专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴-CN202320221054.5有效
  • 孙伟 - 苏州文芯纳精密科技有限公司
  • 2023-02-15 - 2023-07-14 - B05C5/02
  • 本实用新型涉及涂胶显影机技术领域,具体为一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴,包括涂胶喷嘴件,所述涂胶喷嘴件下端的外壁活动连接有涂胶喷嘴管,所述涂胶喷嘴件的内部设置有驱动喷嘴开合件,所述涂胶喷嘴件的结构包括有喷嘴头,所述喷嘴头的上表面固定连接有摩擦轮管,所述喷嘴头的下表面固定连接有第一螺纹管;该用于涂胶显影机的涂胶喷嘴中,通过吧涂胶喷嘴设成可拆卸的涂胶喷嘴件和涂胶喷嘴管结构,以及通过在喷嘴头中采用驱动喷嘴开合件的结构,实现了涂胶喷嘴结构简单,便于拆卸的功能,以及实现了感应挡孔块感应液压自动控制喷嘴涂胶量和涂胶速度的功能,达到了喷嘴不会倒吸空气,喷涂均匀的效果。
  • 一种用于涂胶显影喷嘴
  • [实用新型]一种全自动涂胶机的涂胶喷嘴-CN202122286000.0有效
  • 唐伟东;张阳芳;周晓娟 - 苏州杉树园半导体设备有限公司
  • 2021-09-22 - 2022-05-10 - B05C5/02
  • 本实用新型公开了一种全自动涂胶机的涂胶喷嘴,涉及涂胶机技术领域,包括:涂胶喷嘴、轴承、旋转杆、旋转把手、连接杆、刮板、透明条、螺纹连接头、磁铁一、过滤罩、磁铁二、出胶口、胶头;涂胶喷嘴顶部内部固定连接有轴承;轴承内部固定连接有旋转杆,且旋转杆底部延伸至涂胶喷嘴内部;旋转杆顶部固定连接有旋转把手;有益效果在于:通过涂胶喷嘴可对涂胶进行存储,同时旋转旋转把手,使旋转把手带动旋转杆在轴承内圈内部旋转,使旋转杆带动连接杆和刮板旋转,使刮板沿着涂胶喷嘴内部内壁进行旋转,使刮板可对粘附在涂胶喷嘴内部内壁的胶料进行刮除,从而可防止胶料粘附在涂胶喷嘴内部内壁,堵塞涂胶喷嘴
  • 一种全自动涂胶喷嘴
  • [发明专利]一种涂胶机的控制方法-CN202111212971.9在审
  • 唐伟东;张阳芳;周晓娟 - 苏州杉树园半导体设备有限公司
  • 2021-10-19 - 2022-01-07 - B05C11/10
  • 本发明公开了一种涂胶机的控制方法,移动涂胶喷嘴使喷嘴上的摄像单元的摄像中心与基板的中心对准,通过摄像单元拍摄到的图像测量基准标记的中心和摄像单元的摄像中心的位置,喷嘴上的激光测距仪测量涂胶喷嘴与基板中心表面之间的高度,计算涂胶喷嘴到远离基板中心表面之间的高度变化率,通过设置在涂胶喷嘴进口的传感器来测量喷涂流量,选择不同光刻胶的种类和使用剂量,根据光刻胶的使用剂量计算得到涂胶喷嘴的喷涂时长和喷涂流量的函数关系,记录涂胶机的运行时间点和闲置时间点本发明的优点在于保证基板和涂胶喷嘴之间具有均匀的间隙,保证晶圆的品质,防止涂胶喷嘴在后续的作业中因涂胶不良而需要返工。
  • 一种涂胶控制方法
  • [发明专利]涂胶喷嘴分布装置和方法-CN201310526298.5在审
  • 王阳 - 沈阳芯源微电子设备有限公司
  • 2013-10-30 - 2015-05-06 - G03F7/16
  • 本发明涉及半导体匀胶显影设备中涂胶喷嘴的技术领域,具体地说是一种涂胶喷嘴分布装置和方法。所述装置包括喷嘴系统、喷嘴拾取装置、胶杯及涂胶平台,其中喷嘴系统、喷嘴拾取装置及胶杯均设置于涂胶平台上,所述喷嘴系统和喷嘴拾取装置分别设置于胶杯的相邻两侧,所述喷嘴系统中的涂胶喷嘴通过喷嘴拾取装置沿通过胶杯圆心的直线上运动本发明多个喷嘴更换时避免由于胶嘴和其携带的胶管在使用中互相干扰。
