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[实用新型]一种三氯氢硅合成炉的升温系统-CN202320095060.0有效
发明人：李兵;蒲勇;张芥铭;明勇;庹如刚;张小强;彭杨;侯槟;杨加平 -专利权人：四川永祥新能源有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉的升温系统，属于多晶硅生产中三氯氢硅合成设备技术领域，包括三氯氢硅合成炉，所述三氯氢硅合成炉连接有用于升温三氯氢硅合成炉的氯硅烷管线或氢气与氯硅烷的混合气管线，氯硅烷管线或混合气管线上设有加热装置，三氯氢硅合成炉顶部的出料口连接气体回收子系统，解决了现有技术中升温三氯氢硅合成炉系统存在大量的氮气、氯化氢浪费或三氯氢硅合成炉升温慢，影响生产效率的问题。
一种三氯氢硅合成升温系统

[发明专利]一种多晶硅生产装置及工艺-CN200910178571.3有效
发明人：周强民 -专利权人：重庆大全新能源有限公司
申请日： 2009-09-29 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本发明提供了一种多晶硅生产装置，包括三氯氢硅合成炉、三氯氢硅还原炉、四氯化硅氢化炉、三氯氢硅合成尾气回收装置和三氯氢硅还原尾气回收装置，所述四氯化硅氢化炉的尾气排出口与所述三氯氢硅合成炉的进料口连接，三氯氢硅还原尾气回收装置的进气口与三氯氢硅还原炉的出气口连接本发明将四氯化硅氢化炉的尾气排出口与三氯氢硅合成炉的进料口连接，使四氯化硅氢化反应产生的尾气直接进入三氯氢硅合成炉，使得三氯氢硅的生成率高，多晶硅产品纯度较高，避免排出大量的杂质氯硅烷，节省了原材料，并省去了膜压机、液氯气化、氯化氢合成装置，整个生产工艺流程为四氯化硅氢化与三氯氢硅还原形成的物料闭环循环，没有废料外排，有利于环保。
一种多晶生产装置工艺

[发明专利]制备多晶硅的系统-CN201410375453.2无效
发明人：石何武;郑红梅;严大洲;汤传斌;肖荣晖 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2014-07-31 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备多晶硅的系统，该系统包括：多个还原炉，多个还原炉通过管道串联连接，并将上游还原炉产生的还原尾气供给至下游还原炉中；三氯氢硅入口，三氯氢硅入口设置在管道上；氢气入口，氢气入口设置在管道上；三氯氢硅储罐，三氯氢硅储罐分别与第一个还原炉和三氯氢硅入口相连，用于将三氯氢硅供给至还原炉中；以及氢气储罐，氢气储罐分别与第一个还原炉和氢气入口相连，用于将氢气供给至还原炉中。
制备多晶系统

[发明专利]三氯氢硅合成炉换热装置-CN202111023811.X在审
发明人：万柏峰;孙亮;张文博;武红盼;李文娟 -专利权人：唐山三孚硅业股份有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了化工换热设备技术领域的一种三氯氢硅合成炉换热装置。该三氯氢硅合成炉换热装置采用分体式设计，包括冷却水供水单元，与冷却水供水机构连接的蒸汽回收单元，与三氯氢硅合成炉筒体连接的密封连接单元，对三氯氢硅合成炉换热装置进行压力检测的压力检测单元以及对三氯氢硅合成炉换热装置内混合气体输送的流出输送单元该三氯氢硅合成炉换热装置设计合理，实用性能高，提高了合成炉控制过程中温度的控制精度，提高了三氯氢硅合成反应的收率，减少了合成炉换热管的磨损，大大提高了换热管的使用时长，并使合成炉换热装置的维修大大简便，
三氯氢硅合成炉换热装置

