与旧线端出线的切割力均衡化
一种切割蓝宝石摇摆工艺

[实用新型]一种金刚线切割用塑料板-CN201922211951.4有效
发明人：马劲峰 -专利权人：强芯科技（淮安）有限公司
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金刚线切割用塑料板，其包括塑料板本体，塑料板本体上设有粘棒面，粘棒面用于粘接晶棒，粘棒面沿垂直于切割方向设有条形槽，塑料板本体内沿垂直于切割方向设有多个中空腔体。本实用新型的金刚线切割用塑料板通过在塑料板本体内沿垂直于切割方向设置多个中空腔体，在金刚线切入塑料板本体内并进入中空腔体后，有效减少与金刚线的接触面积，降低对金刚线的附着和磨损，提高金刚线的载砂能力，进而提高切割能力同时，在涂抹胶水后，晶棒在粘接过程中，胶水反应会产生热气泡，气泡可以通过条形槽排出，并且条形槽可以将多余的胶水固化存储，使晶棒粘接平整。
一种金刚切割塑料板

[实用新型]一种硅棒拼接系统-CN202021482273.1有效
发明人：孙鹏程;高润飞;刘源浩;秦聪明;康新领;刘彪;叶欣 -专利权人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司;杭州中为光电技术有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： C30B33/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅棒拼接系统，包括搬运机器人、运输装置、对晶线机构、涂胶机构和预固化机构，其中，对晶线机构用于对硅棒进行晶线定位；涂胶机构用于对硅棒进行涂胶；预固化机构用于对粘接后的硅棒进行预固化；对晶线机构与涂胶机构通过运输装置连通，涂胶机构与预固化机构通过搬运机器人连通，搬运机器人将待粘接的硅棒放置于对晶线机构上，进行晶线定位，对晶线后的硅棒通过运输装置运送至涂胶机构处，进行涂胶，搬运机器人将涂胶后的硅棒运送至预固化机构处，进行粘接固化本实用新型的有益效果是提高整个生产流程的效率，降低人工搬用劳动强度，实现非标棒自动拼接。
一种拼接系统

[发明专利]一种单晶炉晶棒周转车-CN202211180778.6在审
发明人：曹建伟;朱亮;傅林坚;叶钢飞;叶雷江;阮文星 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种单晶炉晶棒周转车，属于晶棒相关技术领域，作用于晶棒，周转车包括：周转车本体；夹持机构，夹持机构和周转车本体的上表面连接，夹持机构本身可转动，夹持机构用于夹持晶棒且带动晶棒转动；承载机构，承载机构和周转车本体的上表面连接，且承载机构位于夹持机构的侧面，使得承载机构可承接从夹持机构中脱离夹持的晶棒；以及线切机构，线切机构和周转车本体的上表面连接，且线切机构位于承载机构的侧面，线切机构用于对承载机构中的晶棒进行首尾截断；达到晶棒加工时缩短工艺流程的技术效果。
一种单晶炉晶棒周转

[实用新型]一种金刚线单线截断机的截断回转装置-CN202220878497.7有效
发明人：刘秀坤;李柱;赵祥驰;白雪情;蔡震 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种金刚线单线截断机的截断回转装置，包括设置于工作台上的截断回转支架、固定设置于截断回转支架上的驱动单元。驱动单元具有回转端面，回转端面用于固定安装待切割的晶棒。回转端面所在的中心轴线与晶棒的中心轴线重合，且晶棒的中心轴线与其切割轮上的金刚线互相垂直。在晶棒截断加工过程中，驱动单元驱动晶棒做往复回转运动。通过在驱动单元的一端面安装有晶棒，且晶棒中心轴线与切割轮上的金刚线互相垂直，在金刚线切入晶棒后，通过驱动单元转动进而带动晶棒沿其中心轴线旋转，以完成切片，避免了完全依靠切割轮的进给装置驱动，同时降低了切片的难度缩短了切片时间进而提高了切片效率
一种金刚单线截断回转装置

[发明专利]晶棒切割方法-CN202111469101.X在审
发明人：叶恺宇;曹雁 -专利权人：上海合晶硅材料股份有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及晶棒切割方法，采用金刚线配合润滑剂对晶棒进行切割。本发明将金刚线配合润滑剂对晶棒进行切割，相比于采用结构线和切削砂浆的切割方法，采用这种方法切割晶棒能够使得切割效率提升30％左右，切割的出片数量增加10％，并且切削液能够在场内进行处理，切削晶棒的TTV
切割方法

[发明专利]一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法-CN201210157346.3无效
发明人：王文广;周光进;应红飞 -专利权人：浙江晟辉科技有限公司
申请日： 2012-05-21 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法，该方法主要是先将超声容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，使晶棒置于超声容器内，在超声容器内注入清水清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液；然后在超声容器内倒入无水乙醇清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液残留及其他杂质；之后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇即可；采用本发明，因无需将晶棒从工件夹上取下，切割时的原点位置容易寻找，重装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率；由于通过先清水后无水乙醇的超声清洗，能更有效的除去晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液；同时，不需要把断线的线网剪掉重新铺线，既节约了成本，又缩短了操作时间，提高了生产效率。
一种切割断线处理方法

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