  • 涂胶喷嘴分布装置方法
  • [实用新型]涂胶装置及电子产品加工设备-CN202221804066.2有效
  • 请求不公布姓名 - 江苏立导科技有限公司
  • 2022-07-12 - 2023-04-25 - B05C5/02
  • 本申请公开了一种涂胶装置及包括涂胶装置的电子产品加工设备。其中,该涂胶装置包括载置机构及与载置机构相对的涂胶机构,载置机构包括运动载台,沉积有荧光粉层的基板设置在运动载台上,并随着运动载台沿着第一方向移动;涂胶机构包括涂胶喷嘴和光照加热件;涂胶喷嘴和光照加热件设置于运动载台的上方;其中,涂胶喷嘴面向荧光粉层;涂胶喷嘴用于将胶水涂覆至基板和荧光粉层上;光照加热件能够对涂胶喷嘴喷出的胶水进行加热。由于光照加热件能够对涂胶喷嘴喷出的胶水进行加热,可以使胶水一涂覆到荧光粉层上就可被加热进行预固化,避免荧光粉相对于基板移动,保持荧光粉层的结构稳定。
  • 涂胶装置电子产品加工设备
  • [实用新型]用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置-CN202122132093.1有效
  • 金浩天;孙游 - 上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司
  • 2021-09-03 - 2022-04-01 - B05C5/02
  • 本实用新型专利公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置,涂胶显影机包括用于吸附晶圆的吸盘和用于对晶圆进行涂胶喷嘴组件。喷嘴组件包括多个呈并列设置的喷嘴喷嘴夹持装置包括夹持机构和调节机构。夹持机构具有一夹持部,每一喷嘴均设有一和夹持部相限位配合的对接部。调节机构驱动连接于夹持机构远离夹持部的一端。其中,调节机构用于驱动夹持部对接于任一喷嘴的对接部,并将喷嘴输送至吸盘的上方位置,以对吸附于吸盘上的晶圆进行涂胶,及在涂胶结束后,将喷嘴送回至初始位置。本实用新型提供的用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置,能够大大提高喷嘴在使用过程中的稳定性,从而实现对吸附于吸盘上的晶圆进行精准涂胶
  • 用于涂胶显影喷嘴夹持装置
  • [实用新型]一种涂胶显影设备的喷嘴结构-CN202221295098.4有效
  • 徐宏进 - 扬州国润半导体科技有限公司
  • 2022-05-27 - 2022-11-08 - B05C5/02
  • 本实用新型涉及喷嘴结构领域,尤其涉及一种涂胶显影设备的喷嘴结构,包括涂胶显影设备本体,进胶口,搅拌器,隔热件,加热环和出胶口,所述涂胶显影设备本体下端固定连接有喷嘴外壳,所述喷嘴外壳上端设置有进胶口,所述进胶口中间固定设置有芯杆,所述芯杆两侧对称设置有搅拌器,所述芯杆下端固定设置有加热环,所述加热环与搅拌器之间固定设置有隔热件,所述出胶口固定设置在加热环的下端,本实用新型中,在喷嘴中加入了搅拌器,保证了在进行涂胶喷涂时喷嘴内的涂胶溶剂能够进行充分搅拌,防止涂胶溶剂粘连在喷嘴外壳上或者涂胶溶剂结块,同时在喷嘴出胶口处设置有加热环,保证了涂胶溶剂应有的溶剂性能,提高了喷涂质量,有利于提高产品质量。
  • 一种涂胶显影设备喷嘴结构

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