[实用新型]三氯氢硅合成炉换热装置-CN202122101678.7有效
发明人：万柏峰;孙亮;张文博;武红盼;李文娟 -专利权人：唐山三孚硅业股份有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了化工换热设备技术领域的一种三氯氢硅合成炉换热装置。该三氯氢硅合成炉换热装置采用分体式设计，包括冷却水供水单元，与冷却水供水机构连接的蒸汽回收单元，与三氯氢硅合成炉筒体连接的密封连接单元，对三氯氢硅合成炉换热装置进行压力检测的压力检测单元以及对三氯氢硅合成炉换热装置内混合气体输送的流出输送单元该三氯氢硅合成炉换热装置设计合理，实用性能高，提高了合成炉控制过程中温度的控制精度，提高了三氯氢硅合成反应的收率，减少了合成炉换热管的磨损，大大提高了换热管的使用时长，并使合成炉换热装置的维修大大简便，
三氯氢硅合成炉换热装置

[实用新型]一种三氯氢硅除尘处理用硅灰抽吸结构-CN202222522365.3有效
发明人：陈鹏飞;张占房;董同俊;贺绍大 -专利权人：河南尚宇新能源股份有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： B08B9/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及三氯氢硅除尘技术领域，具体公开了一种三氯氢硅除尘处理用硅灰抽吸结构，包括：三氯氢硅合成炉，三氯氢硅合成炉内设置有吸灰管，吸灰管侧面设置有密封板，吸灰管一端设置有排料管，排料管连接在抽风机上；有益效果为：本实用新型提出的一种三氯氢硅除尘处理用硅灰抽吸结构，当需要对炉内部进行清理时，只需要打开抽风机利用排料管一端的吸灰管将三氯氢硅合成炉内部的硅灰进行吸出清理，在从出灰管排出，避免了当三氯氢硅合成炉反应结束后会在炉内产生硅灰，人工清理时需要将盖体打开，将清理工具伸进炉内然后才能进行清理，这样不仅清理效率较低，而且清理时站在高处才能对三氯氢硅合成炉内部进行清理较为不方便的问题。
一种三氯氢硅除尘处理用硅灰抽吸结构

[发明专利]多晶硅生产方法和系统-CN201110054590.2有效
发明人：齐林喜;陈琳;刘占卿 -专利权人：内蒙古盾安光伏科技有限公司
申请日： 2011-03-08 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：该方法包括：提供由三氯氢硅和二氯二氢硅组成的硅源，其中三氯氢硅和二氯二氢硅的比例范围在20:1和30:1之间；加热硅源以使其形成气体三氯氢硅气体和二氯二氢硅气体；提供氢气；使三氯氢硅气体和二氯二氢硅气体与氢气混合；提供设置有硅芯的还原炉；以及在还原炉中引入混合后的三氯氢硅气体、二氯二氢硅气体与氢气，并且使还原炉中的气体压力为0.4-0.6Mpa，硅芯温度为1080-1150℃，从而在硅芯上还原制备多晶硅。由于本发明将精炼提纯的三氯氢硅和二氯二氢硅按照特定比例混合进入还原炉，因此可获得快速的硅沉积速率，同时又不会发生均相成核现象。另外，本发明还显著提高了多晶硅的生产质量、大大降低了能耗和生产成本。
多晶生产方法系统

[实用新型]多晶硅生产系统-CN201721384008.8有效
发明人：张金宝;方红承;方仕林;鲁瑞尧;隋宝勋;张龙善;张龙 -专利权人：新疆合晶能源科技有限公司
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅生产系统，包括三氯氢硅添加装置、氢气添加装置、静态混合器和还原炉，三氯氢硅添加装置的出口与静态混合器的入口连通，氢气添加装置的出口与静态混合器的入口连通，静态混合器的出口与还原炉的入口连通，还包括二氯二氢硅添加装置，二氯二氢硅添加装置的出口与静态混合器的入口连通，二氯二氢硅添加装置，包括二氯二氢硅储罐、二氯二氢硅输送泵和尾气换热器，二氯二氢硅储罐内的二氯二氢硅依次经二氯二氢硅输送泵和尾气换热器后进入静态混合器，所述还原炉产生的尾气流入尾气换热器，尾气换热器与静态混合器连接的管道上设置二氯二氢硅调节阀。以实现根据还原炉运行的时间提供合适比例二氯二氢硅的优点。
多晶生产系统

