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[发明专利]晶圆清洗及研磨方法-CN202110855386.4在审
发明人：马姣 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗及研磨方法，所述晶圆清洗方法包括：提供待清洗晶圆，所述待清洗晶圆包括自所述待清洗晶圆的中心至边缘依次向外辐射的中心区域、边缘区域及晶边区域；对所述待清洗晶圆进行预清洗，包括：提供研磨头，将所述研磨头置于所述晶边区域，并控制所述研磨头使用研磨液对所述晶边区域进行研磨；将所述研磨头置于所述边缘区域，并控制所述研磨头使用清洗液对所述边缘区域进行清扫。在进行主要CMP制程之前，对提供的待清洗晶圆进行预清洗处理，以去除晶圆晶边杂质颗粒，且不损伤晶圆上有效芯片，降低晶圆缺陷来源，提高晶圆良率，相较于光刻技术去除晶边杂质颗粒的方法，预清洗处理工艺简单，成本低
清洗研磨方法

[实用新型]一种晶圆背面清洗装置-CN202222665680.1有效
发明人：李林;吴宣 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆背面清洗装置，包括清洗模块，清洗模块包括固定单元、清洗单元和第一驱动单元；固定单元在晶圆边缘处固定晶圆；清洗单元与第一驱动单元连接，第一驱动单元用于驱动清洗单元移动，清洗单元用于清洗晶圆背面上被固定单元覆盖处以外的区域，固定单元覆盖处以外的区域包括晶圆背面的中心区域。使用固定单元固定在晶圆边缘处，使晶圆背面的中心区域不被覆盖或遮挡；然后利用清洗单元对被固定单元覆盖处以外的区域，特别是晶圆背面的中心区域进行清洗。使用本装置清洗晶圆背面的中心区域时，不再需要人工手动接触晶圆，可以避免晶圆被划伤或掉落破片，提升了产品良率。
一种背面清洗装置

[实用新型]清洗治具-CN202023162471.2有效
发明人：刘志;梁浩宽;柳巧凤;温亚洲 -专利权人：华显光电技术（惠州）有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种清洗治具，用于清洗待清洗物件，所述待清洗物件的表面具有待清洗区域和非待清洗区域，所述清洗治具包括：底座，所述底座设置有放置面，用于放置待清洗物件；和压盖，所述压盖可转动地连接于所述底座，并于转动过程中至少部分压合覆盖于与所述待清洗区域相连的非待清洗区域，且所述待清洗区域外露于所述压盖。本实用新型的技术方案能够有效地避免柔性电路板清洗时棉棒刮擦柔性电路板表面的绿油，从而降低柔性电路板产品的报废率。
清洗

[发明专利]车辆清洗状态的识别方法、装置及电子设备-CN202211043754.6在审
发明人：张凯;马旭慧;陈铭;柳进军;李浩浩;李俊鹏;陈楠;张海军;武帅兴 -专利权人：北京中海住梦科技有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G06V20/52 文献下载
摘要：本申请提供车辆清洗状态的识别方法、装置及电子设备，包括：获取车辆识别信息、第一目标区域图像和第二目标区域图像；基于第二目标区域，设置判定车辆是否进入清洗区域的标准范围；对第二目标区域图像进行研判和识别，得到车辆清洗特征识别结果；若车辆清洗特征识别结果符合车辆进入清洗区域的标准范围，则对第一目标区域图像进行研判和识别，得到洗轮设备运行特征识别结果；根据洗轮设备运行特征识别结果和车辆清洗特征识别结果，得到车辆清洗行为结果；根据车辆清洗行为结果和车辆识别信息，发送告警或提示指令。本申请实现了日间夜间及多种天气因素影响下对车辆清洗状态的判定，申请可实施性更强，研判结果准确有效。
车辆清洗状态识别方法装置电子设备

[发明专利]获取兴趣点数据的方法、系统、电子设备及可读存储介质-CN202010071733.X在审
发明人：朱晨晓;李昭;陈浩;高靖;崔岩;卢述奇;张宵 -专利权人：青梧桐有限责任公司
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： G06F16/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种获取兴趣点数据的方法、系统、电子设备及可读存储介质，其中，该方法包括：获取目标区域的原始兴趣点特征数据；对所述原始兴趣点特征数据进行区域清洗和特征清洗，所述区域清洗用于去除目标区域以外的数据，所述特征清洗用于去除兴趣点特征以外的数据；根据所述目标区域的预设调研信息对清洗后的原始兴趣点特征数据进行标签标注和分级，得到所述目标区域的兴趣点数据。该方法先对获取到的目标区域的原始兴趣点特征数据进行区域清洗和特征清洗，去除无关的干扰数据，之后根据预设调研信息对清洗后的原始兴趣点特征数据进行标签标注和分级，保证城市标签分类的准确性，从而使得确定的目标区域的兴趣点数据更加准确
获取兴趣数据方法系统电子设备可读存储介质

