专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]涡流-CN200480030744.2有效
  • 多田光男;须藤康成 - 株式会社荏原制作所
  • 2004-10-18 - 2006-11-29 - G01B7/06
  • 一种涡流(10)具有传感线圈(100),其设置在形成在半导体晶片(W)上的导电膜(6)附近;以及信号源(124),其用于为传感线圈(100)提供AC信号,以在导电膜(6)中产生涡流。该涡流(10)包括可用于检测在导电膜(6)中产生的涡流的检测电路。该检测电路连接到传感线圈(100)。该涡流(10)还包括由具有高导磁率的材料制成的外壳(200)。在外壳(200)中容纳传感线圈(100)。将外壳(200)构造成使得传感线圈(100)形成磁通(MF)的通路,以便有效地在导电膜(6)中产生涡流
  • 涡流传感器
  • [发明专利]涡流-CN200810134025.5有效
  • 多田光男;须藤康成 - 株式会社荏原制作所
  • 2004-10-18 - 2008-12-24 - G01B7/06
  • 一种涡流,包括:空心的传感线圈,设置在具有多个区的基板附近,并被容纳在高导磁率材料的外壳中;信号源,被配置用于为该传感线圈提供AC信号,以在该基板中产生涡流;检测电路,被配置用于获得关于在该基板的所述多个区中产生的涡流的信号数据;以及控制,被配置用于基于该信号数据来检测工艺的结束点。
  • 涡流传感器
  • [发明专利]涡流-CN200380103852.3有效
  • 赖纳·霍克;奥勒·考达;托马斯·尼尔利希 - 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司
  • 2003-10-20 - 2005-12-28 - G01F1/32
  • 公开了一种涡流(1;1′),用于测量在具有管壁(21;21′)的测量管(2;2′)中流动的流体的质量流量、体积流量或流速,其具有以这种方式布置的两个温度传感(34,35;34′,35′),使得涡流(1)也可以与将会腐蚀温度传感(34,35;34′,35′)的流体共同使用。对此作出响应的旋涡传感(3;3′)在阻流体(4;4′)下游安装在测量管(2;2′)管壁(21)的孔(22;22′)内。旋涡传感(3;3′)包括延伸入流体的传感叶片(31)。温度传感(34,35)布置在传感叶片(31)的盲孔(314)中。或者,温度传感(34′,35′)可以布置在阻流体(4′)的盲孔(314′)中。
  • 涡流传感器
  • [发明专利]涡流-CN99801344.7无效
  • 伊格尔·格特曼;谢尔盖·洛帕京;坦嘉·施特克莱因;弗兰克·奥勒;罗杰·克罗姆 - 安德雷斯和霍瑟·弗罗泰克有限公司
  • 1999-08-11 - 2003-12-24 - G01F1/32
  • 涡流(1)的压电涡流敏感元件(3,3’,3”,3*)被以简单的方式由各单个元件组合成;其失效的压电元件(34,34’,34”,34*,34+,34++)可被容易地更换。该涡流敏感元件也可被做成对外部作用的振动完全不敏感。涡流(1)用于测量一流经一测量管(2)的流体的流速和/或体积流量。沿测量管的一直径配置有一产生卡尔曼涡流的滞流体(4),且在至少一个固定位置(41)上与测量管相连接。涡流敏感元件对由涡流所产生的压力波动作出响应且要么在滞流体下游密封地被插入测量管的一壁侧孔(22)中,或者伸入一穿过测量管的进入滞流体的主孔(46)中。在膜片的面向流体的表面(331)上固定有一传感凸片(31,31”,31+)或一传感套管(31’,31*)。压电元件与背向流体的表面(332)机械连接。
  • 涡流传感器
  • [发明专利]一种CMP终点检测装置及方法-CN202210611911.2在审
  • 李坤;张为强;张康;李婷;王嘉琪;赵磊;廉金武 - 北京烁科精微电子装备有限公司
  • 2022-05-31 - 2022-08-19 - B24B37/013