[发明专利]一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法-CN201010601925.3有效
发明人：郎丰平;邱顺恩;黄少辉;黄小明;李明生 -专利权人：江西嘉柏新材料有限公司
申请日： 2010-12-23 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及的是一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法，在三氯氢硅合成炉、精馏塔、氯化氢合成炉之间设置循环的液流通道，所述的液流通道包括依次连接的冷流槽、三氯氢硅合成炉夹套、氯化氢合成炉夹套、热流槽、精馏塔上的夹套，其中三氯氢硅合成炉夹套与氯化氢合成炉夹套并联在冷流槽与热流槽之间，通过控制系统的控制，利用液流通道中的传热介质将氯化氢合成炉及三氯氢硅合成炉中的热量移用于精馏塔中三氯氢硅的精馏提纯，实现系统热量的循环利用
一种利用循环三氯氢硅进行精馏提纯方法

[发明专利]一种三氯氢硅合成炉升温方法及系统-CN202310049121.4在审
发明人：李兵;蒲勇;张芥铭;明勇;庹如刚;张小强;彭杨;侯槟;杨加平 -专利权人：四川永祥新能源有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种三氯氢硅合成炉升温方法，属于多晶硅生产中三氯氢硅合成技术领域，采用加热后的氯硅烷，或氢气和氯硅烷的混合气对三氯氢硅合成炉进行升温，三氯氢硅合成炉顶部的出料口连接后端的气体回收子系统，解决了现有技术中采用氮气对三氯氢硅合成炉进行升温的工艺存在大量的氮气、氯化氢浪费的问题，或采用加热后的氢气对三氯氢硅合成炉进行升温存在升温慢、影响生产效率的问题，同时本发明提出了与该工艺匹配的升温系统，装置、管线布置合理，便于调控，明显降低生产成本。
一种三氯氢硅合成升温方法系统

[发明专利]生产多晶硅的控制方法及控制系统-CN202210759614.2有效
发明人：吕海花;李大伟;李伟;邵雅雅;王旭;张福川 -专利权人：新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型的生产多晶硅的控制方法及控制系统，该方法包括以下步骤：将三氯氢硅原料、氢气通入还原炉内，进行氢还原反应，生成多晶硅，三氯氢硅原料为含有二氯二氢硅、四氯化硅的三氯氢硅原料，其中，在硅棒的不同预设的生长阶段，向还原炉内通入具有不同预设含量二氯二氢硅、四氯化硅的三氯氢硅原料，控制硅棒上的多晶硅沉积速度、雾化现象。本发明通过研究还原炉内的硅棒在不同生长阶段的运行特点，在不同的生长阶段通入含有不同预设含量二氯二氢硅和四氯化硅的三氯氢硅原料，与氢气发生氢还原反应，以达到还原炉全程高速生产的目的，既提高多晶硅的沉积速度，避免硅棒生长较脆，容易倒炉；又能保证多晶硅外观质量，减少雾化现象。
生产多晶控制方法控制系统

[实用新型]一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置-CN201320733512.X有效
发明人：周连会 -专利权人：唐山三孚硅业股份有限公司
申请日： 2013-11-20 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： G01N1/42 文献下载
摘要：一种检测三氯氢硅合成炉尾气的装置，属于三氯氢硅合成设备技术领域，用于检测合成炉的尾气中的不凝气含量。其技术方案是：它包括一台盐水冷凝器，在盐水冷凝器外有保温层，盐水冷凝器的进气口与三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，盐水冷凝器的出气口连接尾气取样管，盐水冷凝器与多个三氯氢硅合成炉的尾气出口相连接，在各个三氯氢硅合成炉的尾气出口管道上安装有合成炉尾气阀门本实用新型将高温的合成炉尾气进入盐水冷凝器冷凝后，不凝气由取样口取出，合成炉尾气阀门可以控制需检测的合成炉，反应不好的合成炉可停车检修，避免长期使用造成成本的浪费。本实用新型结构简单、制作容易、成本低，能有效地解决三氯氢硅合成炉尾气检测的问题。
一种检测三氯氢硅合成尾气装置