[实用新型]一种医疗器械清洗装置-CN202120893835.X有效
发明人：孟羽 -专利权人：四川天府新区人民医院
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： B08B9/043 文献下载
摘要：本实用新型提供一种医疗器械清洗装置，包含：导向构件，装置包含能够进入管腔内部的导向构件、第一清洗区域、第二清洗区域和引流单元。本装置通过设置功能分区，使该清洗装置能够具有对管腔刮蹭的区域、对管腔清洗的区域和液体喷射的出口，使清洗装置在进行管腔清洁时能够提高清洁效率，在对扒附于管腔内壁的杂质进行洗刷后通过喷水进行清洗，基于刮蹭能力和吸附杂质能力的分离时各个区域具有突出作用，减少功能混合对清洗装置清洗功能的减弱。
一种医疗器械清洗装置

[发明专利]一种槽式晶圆清洗设备及使用方法-CN202211011186.1有效
发明人：周训丙;杨仕品;万帮勇 -专利权人：智程半导体设备科技（昆山）有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种槽式晶圆清洗设备及使用方法，该槽式晶圆清洗设备包括：导轨，依次形成于导轨一侧的晶圆装载区域、晶圆缓存区域、晶圆清洗区域与晶圆干燥区域，以及至少两组沿导轨移动的花篮运输装置；晶圆清洗区域包括：多个部署于导轨同一侧并呈水平排布的清洗槽；晶圆缓存区域包括：支撑座，水平布置于支撑座的花篮载入等候区域与花篮载出等候区域，以及形成于支撑座底部用于托举晶圆花篮移动的移动托举机构；花篮载出等候区域包括：通过本申请，实现提高槽式晶圆清洗设备对晶圆执行清洗制程的运行效率，以提高槽式清洗设备对晶圆的清洗效率。
一种槽式晶圆清洗设备使用方法

[发明专利]清洗机-CN201510653467.0在审
发明人：张纯洁;方龙;张辉银;卢金奎;张先亮 -专利权人：温州德诺科技有限公司
申请日： 2015-10-10 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： B08B9/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种清洗机，其技术方案要点是包括进口装置、清洗装置、烘干装置、出口装置和传送装置，清洗装置设置于进口装置和烘干装置之间，烘干装置设置于清洗装置和出口装置之间，传送装置包括用于放置瓶子的传送带，传送带将瓶子从进口装置传送至清洗装置，清洗装置包括初洗组件区域和喷淋组件区域，初洗组件区域包括清洗池和超声波清洗器，喷淋组件区域包括喷淋部，传送带再将清洗装置内的瓶子传送至烘干装置内，烘干装置包括烘干罩，烘干罩内设有供传送带穿设的通道，通道的两侧设有长型烘干区域和短型烘干区域，传送带将烘干区域内的瓶子传送至出口装置。对瓶子表面的污渍清洗更加干净，提高了产品的质量，提高工作效率。
清洗

[发明专利]一种画具收纳系统-CN202111078117.8在审
发明人：赵玉德;卢春 -专利权人：嘉兴职业技术学院
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B44D3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种画具收纳系统，包括收纳箱、清洗箱，所述清洗箱与收纳箱之间为可拆卸连接，所述清洗箱内设置有引水结构、加热结构以及排水结构，所述清洗箱内设置有隔板，所述隔板将清洗箱分割成清洗区域与净水区域；所述引水结构设置在清洗区域内，所述引水结构包括电源、水泵、过滤壳体、电机、切割刀片、过滤网；所述加热结构设置在清洗区域内且位于清洗箱底部，所述加热结构与电源电性连接；所述排水结构包括连接管道、单向阀、排水管道以及吸附件，所述连接管道设置在隔板内，所述连接管道用以连通清洗区域与净水区域，所述单向阀设置在连接管道内，多个所述吸附件放置在净水区域内。
一种画具收纳系统

[发明专利]激光清洗参数生成方法及装置-CN201910575762.7有效
发明人：孙波;何珺;余乐军;徐畅;张迎辉 -专利权人：北京师范大学
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种激光清洗参数生成方法及装置，该方法包括：获取待清洗区域图像；将所述待清洗区域图像及期望清洗效果，输入至预设的深度网络模型，输出与期望清洗效果对应的清洗参数；其中，所述深度网络模型根据清洗前图像、相应清洗参数以及清洗参数对应的清洗效果作为样本，进行训练后得到，所述清洗效果为清洗后的洁净度等级。该方法实现了根据待清洗区域图像及期望清洗效果，生成对应的清洗参数，从而有利于根据生成的清洗参数进行清洗后达到期望清洗效果，进而在不会对清洗区域的基底造成伤害的基础上有效地提高清洗效率。
激光清洗参数生成方法装置