  • 本发明提供了一种CMP终点检测装置及方法,该装置包括:第一涡流设置于研磨平台上远离待抛光晶圆导电膜的一侧;第二涡流设置于研磨平台上贴近待抛光晶圆导电膜的一侧,第一涡流的电气参数与第一涡流的电气参数相同;控制的输出端分别与第一涡流和第二涡流连接,向第一涡流和第二涡流加载工作频率,工作频率为第一涡流和第二涡流的谐振频率,使待抛光晶圆导电膜在第二涡流处产生涡流效应;控制的输入端分别与第一涡流和第二涡流的输出端连接,根据第一涡流和第二涡流输出电压的差值计算待抛光晶圆导电膜当前厚度。
  • 一种cmp终点检测装置方法
  • [实用新型]一种电涡流的探头及电涡流-CN202120745770.4有效
  • 崔海军;卢国胜 - 江苏佰能电力有限公司
  • 2021-04-12 - 2021-12-10 - G01B7/02
  • 本实用新型涉及测距设备技术领域,且公开了一种电涡流的探头,包括传感探头,所述传感探头包括有多个传感头组件,所述传感头组件一端镶嵌有固定圈,一种电涡流,包括电涡流,所述电涡流顶部设置有密封板该电涡流的探头及电涡流,通过传感探头一侧活动连接有传感头组件,利用传感头组件使其传感头进行组装,使其传感探头进行运作,达到了便于组装的有益效果,通过电涡流顶部设置有密封板,利用密封板两侧螺纹连接有螺钉,通过电涡流一端内壁开设有卡接槽,便于对电涡流进行连接,达到了便于拆卸的有益效果。
  • 一种涡流传感器探头
  • [实用新型]一种电涡流-CN202222140056.X有效
  • 陆楠;谷万龙;谢清明;高爽;金涵;张振;甄无介 - 亚之捷智能装备(江苏)有限公司
  • 2022-08-15 - 2023-02-03 - G01N27/90
  • 本实用新型提供一种电涡流,包括电涡流本体,在所述电涡流本体外周安装有环形半导体制冷片,所述环形半导体制冷片的内圈与所述电涡流本体外周贴合。本实用新型通过控制半导体的制冷片的电流来降低电涡流的表面温度,特别是电涡流线圈位置的温度,使电涡流表面形成冷环境。本实用新型结构简单、设计合理,有效抑制了温度对电涡流输出线性度的负面影响,从而保证了检测精度,使电涡流具有更强的适用性。
  • 一种涡流传感器
  • [发明专利]扶梯安全检测装置及检测方法-CN201310197658.1有效
  • 张大明 - 日立电梯(广州)自动扶梯有限公司
  • 2013-05-24 - 2013-08-21 - B66B29/00
  • 本发明提供一种扶梯安全检测装置包括设置于扶梯踏板两侧的第一涡流和第二涡流,该第一涡流和第二涡流连接安全检测处理,该第一涡流和第二涡流错位设置。本发明扶梯安全检测方法包括步骤:(1)通过设置在扶梯踏板两侧的第一涡流和第二涡流采集扶梯踏板运行信息,并传送至安全检测处理;(2)安全检测处理对踏板运行信息进行处理,并根据处理结果做出安全判断本发明可以通过两个涡流检测到的信息,判断扶梯梯级错位、梯级缺失、梯级下陷、扶梯超速等问题,结构简单、所需安装空间小、检测精度高。
  • 扶梯安全检测装置方法
  • [实用新型]一种在生产现场存放涡流的装置-CN201620138723.2有效
  • 韩金水;李艳东;邢建军;闫杰;李伟志;梁东宏 - 河北钢铁股份有限公司承德分公司
  • 2016-02-24 - 2016-07-27 - B25H3/02
  • 一种在生产现场存放涡流的装置,属于涡流存放设备技术领域,用于现场专用存放检测连铸液面的涡流。其技术方案是:它的支架、固定底座和探头存放槽放置在箱体中,涡流放置在固定底座和探头存放槽中,箱体将涡流封闭存放,起到保护作用;箱体壁留有插线孔,箱体内有检测空间,便于存放时对涡流进行检测本实用新型能够有效保护涡流,提高涡流使用和存放的标准化程度,防止岗位操作人员因盲目使用和存放不当导致涡流及其陶瓷外套的损坏,降低了备件费用,提高了备件有效使用率,而且能够实现在存放装置内进行投用前测试的需求,降低取用频率,提高涡流使用的规范化和操作标准化。
  • 一种生产现场存放涡流传感器装置

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