[发明专利]三氯氢硅合成工艺及系统-CN201510120467.4有效
发明人：齐林喜;赵亮 -专利权人：内蒙古盾安光伏科技有限公司
申请日： 2015-03-19 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：一种三氯氢硅合成系统，包括合成炉、为合成炉供应与合成炉内外加硅粉反应HCL的HCL储罐、用于冷凝合成炉尾气的第一冷凝器、接收来自第一冷凝器冷凝后氯硅烷液体的冷凝料储罐、接收来自于冷凝器的不凝气的缓冲罐，分离提纯来自于冷凝料储罐的氯硅烷的分离提纯装置、氯硅烷储罐、汽化器、混合加热器、流化床反应器、第二冷凝器。本发明还提供了采用该三氯氢硅合成系统的三氯氢硅合成工艺。本发明将传统三氯氢硅合成过程中的副产品二氯二氢硅继续回床，减少物料损耗，降低尾气处理系统安全隐患。降低系统二氯二氢硅循环总量增长速度，同时也提高三氯氢硅转化率。
三氯氢硅合成工艺系统

[发明专利]一种三氯氢硅的节能合成系统-CN201811076256.5在审
发明人：何鹏;周昶利;刁舸;冉祎 -专利权人：四川永祥多晶硅有限公司
申请日： 2018-09-14 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开一种三氯氢硅的节能合成系统，包括三氯氢硅合成炉，其特征在于，所述的三氯氢硅合成炉上连接有用于向三氯氢硅合成炉通入氢气的氢气入管，并且氢气入管的管路中设置了用于对氢气加热的加热装置，并且的三氯氢硅合成炉的出料口通过管路依次连接除尘系统和分离系统本发明所述的三氯氢硅的节能合成系统采用三氯氢硅合成过程中分离出的氢气在开停炉时通入系统进行置换，取代传统使用的氮气，有效循环利用氢气，无需对外排放，提高原料的利用率，降低能量损耗，降低排放，降低对环境的污染
氢气三氯氢硅合成炉三氯氢硅合成系统分离系统节能氮气除尘系统传统使用合成过程加热装置降低排放降低生产能量损耗循环支路依次连接有效循环出料口停炉加热能耗置换排放污染

[实用新型]一种三氯氢硅的节能合成系统-CN201821510649.8有效
发明人：何鹏;周昶利;刁舸;冉祎 -专利权人：四川永祥多晶硅有限公司
申请日： 2018-09-14 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型公开一种三氯氢硅的节能合成系统，包括三氯氢硅合成炉，其特征在于，所述的三氯氢硅合成炉上连接有用于向三氯氢硅合成炉通入氢气的氢气入管，并且氢气入管的管路中设置了用于对氢气加热的加热装置，并且的三氯氢硅合成炉的出料口通过管路依次连接除尘系统和分离系统本实用新型所述的三氯氢硅的节能合成系统采用三氯氢硅合成过程中分离出的氢气在开停炉时通入系统进行置换，取代传统使用的氮气，有效循环利用氢气，无需对外排放，提高原料的利用率，降低能量损耗，降低排放，降低对环境的污染
氢气三氯氢硅合成炉三氯氢硅合成系统本实用新型分离系统节能氮气除尘系统传统使用合成过程加热装置降低排放降低生产能量损耗循环支路依次连接有效循环出料口停炉加热能耗置换排放污染

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