[实用新型]一种链条装配线在线清洗设备-CN202223010545.X有效
发明人：崔忠伟;陈超;崔忠生 -专利权人：宁波贝思力机电设备有限公司
申请日： 2022-11-12 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开的属于链条清洗技术领域，具体为一种链条装配线在线清洗设备，包括浸泡区域，其内部可对装配好的链条进行浸泡，沥水区域，其设置在浸泡区域的左端，且能够对浸泡区域进行挤压去油，高压清洗区域，其设置在沥水区域的左端，且能够对链条进行高压冲洗，烘干区域，其设置在高压清洗区域的左端，且能够对链条进行烘干，并对链条进行存放，本实用新型减少劳动力和劳动支出，同时增加了清洗的工作效率。
一种链条装配线在线清洗设备

[实用新型]一种EPS珠粒洗涤装置-CN202221471603.6有效
发明人：张文军 -专利权人：湖北朋联包装科技有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种EPS珠粒洗涤装置，包括支架、安装座以及升降组件，所述支架设置有清洗区域以及下料区域；所述安装座滑动设于所述支架上；所述升降组件包括可升降设置的活动件，所述活动件上转动连接有清洗滚筒；其中，所述清洗滚筒内具有一空腔，且所述清洗滚筒的侧壁开有一下料口，所述下料口处可拆卸安装有挡板，由于安装座滑动设置在支架上，可以在清洗区域和下料区域转换，利用升降组件带动清洗滚筒升降，实现清洗与下料功能，在下料时，只需要用户将安装座从清洗区域滑动到下料区域，转动清洗滚筒，使得下料口处于下端，方便下料。
一种 eps 洗涤装置

[实用新型]一种纺织制品生产用清洗装置-CN202020953520.5有效
发明人：李大鹏 -专利权人：新疆石河子职业技术学院
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： D06G1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种纺织制品生产用清洗装置，包括清洗箱，清洗箱内部分为除杂区域和清洗区域，除杂区域和清洗区域分别设置有除杂机构和清洗机构，清洗箱一端外侧安装有送料辊，本实用新型中，通过除杂机构对布料进行初步去除线头等多余杂物，除杂过后的布料传送至清洗区域，再对布料进行清洗进行清洗处理，通过驱动电动带动主动齿轮转动，带动四个从动齿轮同步转动，使旋转轴配合刮刀对纺织制品实现自动化刮除杂物，丝杆转动，带动滑块和毛刷做往复运动，实现对纺织制品的自动化清扫，有效的节约清洗用水，加快了其清洗速率，减经了劳动力，实现了自动化清洗。
一种纺织制品生产清洗装置

[发明专利]清洗装置及清洗方法-CN201811553821.2有效
发明人：史进 -专利权人：西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种清洗装置及清洗方法，属于半导体技术领域。其中，清洗装置，包括多个清洗腔室以及将半导体元件在所述多个清洗腔室之间传送的传送机构，每个所述清洗腔室内设置有清洗槽，每个清洗腔室包括传送机构运动区域和清洗槽所在区域，所述清洗装置还包括：位于所述清洗腔室顶部、对应所述传送机构运动区域的第一风扇；位于所述清洗腔室顶部、对应所述清洗槽所在区域的第二风扇。通过本发明的技术方案，能够提高半导体元件的清洗效果，得到更加洁净的半导体元件。
清洗装置方法

[实用新型]一种医疗器械零部件的清洗装置-CN202221293645.5有效
发明人：王松 -专利权人：四川镁合医疗器械有限责任公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种医疗器械零部件的清洗装置，包括清洗箱体，其内部通过多个分隔板分隔成多个清洗区域；多个托板，对应于多个清洗区域并通过外部的升降机构进行升降；和清洗框，活动放置在托板上便于放置零部件进入清洗箱体内部进行清洗；所述清洗框在托板上进行直线滑动，所述托板的最高高度高于清洗箱体内的分隔板高度。该清洗装置通过清洗箱体内的分隔板将其分隔成多个清洗区域，便于零部件的不同清洗工序，并且通过升降的托板以及滑动的清洗框以便于清洗框在多个清洗区域内移动，节省人力。
一种医疗器械零部件清洗装置